የሴራሚክ ዋፈር ማሞቂያ አልኤን አልሙና ማሞቂያ ኤለመንት

የሴራሚክ ዋፈር ማሞቂያ አልኤን አልሙና ማሞቂያ ኤለመንት
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ቫፈርን በተለያዩ ሂደቶች ውስጥ ማካሄድ ያስፈልጋል ፣ ለምሳሌ ፣ ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ ፣ ኢቲንግ ፣ ወዘተ.

የሴራሚክ ማሞቂያበቀጥታ በሂደቱ ክፍል ላይ ይተገበራል እና ከዋፋው ጋር በቀጥታ ይገናኛል። እነሱ ቫፈርን ብቻ ሳይሆን ቫውቸር የተረጋጋ እና ወጥ የሆነ የሂደት ሙቀት ማግኘቱን ያረጋግጣሉ. በሴሚኮንዳክተር ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ መሳሪያዎች ውስጥ ቁልፍ አካላት ናቸው!

የሴራሚክ ማሞቂያው ዋፈርን የሚደግፍ የሴራሚክ መሰረትን እና በጀርባው በኩል የሚደግፈውን የሲሊንደሪክ ድጋፍ አካል ያካትታል. ለማሞቂያ ከመከላከያ ኤለመንት (ማሞቂያ ንብርብር) በተጨማሪ የሬድዮ ፍሪኩዌንሲ ኤሌክትሮዶች (RF Layer) በሴራሚክ ግርጌ ውስጥም ሆነ በውስጥም ይገኛሉ. ፈጣን ማሞቂያ እና ማቀዝቀዝ ለማግኘት, የሴራሚክ መሠረት ውፍረት ቀጭን መሆን አለበት, ነገር ግን በጣም ቀጭን ደግሞ ጥብቅነት ይቀንሳል.

የሴራሚክ ማሞቂያው ድጋፍ በአጠቃላይ የሴራሚክ ማቴሪያል ከመሠረቱ ጋር ተመሳሳይ የሆነ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ያለው ነው. ማሞቂያው ተርሚናሎችን እና ሽቦዎችን ከፕላዝማ እና ከቆሻሻ ኬሚካላዊ ጋዞች ውጤቶች ለመጠበቅ የአንድ ዘንግ መገጣጠሚያ የታችኛው ልዩ መዋቅር ይቀበላል። ድጋፉ የሙቀት ማሞቂያውን አንድ አይነት የሙቀት መጠን ለማረጋገጥ የሙቀት ማስተላለፊያ ጋዝ መግቢያ እና መውጫ ቱቦ የተገጠመለት ነው. መሰረቱን እና ድጋፉን በኬሚካላዊ ሁኔታ ከተጣበቀ ንብርብር ጋር ተጣብቀዋል.

የሴራሚክ ማሞቂያው እንደ አልሙኒየም ናይትራይድ (አልኤን), ሲሊኮን ናይትራይድ (Si3N4), እና alumina (Al2O3) ካሉ ሴራሚክስ ሊሠራ ይችላል. ከነሱ መካከል, አልኤን ለሴራሚክ ማሞቂያዎች ምርጥ ምርጫ ነው. ከሌሎች ቁሳቁሶች ጋር ሲነጻጸር፣ የVET Energy's AlN ሴራሚክ የሚከተሉት ባህሪያት አሉት።
(1) ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ;
(2) ከሴሚኮንዳክተር የሲሊኮን ቁሳቁሶች ጋር የተጣጣመ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት;
(3) ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት, እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መከላከያ እና አጠቃላይ የሜካኒካል ባህሪያት ከቤሪሊየም ኦክሳይድ እና ከአሉሚኒየም ኦክሳይድ ጋር እኩል ናቸው.
(4) እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ አጠቃላይ የኤሌክትሪክ ባህሪያት, በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ እና ዝቅተኛ የዲኤሌክትሪክ ኪሳራ;
(5) መርዛማ ያልሆኑ እና ለአካባቢ ተስማሚ።