የሴራሚክ ዋፈር ማሞቂያ AlN Alumina የማሞቂያ ኤለመንት

የሴራሚክ ዋፈር ማሞቂያ AlN Alumina የማሞቂያ ኤለመንት
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ፣ ዋፈሮች እንደ ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ፣ ቅርፊት፣ ወዘተ ባሉ የተለያዩ ሂደቶች ውስጥ መካሄድ አለባቸው። በእነዚህ አገናኞች ውስጥ፣ ዋፈሮቹ በተወሰነ የሙቀት መጠን መሞቅ አለባቸው፣ እና የሙቀት መጠኑ ጥብቅ መስፈርቶች አሉ፣ ምክንያቱም የሙቀት መጠኑ ወጥነት በምርት ምርት ላይ በጣም አስፈላጊ ተጽዕኖ ስለሚያሳድር እና የማሞቂያ ክፍሎችም አስፈላጊ ናቸው።

የሴራሚክ ማሞቂያበቀጥታ ወደ ሂደቱ ክፍል የሚተገበር ሲሆን ከዋፈር ጋር በቀጥታ የሚገናኙ ናቸው። ዋፈርን የሚይዙት ብቻ ሳይሆን ዋፈር የተረጋጋ እና ወጥ የሆነ የሂደት ሙቀት ማግኘቱን ያረጋግጣሉ። እነዚህ በሴሚኮንዳክተር ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ መሳሪያዎች ውስጥ ቁልፍ አካላት ናቸው!

የሴራሚክ ማሞቂያው ዋፈርን የሚደግፍ የሴራሚክ መሰረት እና በጀርባው በኩል የሚደግፈው ሲሊንደራዊ የድጋፍ አካል ያካትታል። ለማሞቂያ ከሚሆነው የመቋቋም አካል (የማሞቂያ ንብርብር) በተጨማሪ፣ በሴራሚክ መሰረት ውስጥ ወይም ወለል ላይ የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ ኤሌክትሮዶች (RF ንብርብር) አሉ። ፈጣን ማሞቂያ እና ማቀዝቀዝ ለማግኘት የሴራሚክ መሰረት ውፍረት ቀጭን መሆን አለበት፣ ነገር ግን በጣም ቀጭን ደግሞ ጥንካሬውን ይቀንሳል።

የሴራሚክ ማሞቂያው ድጋፍ በአጠቃላይ ከመሠረቱ ጋር ተመሳሳይ የሆነ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት ካለው የሴራሚክ ቁሳቁስ የተሰራ ነው። ማሞቂያው ተርሚናሎችን እና ሽቦዎችን ከፕላዝማ እና ከዝገት ኬሚካል ጋዞች ተጽእኖ ለመጠበቅ የዘንጉ መገጣጠሚያ ታችኛው ክፍል ልዩ መዋቅርን ይጠቀማል። ድጋፉ የማሞቂያውን ወጥ የሆነ የሙቀት መጠን ለማረጋገጥ የሙቀት ማስተላለፊያ ጋዝ መግቢያ እና መውጫ ቱቦ የተገጠመለት ነው። መሠረቱ እና ድጋፉ በኬሚካላዊ መንገድ ከማያያዝ ንብርብር ጋር የተሳሰሩ ናቸው።

የሴራሚክ ማሞቂያው እንደ አሉሚኒየም ናይትሬድ (AlN)፣ ሲሊኮን ናይትሬድ (Si3N4) እና አሉሚና (Al2O3) ካሉ ሴራሚክስ ሊሠራ ይችላል። ከእነዚህም መካከል አልኤን ለሴራሚክ ማሞቂያዎች በጣም ጥሩ ምርጫ ነው። ከሌሎች ቁሳቁሶች ጋር ሲነጻጸር የVET ኢነርጂ አልኤን ሴራሚክ የሚከተሉት ባህሪያት አሉት፡
(1) ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ፤
(2) የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት ከሴሚኮንዳክተር ሲሊከን ቁሶች ጋር የተጣጣመ፤
(3) ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም እና አጠቃላይ የሜካኒካል ባህሪያት ከቤሪሊየም ኦክሳይድ የተሻሉ እና ከአሉሚኒየም ኦክሳይድ ጋር እኩል ናቸው፤
(4) እጅግ በጣም ጥሩ ሁሉን አቀፍ የኤሌክትሪክ ባህሪያት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ እና ዝቅተኛ የዳይኤሌክትሪክ ኪሳራ፤
(5) መርዛማ ያልሆነ እና ለአካባቢ ተስማሚ።