Keramikas vafeļu sildītājs AlN alumīnija sildelements

Īss apraksts:

VET Energy ir profesionāls ražotājs un piegādātājskeramikas sildītājs Ķīnā. Mums ir spēcīga pētniecības un attīstības komanda un patentētas tehnoloģijas, lai nodrošinātu klientus ar augstas kvalitātes un moderniem keramikas sildītājiem. Mēs aicinām jūs apmeklēt mūsu rūpnīcu un laboratoriju jebkurā laikā, cerot kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.

Vārds:Keramikas sildītājs

Materiāls::AlN, Si3N4, Al2O3

Minimālais pasūtījuma daudzums: 5

OEM, ODM:Atbalsts

Piegādes laiks:35 dienas

Sūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produkta tagi

Keramikas vafeļu sildītājs AlN alumīnija sildelements
Pusvadītāju ražošanā vafeles jāapstrādā dažādos procesos, piemēram, plāno kārtiņu uzklāšanā, kodināšanā utt. Šajās saitēs vafeles jāuzsilda līdz noteiktai temperatūrai, un temperatūrai ir stingras prasības, jo temperatūras vienmērīgumam ir ļoti liela ietekme uz produkta ražu, un sildīšanas komponenti ir neaizstājami.

Keramikas sildītājstiek tieši uzklāts uz procesa kameru un atrodas tiešā saskarē ar vafeli. Tie ne tikai nes vafeli, bet arī nodrošina, ka vafele sasniedz stabilu un vienmērīgu procesa temperatūru. Tie ir galvenie komponenti pusvadītāju plāno kārtiņu uzklāšanas iekārtās!

Keramikas sildītājs ietver keramikas pamatni, kas atbalsta plāksni, un cilindrisku atbalsta korpusu aizmugurē, kas to atbalsta. Papildus pretestības elementam (sildīšanas slānim) sildīšanai keramikas pamatnes iekšpusē vai uz tās virsmas ir arī radiofrekvences elektrodi (RF slānis). Lai panāktu ātru sildīšanu un dzesēšanu, keramikas pamatnes biezumam jābūt plānam, bet pārāk plāns slānis samazinās arī stingrību.

Keramikas sildītāja pamatne parasti ir izgatavota no keramikas materiāla, kura termiskās izplešanās koeficients ir līdzīgs pamatnes termiskās izplešanās koeficientam. Sildītājam ir unikāla vārpstas savienojuma apakšas struktūra, lai aizsargātu spailes un vadus no plazmas un kodīgu ķīmisko gāzu iedarbības. Pamatne ir aprīkota ar siltuma pārneses gāzes ieplūdes un izplūdes cauruli, lai nodrošinātu vienmērīgu sildītāja temperatūru. Pamatne un pamatne ir ķīmiski savienoti ar savienojuma slāni.

Keramikas sildītājs var būt izgatavots no tādas keramikas kā alumīnija nitrīds (AlN), silīcija nitrīds (Si3N4) un alumīnija oksīds (Al2O3). Starp tiem AlN ir labākā izvēle keramikas sildītājiem. Salīdzinot ar citiem materiāliem, VET Energy AlN keramikai ir šādas īpašības:
(1) Laba siltumvadītspēja;
(2) pusvadītāju silīcija materiāliem atbilstošs termiskās izplešanās koeficients;
(3) Labas mehāniskās īpašības, lieliska nodilumizturība un visaptverošas mehāniskās īpašības ir labākas par berilija oksīdu un līdzvērtīgas alumīnija oksīdam;
(4) Izcilas visaptverošas elektriskās īpašības, lieliska elektriskā izolācija un zemi dielektriskie zudumi;
(5) Netoksisks un videi draudzīgs.

Keramikas materiālu datu lapa

Prece	95% alumīnija oksīds	99% alumīnija oksīds	Cirkonijs	Silīcija karbīds	SilīcijsNitride	AlumīnijsNitride
Krāsa	balts	Gaiši dzeltens	balts	melns	melns	pelēks
Blīvums (g/cm3)	3,7 g/cm3	3,9 g/cm3	6,02 g/cm3	3,2 g/cm3	3,25 g/cm3	3,2 g/cm3
Ūdens absorbcija	0%	0%	0%	0%	0%	0%
Cietība (HV)	23.7	23.7	16,5	33	20	-
Lieces izturība (MPa)	300MPa	400MPa	1100MPa	450MPa	800MPa	310MPa
Spiedes stiprība (MPa)	2500MPa	2800MPa	3600MPa	2000MPa	2600MPa	-
Janga elastības modulis	300 GPa	300 GPa	320 GPa	450 GPa	290 GPa	310~350 GPa
Puasona koeficients	0,23	0,23	0,25	0,14	0,24	0,24
Siltumvadītspēja	20 W/m°C	32 W/m°C	3 W/m°C	50 W/m°C	25 W/m°C	150 W/m°C
Dielektriskā izturība	14KV/mm	14KV/mm	14KV/mm	14KV/mm	14KV/mm	14KV/mm
Tilpuma pretestība (25 ℃)	>1014 Ω·cm	>1014 Ω·cm	>1014 Ω·cm	>105 Ω·cm	>1014 Ω·cm	>1014 Ω·cm

VET Energy ir profesionāls ražotājs, kas koncentrējas uz augstas klases progresīvu materiālu, piemēram, grafīta, silīcija karbīda, kvarca, pētniecību un attīstību, kā arī ražošanu, kā arī uz materiālu apstrādi, piemēram, SiC pārklājumu, TaC pārklājumu, stiklveida oglekļa pārklājumu, pirolītiskās oglekļa pārklājumu utt. Produktus plaši izmanto fotoelektriskajā, pusvadītāju, jaunās enerģijas, metalurģijas u.c. jomā.

Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, var sniegt jums profesionālākus materiālu risinājumus.

VET Energy priekšrocības ietver:
• Pašu rūpnīcu un profesionālu laboratoriju;
• Nozarē vadošie tīrības līmeņi un kvalitāte;
• Konkurētspējīga cena un ātrs piegādes laiks;
• Vairākas nozares partnerības visā pasaulē;

Laipni lūdzam apmeklēt mūsu rūpnīcu un laboratoriju jebkurā laikā!