సిరామిక్ వేఫర్ హీటర్ AlN అల్యూమినా హీటింగ్ ఎలిమెంట్
సెమీకండక్టర్ తయారీలో, సన్నని పొర నిక్షేపణ, ఎచింగ్ మొదలైన వివిధ ప్రక్రియలలో వేఫర్లను ప్రాసెస్ చేయాల్సి ఉంటుంది. ఈ లింక్లలో, వేఫర్లను ఒక నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయాలి మరియు ఉష్ణోగ్రతకు కఠినమైన అవసరాలు ఉన్నాయి, ఎందుకంటే ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఏకరూపత ఉత్పత్తి దిగుబడిపై చాలా ముఖ్యమైన ప్రభావాన్ని చూపుతుంది మరియు తాపన భాగాలు తప్పనిసరి.
సిరామిక్ హీటర్ప్రాసెస్ చాంబర్కు నేరుగా వర్తించబడుతుంది మరియు వేఫర్తో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంటుంది. అవి వేఫర్ను మోసుకెళ్లడమే కాకుండా, వేఫర్ స్థిరమైన మరియు ఏకరీతి ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రతను పొందేలా చూస్తాయి. సెమీకండక్టర్ సన్నని ఫిల్మ్ నిక్షేపణ పరికరాలలో ఇవి కీలకమైన భాగాలు!
సిరామిక్ హీటర్లో వేఫర్కు మద్దతు ఇచ్చే సిరామిక్ బేస్ మరియు దానిని మద్దతు ఇచ్చే వెనుక వైపున ఒక స్థూపాకార సపోర్ట్ బాడీ ఉంటాయి. వేడి చేయడానికి రెసిస్టెన్స్ ఎలిమెంట్ (హీటింగ్ లేయర్) తో పాటు, సిరామిక్ బేస్ లోపల లేదా ఉపరితలంపై రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ ఎలక్ట్రోడ్లు (RF లేయర్) కూడా ఉన్నాయి. వేగవంతమైన తాపన మరియు శీతలీకరణను సాధించడానికి, సిరామిక్ బేస్ యొక్క మందం సన్నగా ఉండాలి, కానీ చాలా సన్నగా ఉండటం వల్ల దృఢత్వం కూడా తగ్గుతుంది.
సిరామిక్ హీటర్ యొక్క సపోర్ట్ సాధారణంగా బేస్ మాదిరిగానే థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్తో సిరామిక్ మెటీరియల్తో తయారు చేయబడుతుంది. ప్లాస్మా మరియు తినివేయు రసాయన వాయువుల ప్రభావాల నుండి టెర్మినల్స్ మరియు వైర్లను రక్షించడానికి హీటర్ షాఫ్ట్ జాయింట్ బాటమ్ యొక్క ప్రత్యేకమైన నిర్మాణాన్ని అవలంబిస్తుంది. హీటర్ యొక్క ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రతను నిర్ధారించడానికి సపోర్ట్ ఉష్ణ బదిలీ గ్యాస్ ఇన్లెట్ మరియు అవుట్లెట్ పైపుతో అమర్చబడి ఉంటుంది. బేస్ మరియు సపోర్ట్ రసాయనికంగా బంధన పొరతో బంధించబడి ఉంటాయి.
సిరామిక్ హీటర్ను అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN), సిలికాన్ నైట్రైడ్ (Si3N4) మరియు అల్యూమినా (Al2O3) వంటి సిరామిక్లతో తయారు చేయవచ్చు. వాటిలో, సిరామిక్ హీటర్లకు AlN ఉత్తమ ఎంపిక. ఇతర పదార్థాలతో పోలిస్తే, VET ఎనర్జీ యొక్క AlN సిరామిక్ ఈ క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉంది:
(1) మంచి ఉష్ణ వాహకత;
(2) సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ పదార్థాలకు ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం సరిపోలింది;
(3) మంచి యాంత్రిక లక్షణాలు, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు సమగ్ర యాంత్రిక లక్షణాలు బెరీలియం ఆక్సైడ్ కంటే మెరుగైనవి మరియు అల్యూమినియం ఆక్సైడ్తో సమానం;
(4) అద్భుతమైన సమగ్ర విద్యుత్ లక్షణాలు, అద్భుతమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మరియు తక్కువ విద్యుద్వాహక నష్టం;
(5) విషరహితం మరియు పర్యావరణ అనుకూలమైనది.
సిరామిక్ మెటీరియల్స్ యొక్క డేటా షీట్
| అంశం | 95% అల్యూమినా | 99% అల్యూమినా | జిర్కోనియా | సిలికాన్ కార్బైడ్ | సిలికాన్Nఇట్రైడ్ | అల్యూమినియంNఇట్రైడ్ |
| రంగు | తెలుపు | లేత పసుపు | తెలుపు | నలుపు | నలుపు | బూడిద రంగు |
| సాంద్రత (గ్రా/సెం.మీ3) | 3.7గ్రా/సెం.మీ3 | 3.9గ్రా/సెం.మీ3 | 6.02గ్రా/సెం.మీ3 | 3.2గ్రా/సెం.మీ3 | 3.25గ్రా/సెం.మీ3 | 3.2గ్రా/సెం.మీ3 |
| నీటి శోషణ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| కాఠిన్యం(HV) | 23.7 తెలుగు | 23.7 తెలుగు | 16.5 समानी प्रकारका समानी स्तुत्� | 33 | 20 | - |
| ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ (MPa) | 300ఎంపీఏ | 400ఎంపీఏ | 1100ఎంపీఏ | 450ఎంపీఏ | 800ఎంపీఏ | 310ఎంపీఏ |
| సంపీడన బలం (MPa) | 2500ఎంపీఏ | 2800ఎంపీఏ | 3600MPa (ఎక్స్పా) | 2000ఎంపీఏ | 2600ఎంపీఏ | - |
| యంగ్ యొక్క స్థితిస్థాపకత యొక్క మాడ్యులస్ | 300జీపీఏ | 300జీపీఏ | 320 జీపీఏ | 450జీపీఏ | 290 జీపీఏ | 310~350జీపీఏ |
| పాయిజన్ నిష్పత్తి | 0.23 తెలుగు | 0.23 తెలుగు | 0.25 మాగ్నెటిక్స్ | 0.14 తెలుగు | 0.24 తెలుగు | 0.24 తెలుగు |
| ఉష్ణ వాహకత | 20W/మీ°C | 32W/మీ°C | 3W/మీ°C | 50W/మీ°C | 25W/మీ°C | 150W/మీ°C |
| విద్యుద్వాహక బలం | 14KV/మి.మీ. | 14KV/మి.మీ. | 14KV/మి.మీ. | 14KV/మి.మీ. | 14KV/మి.మీ. | 14KV/మి.మీ. |
| వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ(25℃) | >1014Ω·సెం.మీ | >1014Ω·సెం.మీ | >1014Ω·సెం.మీ | >105Ω·సెం.మీ | >1014Ω·సెం.మీ | >1014Ω·సెం.మీ |
VET ఎనర్జీ అనేది గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, క్వార్ట్జ్ వంటి అత్యాధునిక అధునాతన పదార్థాల R&D మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక ప్రొఫెషనల్ తయారీదారు, అలాగే SiC పూత, TaC పూత, గ్లాసీ కార్బన్ పూత, పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత మొదలైన మెటీరియల్ ట్రీట్మెంట్పై దృష్టి సారిస్తుంది. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, న్యూ ఎనర్జీ, మెటలర్జీ మొదలైన వాటిలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.
మా సాంకేతిక బృందం అగ్రశ్రేణి దేశీయ పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీ కోసం మరింత ప్రొఫెషనల్ మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.
VET శక్తి ప్రయోజనాలు:
• సొంత కర్మాగారం మరియు ప్రొఫెషనల్ ప్రయోగశాల;
• పరిశ్రమలో అగ్రగామిగా ఉన్న స్వచ్ఛత స్థాయిలు మరియు నాణ్యత;
• పోటీ ధర & వేగవంతమైన డెలివరీ సమయం;
• ప్రపంచవ్యాప్తంగా బహుళ పరిశ్రమ భాగస్వామ్యాలు;
మా ఫ్యాక్టరీ మరియు ప్రయోగశాలను ఎప్పుడైనా సందర్శించడానికి మేము మిమ్మల్ని స్వాగతిస్తున్నాము!
-
సెమీకండక్టర్ అల్యూమినా సిరామిక్స్ ఇన్సులేటింగ్ కవర్
-
సెమీకండక్టర్ అల్యూమినా సిరామిక్స్ వేఫర్ క్యారియర్
-
అల్యూమినా సిరామిక్స్ సెమీకండక్టర్ ఇన్సులేటింగ్ కవర్
-
అల్యూమినా సిరామిక్ సెమీకండక్టర్ ఎలక్ట్రోడ్ స్లీవ్
-
కస్టమ్ అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు నిరోధక...
-
ఫోటోవోలో ఉపయోగించే అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్...