Ohun èlò ìgbóná wafer seramiki AlN Alumina

Ohun èlò ìgbóná wafer seramiki AlN Alumina
Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, a nílò láti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn wafer ní onírúurú ọ̀nà, bíi ìdènà fíìmù tín-tín, ìfọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nínú àwọn ìjápọ̀ wọ̀nyí, a nílò láti gbóná àwọn wafer náà sí iwọ̀n otútù kan, àwọn ohun tí a béèrè fún sì wà fún iwọ̀n otútù náà, nítorí pé ìṣọ̀kan iwọ̀n otútù náà ní ipa pàtàkì lórí ìbísí ọjà náà, àti pé àwọn èròjà ìgbóná náà ṣe pàtàkì.

ẹrọ igbóná seramikiWọ́n fi sí yàrá ìṣiṣẹ́ náà tààrà, wọ́n sì fara kan wáfà náà tààrà. Kì í ṣe pé wọ́n ń gbé wáfà náà nìkan ni, wọ́n tún ń rí i dájú pé wáfà náà ní ìwọ̀n otútù tó dúró ṣinṣin àti ìṣọ̀kan. Wọ́n jẹ́ àwọn ohun pàtàkì nínú ohun èlò ìpamọ́ fíìmù semiconductor tín-tín!

Ohun èlò ìgbóná seramiki náà ní ìpìlẹ̀ seramiki tí ó gbé wafer náà ró àti ara ìtìlẹ́yìn cylindrical kan ní apá ẹ̀yìn tí ó gbé e ró. Yàtọ̀ sí ohun èlò ìdènà (ìpele ìgbóná) fún ìgbóná, àwọn elektrodu igbohunsafẹfẹ redio (ìpele RF) tún wà nínú tàbí lórí ojú ìpìlẹ̀ seramiki náà. Láti lè mú kí ìgbóná àti ìtútù yára kánkán, sisanra ìpìlẹ̀ seramiki náà yẹ kí ó tinrin, ṣùgbọ́n ó tinrin jù yóò sì dín ìdúróṣinṣin náà kù.

A sábà máa ń fi ohun èlò seramiki ṣe àtìlẹ́yìn ohun èlò ìgbóná seramiki pẹ̀lú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó jọ ti ìpìlẹ̀ náà. Ohun èlò ìgbóná náà gba ìṣètò àrà ọ̀tọ̀ ti ìsàlẹ̀ ìsopọ̀ ọ̀pá láti dáàbò bo àwọn ìpele àti wáyà kúrò nínú ipa plasma àti àwọn gáàsì kẹ́míkà oníbàjẹ́. A fi ọ̀nà gbígbóná gaasi àti páìpù ìjáde ooru ṣe àtìlẹ́yìn náà láti rí i dájú pé ìwọ̀n otútù kan náà ti ohun èlò ìgbóná náà. Ìpìlẹ̀ àti ìtìlẹ́yìn náà ni a fi ìpele ìsopọ̀ kẹ́míkà so pọ̀.

A le fi awọn ohun elo seramiki bii aluminiomu nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), ati alumina (Al2O3) ṣe ohun elo imona seramiki naa. Lara wọn, AlN ni yiyan ti o dara julọ fun awọn ohun elo imona seramiki. Ti a ba fiwera pẹlu awọn ohun elo miiran, seramiki AlN ti VET Energy ni awọn abuda wọnyi:
(1) Ìlànà ooru tó dára;
(2) Ìṣọ̀kan ìfàsẹ́yìn ooru tí ó bá àwọn ohun èlò silikoni semikondokitọ̀ mu;
(3) Àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ tó dára, agbára ìdènà ìbàjẹ́ tó dára, àti àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ tó péye sàn ju oxide beryllium lọ, wọ́n sì dọ́gba pẹ̀lú oxide aluminiomu;
(4) Awọn ohun-ini ina ti o tayọ ti o dara julọ, idabobo ina ti o dara julọ ati pipadanu dielectric kekere;
(5) Kì í ṣe majele àti pé kò ní èrè fún àyíká.