Keramični grelec rezin AlN grelni element iz aluminijevega oksida

Keramični grelec rezin AlN grelni element iz aluminijevega oksida
Pri proizvodnji polprevodnikov je treba rezine obdelati z različnimi postopki, kot so nanašanje tankih filmov, jedkanje itd. Pri teh postopkih je treba rezine segreti na določeno temperaturo, pri čemer obstajajo stroge zahteve glede temperature, saj enakomernost temperature zelo pomembno vpliva na izkoristek izdelka, ogrevalne komponente pa so nepogrešljive.

Keramični grelecse neposredno nanese v procesno komoro in je v neposrednem stiku z rezino. Ne le, da nosijo rezino, ampak tudi zagotavljajo, da rezina doseže stabilno in enakomerno procesno temperaturo. So ključne komponente v opremi za nanašanje tankih polprevodniških filmov!

Keramični grelec vključuje keramično podlago, ki podpira rezino, in valjasto nosilno telo na zadnji strani, ki jo podpira. Poleg uporovnega elementa (grelne plasti) za ogrevanje so v notranjosti ali na površini keramične podlage tudi radiofrekvenčne elektrode (RF plast). Za hitro segrevanje in hlajenje mora biti debelina keramične podlage tanka, vendar bo pretanka debelina zmanjšala tudi togost.

Nosilec keramičnega grelnika je običajno izdelan iz keramičnega materiala s koeficientom toplotnega raztezanja, podobnim koeficientu podnožja. Grelnik ima edinstveno strukturo spodnjega dela gredi, ki ščiti terminale in žice pred učinki plazme in korozivnih kemičnih plinov. Nosilec je opremljen z dovodno in izpustno cevjo za plin za prenos toplote, ki zagotavlja enakomerno temperaturo grelnika. Podnožje in nosilec sta kemično povezana z veznim slojem.

Keramični grelec je lahko izdelan iz keramike, kot so aluminijev nitrid (AlN), silicijev nitrid (Si3N4) in aluminijev oksid (Al2O3). Med njimi je AlN najboljša izbira za keramične grelce. V primerjavi z drugimi materiali ima keramika AlN podjetja VET Energy naslednje lastnosti:
(1) Dobra toplotna prevodnost;
(2) Koeficient toplotnega raztezanja, prilagojen polprevodniškim silicijevim materialom;
(3) Dobre mehanske lastnosti, odlična odpornost proti obrabi in celovite mehanske lastnosti so boljše od berilijevega oksida in enakovredne aluminijevemu oksidu;
(4) Odlične celovite električne lastnosti, odlična električna izolacija in nizke dielektrične izgube;
(5) Nestrupeno in okolju prijazno.