سیرامک ویفر ہیٹر AlN ایلومینا ہیٹنگ عنصر
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، ویفرز کو مختلف عملوں میں پروسیس کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، جیسے کہ پتلی فلم جمع کرنا، اینچنگ وغیرہ۔ ان لنکس میں، ویفرز کو ایک خاص درجہ حرارت پر گرم کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، اور درجہ حرارت کے لیے سخت تقاضے ہوتے ہیں، کیونکہ درجہ حرارت کی یکسانیت مصنوعات کی پیداوار پر بہت اہم اثر ڈالتی ہے، اور حرارتی اجزاء میں حرارتی اجزاء ہوتے ہیں۔
سرامک ہیٹربراہ راست عمل کے چیمبر پر لاگو ہوتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہوتا ہے۔ وہ نہ صرف ویفر کو لے جاتے ہیں بلکہ یہ بھی یقینی بناتے ہیں کہ ویفر ایک مستحکم اور یکساں عمل درجہ حرارت حاصل کرتا ہے۔ وہ سیمی کنڈکٹر پتلی فلم جمع کرنے کے سامان میں اہم اجزاء ہیں!
سیرامک ہیٹر میں ایک سیرامک بیس شامل ہے جو ویفر کو سپورٹ کرتا ہے اور پچھلی طرف ایک بیلناکار سپورٹ باڈی ہے جو اسے سپورٹ کرتا ہے۔ حرارت کے لیے مزاحمتی عنصر (ہیٹنگ لیئر) کے علاوہ، سیرامک بیس کے اندر یا اس کی سطح پر ریڈیو فریکوئنسی الیکٹروڈ (RF تہہ) بھی موجود ہیں۔ تیز حرارت اور ٹھنڈک حاصل کرنے کے لیے، سیرامک بیس کی موٹائی پتلی ہونی چاہیے، لیکن بہت پتلی بھی سختی کو کم کر دے گی۔
سیرامک ہیٹر کی سپورٹ عام طور پر سیرامک مواد سے بنی ہوتی ہے جس میں تھرمل ایکسپینشن گتانک بیس کی طرح ہوتا ہے۔ ہیٹر ٹرمینلز اور تاروں کو پلازما اور سنکنار کیمیائی گیسوں کے اثرات سے بچانے کے لیے شافٹ جوائنٹ نچلے حصے کی منفرد ساخت کو اپناتا ہے۔ ہیٹر کے یکساں درجہ حرارت کو یقینی بنانے کے لیے سپورٹ ہیٹ ٹرانسفر گیس انلیٹ اور آؤٹ لیٹ پائپ سے لیس ہے۔ بیس اور سپورٹ کیمیائی طور پر بانڈنگ پرت کے ساتھ جڑے ہوئے ہیں۔
سیرامک ہیٹر سیرامکس سے بنایا جا سکتا ہے جیسے ایلومینیم نائٹرائڈ (AlN)، سلکان نائٹرائڈ (Si3N4)، اور ایلومینا (Al2O3)۔ ان میں سے، سیرامک ہیٹر کے لیے AlN بہترین انتخاب ہے۔ دیگر مواد کے مقابلے میں، VET Energy کے AlN سیرامک میں درج ذیل خصوصیات ہیں:
(1) اچھی تھرمل چالکتا؛
(2) سیمی کنڈکٹر سلیکون مواد سے مطابقت پذیر تھرمل ایکسپینشن گتانک؛
(3) اچھی مکینیکل خصوصیات، بہترین لباس مزاحمت، اور جامع مکینیکل خصوصیات بیریلیم آکسائیڈ سے بہتر اور ایلومینیم آکسائیڈ کے مساوی ہیں۔
(4) بہترین جامع برقی خصوصیات، بہترین برقی موصلیت اور کم ڈائی الیکٹرک نقصان؛
(5) غیر زہریلا اور ماحول دوست۔
سیرامک مواد کی ڈیٹا شیٹ
| آئٹم | 95% ایلومینا۔ | 99% ایلومینا۔ | زرکونیا | سلیکن کاربائیڈ | سلکانNitride | ایلومینیمNitride |
| رنگ | سفید | ہلکا پیلا ۔ | سفید | سیاہ | سیاہ | سرمئی |
| کثافت (g/cm3) | 3.7 گرام/سینٹی میٹر | 3.9g/cm3 | 6.02 گرام/سینٹی میٹر | 3.2 گرام/سینٹی میٹر | 3.25 گرام/سینٹی میٹر | 3.2 گرام/سینٹی میٹر |
| پانی جذب | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| سختی (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| لچکدار طاقت (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| دبانے والی طاقت (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| ینگز ماڈیولس آف لچک | 300 جی پی اے | 300 جی پی اے | 320 جی پی اے | 450GPa | 290 جی پی اے | 310~350GPa |
| پوسن کا تناسب | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| تھرمل چالکتا | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| ڈائی الیکٹرک طاقت | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| حجم کی مزاحمت (25℃) | >1014Ω· سینٹی میٹر | >1014Ω· سینٹی میٹر | >1014Ω· سینٹی میٹر | >105Ω· سینٹی میٹر | >1014Ω· سینٹی میٹر | >1014Ω· سینٹی میٹر |
VET Energy ایک پیشہ ور مینوفیکچرر ہے جو R&D اور اعلی درجے کے جدید مواد جیسے گریفائٹ، سلکان کاربائیڈ، کوارٹز کی تیاری کے ساتھ ساتھ SiC کوٹنگ، TaC کوٹنگ، گلاسی کاربن کوٹنگ، پائرولائٹک کاربن کوٹنگ وغیرہ پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔
ہماری تکنیکی ٹیم اعلیٰ ملکی تحقیقی اداروں سے آتی ہے، آپ کے لیے مزید پیشہ ورانہ مادی حل فراہم کر سکتی ہے۔
VET توانائی کے فوائد میں شامل ہیں:
• اپنی فیکٹری اور پیشہ ور لیبارٹری؛
• صنعت کی معروف طہارت کی سطح اور معیار؛
• مسابقتی قیمت اور تیز ترسیل کا وقت؛
• دنیا بھر میں متعدد صنعتی شراکتیں؛
ہم آپ کو کسی بھی وقت ہماری فیکٹری اور لیبارٹری کا دورہ کرنے کا خیرمقدم کرتے ہیں!
