كېرامىك ۋافېر ئىسسىتقۇچ AlN ئاليۇمىن ئىسسىتىش ئېلېمېنتى

كېرامىك ۋافېر ئىسسىتقۇچ AlN ئاليۇمىن ئىسسىتىش ئېلېمېنتى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، ۋافلىلارنى نېپىز پەردە قويۇش، ئويۇش قاتارلىق ھەر خىل جەريانلاردا پىششىقلاپ ئىشلەش كېرەك. بۇ ھالقىلاردا، ۋافلىلارنى بەلگىلىك تېمپېراتۇرىغا قىزىتىش كېرەك، تېمپېراتۇرىغا قاتتىق تەلەپ قويۇلىدۇ، چۈنكى تېمپېراتۇرىنىڭ بىردەكلىكى مەھسۇلاتنىڭ مەھسۇلات مىقدارىغا ئىنتايىن مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ، قىزىتىش زاپچاسلىرى بولسا كەم بولسا بولمايدۇ.

كېرامىك ئىسسىتقۇچئۇلار بىۋاسىتە پىششىقلاپ ئىشلەش كامېراسىغا قوللىنىلىدۇ ۋە ۋاپپېر بىلەن بىۋاسىتە ئۇچرىشىشتا بولىدۇ. ئۇلار پەقەت ۋاپپېرنى كۆتۈرۈپلا قالماي، يەنە ۋاپپېرنىڭ مۇقىم ۋە بىردەك پىششىقلاپ ئىشلەش تېمپېراتۇرىسىغا ئېرىشىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئۇلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ نېپىز پەردە چۆكتۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ مۇھىم زاپچاسلىرى!

كېرامىكا ئىسسىتقۇچتا ۋافېرنى تىرەپ تۇرىدىغان كېرامىكا ئاساس ۋە ئارقا تەرىپىدە ئۇنى تىرەپ تۇرىدىغان سىلىندىر شەكىللىك تىرەك گەۋدىسى بار. ئىسسىتىش ئۈچۈن قارشىلىق ئېلېمېنتى (قىزىتىش قەۋىتى) دىن باشقا، كېرامىكا ئاساسنىڭ ئىچىدە ياكى يۈزىدە رادىئو چاستوتا ئېلېكترودلىرى (RF قەۋىتى)مۇ بار. تېز ئىسسىتىش ۋە سوۋۇتۇش ئۈچۈن، كېرامىكا ئاساسنىڭ قېلىنلىقى نېپىز بولۇشى كېرەك، ئەمما بەك نېپىز بولسا قاتتىقلىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

كېرامىك ئىسسىتقۇچنىڭ تىرەش قىسمى ئادەتتە ئاساسىي قىسمىغا ئوخشاش ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بولغان كېرامىك ماتېرىيالدىن ياسىلىدۇ. ئىسسىتقۇچ تېرمىناللار ۋە سىملارنى پلازما ۋە چىرىتىش خاراكتېرلىك خىمىيىلىك گازلارنىڭ تەسىرىدىن ساقلاش ئۈچۈن ئۆزگىچە بىرىكمە ئاستى قۇرۇلمىسىنى قوللىنىدۇ. ئىسسىتقۇچنىڭ تېمپېراتۇرىسىنىڭ بىردەك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، تىرەش قىسمى ئىسسىقلىق يەتكۈزۈش گاز كىرىش ۋە چىقىش تۇرۇبىسى بىلەن تەمىنلەنگەن. ئاساسىي قىسمى ۋە تىرەش قىسمى بىرىكمە قەۋەت بىلەن خىمىيىلىك جەھەتتىن بىرىكتۈرۈلگەن.

كېرامىكا ئىسسىتقۇچ ئاليۇمىن نىترىد (AlN)، كرېمنىي نىترىد (Si3N4) ۋە ئاليۇمىن (Al2O3) قاتارلىق كېرامىكىلاردىن ياسىلىدۇ. بۇلارنىڭ ئىچىدە، AlN كېرامىكا ئىسسىتقۇچلار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى تاللاش. باشقا ماتېرىياللار بىلەن سېلىشتۇرغاندا، VET Energy نىڭ AlN كېرامىكىسى تۆۋەندىكى ئالاھىدىلىكلەرگە ئىگە:
(1) ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياخشى؛
(2) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كرېمنىي ماتېرىياللىرىغا ماس كېلىدىغان ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى؛
(3) ياخشى مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەت، ئېسىل ئۇپراشقا چىداملىق ۋە ئومۇميۈزلۈك مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەر بېرىللىي ئوكسىدتىن ياخشى ۋە ئاليۇمىن ئوكسىدقا باراۋەر؛
(4) ئەلا سۈپەتلىك ئومۇميۈزلۈك ئېلېكتر خۇسۇسىيىتى، ئەلا سۈپەتلىك ئېلېكتر ئىزولياتسىيەسى ۋە تۆۋەن دىئېلېكترىك يوقىتىش؛
(5) زەھەرلىك ئەمەس ۋە مۇھىتقا زىيان يەتكۈزمەيدۇ.