Seramiki Wafer ti ngbona AlN Alumina Alapapo Element
Ninu iṣelọpọ semikondokito, awọn wafers nilo lati ni ilọsiwaju ni ọpọlọpọ awọn ilana, gẹgẹbi ifisilẹ fiimu tinrin, etching, bbl Ninu awọn ọna asopọ wọnyi, awọn wafers nilo lati kikan si iwọn otutu kan, ati pe awọn ibeere to muna wa fun iwọn otutu, nitori isokan ti iwọn otutu ni ipa pataki pupọ lori ikore ọja, ati awọn paati alapapo jẹ pataki.
Alagbona seramikiti wa ni lilo taara si iyẹwu ilana ati pe o wa ni olubasọrọ taara pẹlu wafer. Wọn ko gbe wafer nikan, ṣugbọn tun rii daju pe wafer gba iduroṣinṣin ati iwọn otutu ilana aṣọ. Wọn jẹ awọn paati bọtini ni ohun elo ifisilẹ fiimu tinrin semikondokito!
Olugbona seramiki pẹlu ipilẹ seramiki ti o ṣe atilẹyin wafer ati ara atilẹyin iyipo ni ẹgbẹ ẹhin ti o ṣe atilẹyin. Ni afikun si eroja resistance (alapapo alapapo) fun alapapo, awọn amọna igbohunsafẹfẹ redio tun wa ( Layer RF) inu tabi lori dada ipilẹ seramiki. Lati le ṣaṣeyọri alapapo iyara ati itutu agbaiye, sisanra ti ipilẹ seramiki yẹ ki o jẹ tinrin, ṣugbọn tinrin ju yoo tun dinku rigidity.
Atilẹyin ti ẹrọ igbona seramiki jẹ gbogbo ohun elo seramiki pẹlu imugboroja igbona ti o jọra si ti ipilẹ. Awọn ẹrọ ngbona gba eto alailẹgbẹ ti isale apapọ ọpa lati daabobo awọn ebute ati awọn okun lati awọn ipa ti pilasima ati awọn gaasi kemikali ibajẹ. Atilẹyin naa ti ni ipese pẹlu agbawọle gaasi gbigbe ooru ati paipu iṣan lati rii daju iwọn otutu aṣọ ti ẹrọ igbona. Ipilẹ ati atilẹyin ti wa ni asopọ kemikali pẹlu Layer imora.
Olugbona seramiki le jẹ ti awọn ohun elo amọ gẹgẹbi aluminiomu nitride (AlN), silikoni nitride (Si3N4), ati alumina (Al2O3). Lara wọn, AlN jẹ aṣayan ti o dara julọ fun awọn igbona seramiki. Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ohun elo miiran, seramiki VET Energy's AlN ni awọn abuda wọnyi:
(1) Imudara igbona ti o dara;
(2) Olusọdipúpọ imugboroja igbona ti o baamu si awọn ohun elo ohun alumọni semikondokito;
(3) Awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara, resistance resistance ti o dara julọ, ati awọn ohun-ini imọ-ẹrọ ti o dara ju beryllium oxide ati deede si ohun elo afẹfẹ aluminiomu;
(4) Awọn ohun-ini itanna okeerẹ ti o dara julọ, idabobo itanna ti o dara julọ ati pipadanu dielectric kekere;
(5) Ti kii ṣe majele ati ore ayika.
Iwe Data ti Awọn ohun elo seramiki
| Nkan | 95% aluminiomu | 99% aluminiomu | Zirconia | Silikoni carbide | SilikoniNitride | AluminiomuNitride |
| Àwọ̀ | funfun | Imọlẹ ofeefee | funfun | dudu | dudu | grẹy |
| Ìwúwo (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Gbigba Omi | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Lile (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Agbara Flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Agbara Ipilẹṣẹ (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Ọdọmọkunrin Modulus Of Elasticity | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310 ~ 350GPa |
| Iye owo ti Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Gbona Conductivity | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielectric Agbara | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Resistivity (25℃) | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 105Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm |
VET Energy jẹ olupese ọjọgbọn ti o fojusi lori R&D ati iṣelọpọ awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga-giga gẹgẹbi graphite, silikoni carbide, quartz, ati itọju ohun elo bii ibora SiC, ibora TaC, ideri carbon glassy, pyrolytic carbon cover, bbl Awọn ọja naa ni lilo pupọ ni fọtovoltaic, semikondokito, agbara tuntun, irin, ati bẹbẹ lọ.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.
Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
• Ti ara factory ati awọn ọjọgbọn yàrá;
• Awọn ipele mimọ ti ile-iṣẹ ati didara;
• Idije owo & Yara ifijiṣẹ akoko;
• Awọn ajọṣepọ ile-iṣẹ pupọ ni agbaye;
A ṣe itẹwọgba fun ọ lati wo ile-iṣẹ wa ati ile-iṣẹ ni eyikeyi akoko!
