ਸਿਰੇਮਿਕ ਵੇਫਰ ਹੀਟਰ AlN ਐਲੂਮਿਨਾ ਹੀਟਿੰਗ ਐਲੀਮੈਂਟ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ, ਐਚਿੰਗ, ਆਦਿ। ਇਹਨਾਂ ਲਿੰਕਾਂ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਖਾਸ ਤਾਪਮਾਨ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਲਈ ਸਖ਼ਤ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਕਿਉਂਕਿ ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦਾ ਉਤਪਾਦ ਉਪਜ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗਰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
ਸਿਰੇਮਿਕ ਹੀਟਰਇਹ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਸਿੱਧੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਚੁੱਕਦੇ ਹਨ, ਸਗੋਂ ਇਹ ਵੀ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ ਕਿ ਵੇਫਰ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰੇ। ਇਹ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸੇ ਹਨ!
ਸਿਰੇਮਿਕ ਹੀਟਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਿਰੇਮਿਕ ਬੇਸ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਸਹਾਰਾ ਦਿੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਇੱਕ ਸਿਲੰਡਰ ਸਪੋਰਟ ਬਾਡੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਇਸਨੂੰ ਸਹਾਰਾ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। ਹੀਟਿੰਗ ਲਈ ਰੋਧਕ ਤੱਤ (ਹੀਟਿੰਗ ਲੇਅਰ) ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਿਰੇਮਿਕ ਬੇਸ ਦੇ ਅੰਦਰ ਜਾਂ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ (RF ਲੇਅਰ) ਵੀ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਤੇਜ਼ ਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਕੂਲਿੰਗ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ, ਸਿਰੇਮਿਕ ਬੇਸ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਪਤਲੀ ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ, ਪਰ ਬਹੁਤ ਪਤਲੀ ਹੋਣ ਨਾਲ ਕਠੋਰਤਾ ਵੀ ਘੱਟ ਜਾਵੇਗੀ।
ਸਿਰੇਮਿਕ ਹੀਟਰ ਦਾ ਸਹਾਰਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਬੇਸ ਦੇ ਸਮਾਨ ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ ਗੁਣਾਂਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਹੀਟਰ ਟਰਮੀਨਲਾਂ ਅਤੇ ਤਾਰਾਂ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਤੇ ਖੋਰ ਰਸਾਇਣਕ ਗੈਸਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਤੋਂ ਬਚਾਉਣ ਲਈ ਸ਼ਾਫਟ ਜੋੜ ਤਲ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਲੱਖਣ ਬਣਤਰ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਹੀਟਰ ਦੇ ਇੱਕਸਾਰ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਹਾਰਾ ਇੱਕ ਹੀਟ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਗੈਸ ਇਨਲੇਟ ਅਤੇ ਆਊਟਲੈੱਟ ਪਾਈਪ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੈ। ਬੇਸ ਅਤੇ ਸਹਾਰਾ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਬੰਧਨ ਪਰਤ ਨਾਲ ਜੁੜੇ ਹੋਏ ਹਨ।
ਸਿਰੇਮਿਕ ਹੀਟਰ ਨੂੰ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ (AlN), ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ (Si3N4), ਅਤੇ ਐਲੂਮਿਨਾ (Al2O3) ਵਰਗੇ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਤੋਂ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, AlN ਸਿਰੇਮਿਕ ਹੀਟਰਾਂ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਵਿਕਲਪ ਹੈ। ਹੋਰ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, VET ਐਨਰਜੀ ਦੇ AlN ਸਿਰੇਮਿਕ ਵਿੱਚ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ:
(1) ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ;
(2) ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਮੱਗਰੀ ਨਾਲ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ;
(3) ਵਧੀਆ ਮਕੈਨੀਕਲ ਗੁਣ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ ਵਿਆਪਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਗੁਣ ਬੇਰੀਲੀਅਮ ਆਕਸਾਈਡ ਨਾਲੋਂ ਬਿਹਤਰ ਅਤੇ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਆਕਸਾਈਡ ਦੇ ਬਰਾਬਰ ਹਨ;
(4) ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਵਿਆਪਕ ਬਿਜਲੀ ਗੁਣ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਬਿਜਲੀ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਘੱਟ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਨੁਕਸਾਨ;
(5) ਗੈਰ-ਜ਼ਹਿਰੀਲਾ ਅਤੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਅਨੁਕੂਲ।
ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੀ ਡੇਟਾ ਸ਼ੀਟ
| ਆਈਟਮ | 95% ਐਲੂਮਿਨਾ | 99% ਐਲੂਮਿਨਾ | ਜ਼ਿਰਕੋਨੀਆ | ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ | ਸਿਲੀਕਾਨNਇਟ੍ਰਾਈਡ | ਅਲਮੀਨੀਅਮNਇਟ੍ਰਾਈਡ |
| ਰੰਗ | ਚਿੱਟਾ | ਹਲਕਾ ਪੀਲਾ | ਚਿੱਟਾ | ਕਾਲਾ | ਕਾਲਾ | ਸਲੇਟੀ |
| ਘਣਤਾ (g/cm3) | 3.7 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 | 3.9 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 | 6.02 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 | 3.2 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 | 3.25 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 | 3.2 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 |
| ਪਾਣੀ ਸੋਖਣਾ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ਕਠੋਰਤਾ (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (MPa) | 300 ਐਮਪੀਏ | 400 ਐਮਪੀਏ | 1100 ਐਮਪੀਏ | 450 ਐਮਪੀਏ | 800 ਐਮਪੀਏ | 310 ਐਮਪੀਏ |
| ਸੰਕੁਚਿਤ ਤਾਕਤ (MPa) | 2500 ਐਮਪੀਏ | 2800 ਐਮਪੀਏ | 3600 ਐਮਪੀਏ | 2000 ਐਮਪੀਏ | 2600 ਐਮਪੀਏ | - |
| ਯੰਗ ਦਾ ਲਚਕਤਾ ਦਾ ਮਾਡੂਲਸ | 300 ਜੀਪੀਏ | 300 ਜੀਪੀਏ | 320 ਜੀਪੀਏ | 450 ਜੀਪੀਏ | 290 ਜੀਪੀਏ | 310~350ਜੀਪੀਏ |
| ਪੋਇਸਨ ਦਾ ਅਨੁਪਾਤ | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ | 20 ਵਾਟ/ਮੀਟਰ ਸੈਂ. | 32W/ਮੀਟਰ ਸੈਂ. | 3W/ਮੀਟਰ ਸੈਂ. | 50W/ਮੀਟਰ ਸੈਂ. | 25W/ਮੀਟਰ ਸੈਂ. | 150W/ਮੀਟਰ ਸੈਂ. |
| ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ | 14KV/ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 14KV/ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 14KV/ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 14KV/ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 14KV/ਮਿਲੀਮੀਟਰ | 14KV/ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
| ਵਾਲੀਅਮ ਰੋਧਕਤਾ (25℃) | >1014Ω·ਸੈ.ਮੀ. | >1014Ω·ਸੈ.ਮੀ. | >1014Ω·ਸੈ.ਮੀ. | >105Ω·ਸੈ.ਮੀ. | >1014Ω·ਸੈ.ਮੀ. | >1014Ω·ਸੈ.ਮੀ. |
VET ਐਨਰਜੀ ਇੱਕ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਨਿਰਮਾਤਾ ਹੈ ਜੋ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ, ਕੁਆਰਟਜ਼ ਵਰਗੀਆਂ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਦੀਆਂ ਉੱਨਤ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਨਾਲ ਹੀ SiC ਕੋਟਿੰਗ, TaC ਕੋਟਿੰਗ, ਗਲਾਸਸੀ ਕਾਰਬਨ ਕੋਟਿੰਗ, ਪਾਈਰੋਲਾਈਟਿਕ ਕਾਰਬਨ ਕੋਟਿੰਗ, ਆਦਿ ਵਰਗੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਇਲਾਜ 'ਤੇ ਵੀ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉਤਪਾਦਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ, ਨਵੀਂ ਊਰਜਾ, ਧਾਤੂ ਵਿਗਿਆਨ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਸਾਡੀ ਤਕਨੀਕੀ ਟੀਮ ਚੋਟੀ ਦੇ ਘਰੇਲੂ ਖੋਜ ਸੰਸਥਾਵਾਂ ਤੋਂ ਆਉਂਦੀ ਹੈ, ਤੁਹਾਡੇ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
VET ਊਰਜਾ ਦੇ ਫਾਇਦਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
• ਆਪਣੀ ਫੈਕਟਰੀ ਅਤੇ ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ;
• ਉਦਯੋਗ-ਮੋਹਰੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪੱਧਰ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ;
• ਮੁਕਾਬਲੇ ਵਾਲੀ ਕੀਮਤ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ ਡਿਲੀਵਰੀ ਸਮਾਂ;
• ਦੁਨੀਆ ਭਰ ਵਿੱਚ ਕਈ ਉਦਯੋਗਿਕ ਭਾਈਵਾਲੀ;
ਅਸੀਂ ਤੁਹਾਨੂੰ ਕਿਸੇ ਵੀ ਸਮੇਂ ਸਾਡੀ ਫੈਕਟਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਯੋਗਸ਼ਾਲਾ ਦੇਖਣ ਲਈ ਸਵਾਗਤ ਕਰਦੇ ਹਾਂ!
