Elemento calefactor de obleas de cerámica AlN e alúmina

Elemento calefactor de obleas de cerámica AlN e alúmina
Na fabricación de semicondutores, as obleas deben procesarse en varios procesos, como a deposición de película fina, o gravado, etc. Nestes procesos, as obleas deben quentarse a unha determinada temperatura e existen requisitos estritos para a temperatura, porque a uniformidade da temperatura ten un impacto moi importante no rendemento do produto e os compoñentes de calefacción son indispensables.

quentador de cerámicaaplícase directamente á cámara de proceso e están en contacto directo coa oblea. Non só sosteñen a oblea, senón que tamén garanten que esta obteña unha temperatura de proceso estable e uniforme. Son compoñentes clave nos equipos de deposición de películas finas de semicondutores!

O quentador cerámico inclúe unha base cerámica que sostén a oblea e un corpo de soporte cilíndrico na parte traseira que a sostén. Ademais do elemento de resistencia (capa de quentamento) para o quentamento, tamén hai eléctrodos de radiofrecuencia (capa de RF) dentro ou na superficie da base cerámica. Para lograr un quentamento e arrefriamento rápidos, o grosor da base cerámica debe ser fino, pero demasiado fino tamén reducirá a rixidez.

O soporte do quentador cerámico xeralmente está feito de material cerámico cun coeficiente de expansión térmica similar ao da base. O quentador adopta unha estrutura única dunha parte inferior de unión de eixe para protexer os terminais e os cables dos efectos do plasma e dos gases químicos corrosivos. O soporte está equipado cun tubo de entrada e saída de gas de transferencia de calor para garantir unha temperatura uniforme do quentador. A base e o soporte están unidos quimicamente cunha capa adhesiva.

O quentador cerámico pode estar feito de cerámica como nitruro de aluminio (AlN), nitruro de silicio (Si3N4) e alúmina (Al2O3). Entre eles, o AlN é a mellor opción para os quentadores cerámicos. En comparación con outros materiais, a cerámica de AlN de VET Energy ten as seguintes características:
(1) Boa condutividade térmica;
(2) Coeficiente de expansión térmica adaptado aos materiais de silicio semicondutores;
(3) As boas propiedades mecánicas, a excelente resistencia ao desgaste e as propiedades mecánicas completas son mellores que as do óxido de berilio e equivalentes ao óxido de aluminio;
(4) Excelentes propiedades eléctricas completas, excelente illamento eléctrico e baixa perda dieléctrica;
(5) Non tóxico e respectuoso co medio ambiente.