Calentador de obleas cerámicas Elemento calefactor de AlN Alúmina

Calentador de obleas cerámicas Elemento calefactor de AlN Alúmina
En la fabricación de semiconductores, las obleas deben procesarse mediante diversos procesos, como la deposición de películas delgadas, el grabado, etc. En estas etapas, las obleas deben calentarse a una temperatura determinada, y existen requisitos estrictos para dicha temperatura, ya que la uniformidad de la misma influye considerablemente en el rendimiento del producto, y los componentes de calentamiento son indispensables.

Calentador cerámicoSe aplican directamente a la cámara de procesamiento y están en contacto directo con la oblea. No solo la sostienen, sino que también garantizan que la oblea alcance una temperatura de procesamiento estable y uniforme. ¡Son componentes clave en los equipos de deposición de películas delgadas de semiconductores!

El calentador cerámico consta de una base de cerámica que soporta la oblea y un cuerpo de soporte cilíndrico en la parte posterior. Además del elemento resistivo (capa calefactora), la base cerámica incorpora electrodos de radiofrecuencia (capa RF) en su interior o superficie. Para lograr un calentamiento y enfriamiento rápidos, la base cerámica debe ser delgada, pero un grosor excesivo reduce su rigidez.

El soporte del calentador cerámico suele estar fabricado con material cerámico con un coeficiente de dilatación térmica similar al de la base. El calentador incorpora una estructura única con una junta inferior en el eje para proteger los terminales y los cables de los efectos del plasma y los gases químicos corrosivos. El soporte está equipado con una entrada y una salida de gas de transferencia de calor para garantizar una temperatura uniforme del calentador. La base y el soporte están unidos químicamente mediante una capa adhesiva.

El calentador cerámico puede estar fabricado con cerámicas como nitruro de aluminio (AlN), nitruro de silicio (Si3N4) y alúmina (Al2O3). Entre ellas, el AlN es la mejor opción para calentadores cerámicos. En comparación con otros materiales, la cerámica de AlN de VET Energy presenta las siguientes características:
(1) Buena conductividad térmica;
(2) Coeficiente de expansión térmica adaptado a los materiales semiconductores de silicio;
(3) Buenas propiedades mecánicas, excelente resistencia al desgaste y propiedades mecánicas integrales mejores que el óxido de berilio y equivalentes al óxido de aluminio;
(4) Excelentes propiedades eléctricas integrales, excelente aislamiento eléctrico y baja pérdida dieléctrica;
(5) No tóxico y respetuoso con el medio ambiente.