సిరామిక్ వేఫర్ హీటర్ AlN అల్యూమినా హీటింగ్ ఎలిమెంట్
సెమీకండక్టర్ తయారీలో, వేఫర్లను థిన్ ఫిల్మ్ డిపోజిషన్, ఎచింగ్ మొదలైన వివిధ ప్రక్రియలలో ప్రాసెస్ చేయవలసి ఉంటుంది. ఈ దశలలో, వేఫర్లను ఒక నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయాలి మరియు ఉష్ణోగ్రతకు సంబంధించి కఠినమైన అవసరాలు ఉంటాయి, ఎందుకంటే ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఏకరూపత ఉత్పత్తి దిగుబడిపై చాలా ముఖ్యమైన ప్రభావాన్ని చూపుతుంది మరియు హీటింగ్ కాంపోనెంట్లు తప్పనిసరి.
సిరామిక్ హీటర్ఇవి నేరుగా ప్రాసెస్ ఛాంబర్కు అమర్చబడి, వేఫర్తో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంటాయి. ఇవి వేఫర్ను మోయడమే కాకుండా, వేఫర్ స్థిరమైన మరియు ఏకరీతి ప్రాసెస్ ఉష్ణోగ్రతను పొందేలా కూడా నిర్ధారిస్తాయి. ఇవి సెమీకండక్టర్ థిన్ ఫిల్మ్ డిపోజిషన్ పరికరాలలో కీలకమైన భాగాలు!
సెరామిక్ హీటర్లో వేఫర్కు ఆధారాన్నిచ్చే ఒక సెరామిక్ బేస్ మరియు దాని వెనుక వైపున దానికి ఆసరాగా ఉండే ఒక స్థూపాకార సపోర్ట్ బాడీ ఉంటాయి. వేడి చేయడానికి ఉపయోగపడే రెసిస్టెన్స్ ఎలిమెంట్ (హీటింగ్ లేయర్)తో పాటు, సెరామిక్ బేస్ లోపల లేదా ఉపరితలంపై రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ ఎలక్ట్రోడ్లు (RF లేయర్) కూడా ఉంటాయి. వేగంగా వేడి చేయడానికి మరియు చల్లబరచడానికి, సెరామిక్ బేస్ మందం పలుచగా ఉండాలి, కానీ మరీ పలుచగా ఉంటే దృఢత్వం కూడా తగ్గుతుంది.
సెరామిక్ హీటర్ యొక్క ఆధారం సాధారణంగా దాని బేస్ మాదిరిగానే ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం కలిగిన సెరామిక్ పదార్థంతో తయారు చేయబడుతుంది. ప్లాస్మా మరియు క్షయకారక రసాయన వాయువుల ప్రభావాల నుండి టెర్మినల్స్ మరియు వైర్లను రక్షించడానికి, ఈ హీటర్ షాఫ్ట్ జాయింట్ బాటమ్ అనే ఒక ప్రత్యేకమైన నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది. హీటర్ యొక్క ఉష్ణోగ్రత ఏకరీతిగా ఉండేలా చూసుకోవడానికి, ఈ ఆధారానికి ఉష్ణ బదిలీ వాయువు ప్రవేశ మరియు నిష్క్రమణ పైపు అమర్చబడి ఉంటుంది. బేస్ మరియు ఆధారం ఒక బంధన పొరతో రసాయనికంగా బంధించబడి ఉంటాయి.
సెరామిక్ హీటర్ను అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN), సిలికాన్ నైట్రైడ్ (Si3N4), మరియు అల్యూమినా (Al2O3) వంటి సెరామిక్లతో తయారు చేయవచ్చు. వాటిలో, సెరామిక్ హీటర్ల కోసం AlN ఉత్తమ ఎంపిక. ఇతర పదార్థాలతో పోలిస్తే, VET ఎనర్జీ యొక్క AlN సెరామిక్ కింది లక్షణాలను కలిగి ఉంది:
(1) మంచి ఉష్ణ వాహకత;
(2) సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ పదార్థాలకు సరిపోలిన ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం;
(3) మంచి యాంత్రిక లక్షణాలు, అద్భుతమైన అరుగుదల నిరోధకత మరియు సమగ్ర యాంత్రిక లక్షణాలు బెరిలియం ఆక్సైడ్ కంటే మెరుగ్గా మరియు అల్యూమినియం ఆక్సైడ్కు సమానంగా ఉంటాయి;
(4) అద్భుతమైన సమగ్ర విద్యుత్ లక్షణాలు, అద్భుతమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మరియు తక్కువ డైఎలెక్ట్రిక్ నష్టం;
(5) విషరహితమైనది మరియు పర్యావరణ అనుకూలమైనది.
సిరామిక్ పదార్థాల డేటా షీట్
| వస్తువు | 95% అల్యూమినా | 99% అల్యూమినా | జిర్కోనియా | సిలికాన్ కార్బైడ్ | సిలికాన్Nఐరైడ్ | అల్యూమినియంNఐరైడ్ |
| రంగు | తెలుపు | లేత పసుపు | తెలుపు | నలుపు | నలుపు | బూడిద రంగు |
| సాంద్రత (గ్రా/సెంమీ³) | 3.7గ్రా/సెం.మీ³ | 3.9గ్రా/సెం.మీ³ | 6.02 గ్రా/సెం.మీ³ | 3.2 గ్రా/సెం.మీ³ | 3.25గ్రా/సెం.మీ³ | 3.2 గ్రా/సెం.మీ³ |
| నీటి శోషణ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| కాఠిన్యం(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| వంగుదల బలం (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| సంపీడన బలం (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| యంగ్స్ స్థితిస్థాపక గుణకం | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| పాయిసన్ నిష్పత్తి | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ఉష్ణ వాహకత | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| విద్యుద్వాహక బలం | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET ఎనర్జీ అనేది గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, క్వార్ట్జ్ వంటి ఉన్నత స్థాయి అధునాతన పదార్థాల పరిశోధన, అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక వృత్తిపరమైన తయారీ సంస్థ. అలాగే SiC కోటింగ్, TaC కోటింగ్, గ్లాసీ కార్బన్ కోటింగ్, పైరోలిటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మొదలైన పదార్థ శుద్ధి ప్రక్రియలను కూడా ఇది నిర్వహిస్తుంది. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, నూతన శక్తి, లోహశాస్త్రం మొదలైన రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.
మా సాంకేతిక బృందం దేశంలోని అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీకు మరింత వృత్తిపరమైన మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.
VET ఎనర్జీ ప్రయోజనాలలో ఇవి ఉన్నాయి:
• సొంత ఫ్యాక్టరీ మరియు వృత్తిపరమైన ప్రయోగశాల;
• పరిశ్రమలో అగ్రగామి స్వచ్ఛత స్థాయిలు మరియు నాణ్యత;
పోటీ ధర మరియు వేగవంతమైన డెలివరీ సమయం;
• ప్రపంచవ్యాప్తంగా బహుళ పరిశ్రమ భాగస్వామ్యాలు;
మీరు ఎప్పుడైనా మా ఫ్యాక్టరీ మరియు ప్రయోగశాలను సందర్శించవచ్చు!
-
ఫోటోవోల్టాయిక్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే అధిక స్వచ్ఛత గల క్వార్ట్జ్ మూస...
-
వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం అధిక స్వచ్ఛత గల క్వార్ట్జ్ బోట్
-
అల్యూమినా సిరామిక్ సెమీకండక్టర్ ఎలక్ట్రోడ్ స్లీవ్
-
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ మెకానికల్ ఆర్మ్
-
అధిక ఉష్ణోగ్రత క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్
-
సెమీకండక్టర్ అల్యూమినా సిరామిక్ ప్లేట్