Keramik Wafer manaskeun AlN Alumina elemen pemanasan
Dina manufaktur semikonduktor, wafers kudu diolah dina sagala rupa prosés, kayaning déposisi pilem ipis, etching, jsb Dina tumbu ieu, wafers kudu dipanaskeun nepi ka suhu nu tangtu, sarta aya sarat ketat pikeun hawa, sabab uniformity suhu boga dampak anu kacida penting dina ngahasilkeun produk, sarta komponén pemanasan anu indispensable.
Pemanas keramikieu langsung dilarapkeun ka chamber prosés jeung aya dina kontak langsung jeung wafer nu. Éta henteu ngan ukur mawa wafer, tapi ogé mastikeun yén wafer nampi suhu prosés anu stabil sareng seragam. Aranjeunna komponén konci dina semikonduktor alat déposisi pilem ipis!
Pemanas keramik kalebet dasar keramik anu ngadukung wafer sareng awak pangrojong silinder di sisi tukang anu ngadukung éta. Salian unsur résistansi (lapisan pemanasan) pikeun pemanasan, aya ogé éléktroda frekuensi radio (lapisan RF) di jero atanapi dina permukaan dasar keramik. Dina raraga ngahontal pemanasan gancang sarta cooling, ketebalan tina dasar keramik kudu ipis, tapi teuing ipis ogé bakal ngurangan rigidity nu.
Pangrojong pamanas keramik umumna didamel tina bahan keramik sareng koefisien ékspansi termal sami sareng dasarna. Pemanas ngadopsi struktur unik tina aci gabungan handap pikeun nangtayungan terminal sareng kawat tina épék plasma sareng gas kimia korosif. Pangrojongna dilengkepan inlet gas transfer panas sareng pipa outlet pikeun mastikeun suhu seragam tina manaskeun. Dasar sareng pangrojong sacara kimia kabeungkeut ku lapisan beungkeutan.
Pemanas keramik tiasa didamel tina keramik sapertos aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), sareng alumina (Al2O3). Di antarana, AlN mangrupakeun pilihan pangalusna pikeun pamanas keramik. Dibandingkeun sareng bahan anu sanés, keramik AlN VET Energy gaduh ciri-ciri ieu:
(1) konduktivitas termal alus;
(2) Cocog koefisien ékspansi termal pikeun bahan silikon semikonduktor;
(3) Sipat mékanis alus, résistansi maké alus teuing, sarta sipat mékanis komprehensif leuwih hade tinimbang beryllium oksida jeung sarua jeung aluminium oksida;
(4) Alus sipat listrik komprehensif, insulasi listrik alus teuing jeung leungitna diéléktrik low;
(5) Non-toksik sarta ramah lingkungan.
Lembar Data Bahan Keramik
| Barang | 95% alumina | 99% alumina | Zirconia | Silicon carbide | SilikonNiraha | alumuniumNiraha |
| Warna | bodas | konéng lampu | bodas | hideung | hideung | kulawu |
| Kapadetan (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Nyerep cai | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Teu karasa (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Kakuatan Flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Kakuatan Compressive (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus Elastisitas Young urang | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Rasio Poisson urang | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Konduktivitas termal | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Kakuatan diéléktrik | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Résistansi volume (25 ℃) | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 105Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm |
VET Energy mangrupakeun produsén profésional fokus dina R & D jeung produksi bahan canggih high-end kayaning grafit, silikon carbide, quartz, kitu ogé perlakuan bahan kawas SiC palapis, TaC palapis, palapis karbon glassy, palapis karbon pyrolytic, jsb produk nu loba dipaké dina photovoltaic, semikonduktor, énergi anyar, metallurgy, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.
Keunggulan VET Energy meliputi:
• pabrik sorangan jeung laboratorium profésional;
• Industri-ngarah tingkat purity jeung kualitas;
• harga kalapa & waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnerships industri di sakuliah dunya;
Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!
