Elemen Pemanas Wafer Keramik AlN Alumina
Dina manufaktur semikonduktor, wafer kedah diolah dina rupa-rupa prosés, sapertos déposisi pilem ipis, étsa, jsb. Dina tautan ieu, wafer kedah dipanaskeun dugi ka suhu anu tangtu, sareng aya sarat anu ketat pikeun suhu éta, sabab keseragaman suhu gaduh dampak anu penting pisan kana hasil produk, sareng komponén pemanasan teu tiasa dipisahkeun.
Pemanas keramiklangsung diterapkeun kana rohangan prosés sareng aya kontak langsung sareng wafer. Éta henteu ngan ukur mawa wafer, tapi ogé mastikeun yén wafer kéngingkeun suhu prosés anu stabil sareng seragam. Éta mangrupikeun komponén konci dina alat déposisi pilem ipis semikonduktor!
Pemanas keramik ngawengku dasar keramik anu ngadukung wafer sareng awak pendukung silinder di sisi tukang anu ngadukungna. Salian ti élémen résistansi (lapisan pemanasan) pikeun pemanasan, aya ogé éléktroda frékuénsi radio (lapisan RF) di jero atanapi dina permukaan dasar keramik. Pikeun ngahontal pemanasan sareng pendinginan anu gancang, ketebalan dasar keramik kedah ipis, tapi ipis teuing ogé bakal ngirangan kaku.
Pangrojong pemanas keramik umumna didamel tina bahan keramik kalayan koéfisién ékspansi termal anu sami sareng dasarna. Pemanas ieu ngadopsi struktur unik tina dasar sambungan aci pikeun ngajaga terminal sareng kabel tina pangaruh plasma sareng gas kimia korosif. Pangrojong ieu dilengkepan ku pipa asupan sareng kaluaran gas transfer panas pikeun mastikeun suhu pemanas anu seragam. Dasar sareng pangrojongna dihijikeun sacara kimiawi ku lapisan pangiket.
Pemanas keramik tiasa didamel tina keramik sapertos aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), sareng alumina (Al2O3). Di antarana, AlN mangrupikeun pilihan anu pangsaéna pikeun pemanas keramik. Dibandingkeun sareng bahan sanés, keramik AlN VET Energy ngagaduhan ciri-ciri ieu:
(1) Konduktivitas termal anu saé;
(2) Koefisien ékspansi termal anu cocog sareng bahan silikon semikonduktor;
(3) Sipat mékanis anu saé, résistansi maké anu saé, sareng sipat mékanis anu lengkep langkung saé tibatan bérilium oksida sareng sami sareng aluminium oksida;
(4) Sipat listrik anu komprehensif sareng unggul, insulasi listrik anu saé sareng karugian dielektrik anu handap;
(5) Henteu toksik sareng ramah lingkungan.
Lembar Data Bahan Keramik
| Barang | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirkonia | Silikon karbida | SilikonNitride | AluminiumNitride |
| Warna | bodas | Konéng ngora | bodas | hideung | hideung | kulawu |
| Kapadetan (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Nyerep Cai | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Teuas (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Kakuatan Léntur (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Kakuatan Komprési (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus Élastisitas Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Babandingan Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Konduktivitas Termal | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Kakuatan Dielektrik | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Résistansi Volume (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy nyaéta produsén profésional anu museur kana R&D sareng produksi bahan canggih kelas luhur sapertos grafit, silikon karbida, kuarsa, ogé perlakuan bahan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb. Produkna seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.
Kaunggulan VET Energy kalebet:
• Pabrik sorangan sareng laboratorium profésional;
• Tingkat kamurnian sareng kualitas anu unggul dina industri;
• Hargana kompetitif & Waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnership industri di sakumna dunya;
Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!
