Elemento calefactor de alúmina AlN para calentador de obleas de cerámica

Elemento calefactor de alúmina AlN para calentador de obleas de cerámica
En la fabricación de semiconductores, las obleas deben procesarse en varios procesos, como deposición de película delgada, grabado, etc. En estos enlaces, las obleas deben calentarse a una temperatura determinada y existen requisitos estrictos para la temperatura, porque la uniformidad de la temperatura tiene un impacto muy importante en el rendimiento del producto, y los componentes de calentamiento son indispensables.

Calentador de cerámicaSe aplican directamente a la cámara de proceso y están en contacto directo con la oblea. No solo transportan la oblea, sino que también garantizan que esta alcance una temperatura de proceso estable y uniforme. Son componentes clave en los equipos de deposición de película delgada de semiconductores.

El calentador cerámico incluye una base cerámica que soporta la oblea y un cuerpo de soporte cilíndrico en la parte posterior. Además del elemento de resistencia (capa calefactora), también hay electrodos de radiofrecuencia (capa RF) dentro o sobre la superficie de la base cerámica. Para lograr un calentamiento y enfriamiento rápidos, el grosor de la base cerámica debe ser delgado, ya que un grosor demasiado delgado también reducirá la rigidez.

El soporte del calentador cerámico generalmente está hecho de material cerámico con un coeficiente de expansión térmica similar al de la base. El calentador adopta una estructura única con una base de unión de eje para proteger los terminales y cables de los efectos del plasma y los gases químicos corrosivos. El soporte está equipado con un tubo de entrada y salida de gas de transferencia de calor para garantizar una temperatura uniforme del calentador. La base y el soporte están unidos químicamente mediante una capa adhesiva.

El calentador cerámico puede fabricarse con cerámicas como nitruro de aluminio (AlN), nitruro de silicio (Si₃N₄) y alúmina (Al₂O₃). Entre ellas, el AlN es la mejor opción para calentadores cerámicos. En comparación con otros materiales, la cerámica de AlN de VET Energy presenta las siguientes características:
(1) Buena conductividad térmica;
(2) Coeficiente de expansión térmica adaptado a los materiales semiconductores de silicio;
(3) Las buenas propiedades mecánicas, la excelente resistencia al desgaste y las propiedades mecánicas integrales son mejores que las del óxido de berilio y equivalentes al óxido de aluminio;
(4) Excelentes propiedades eléctricas integrales, excelente aislamiento eléctrico y baja pérdida dieléctrica;
(5) No tóxico y respetuoso con el medio ambiente.