Ceramic Wafer Rhaub AlN Alumina Cua Sov Element

Ceramic Wafer Rhaub AlN Alumina Cua Sov Element
Hauv kev tsim khoom semiconductor, wafers yuav tsum tau ua tiav hauv ntau yam txheej txheem, xws li kev tso cov zaj duab xis nyias, etching, thiab lwm yam. Hauv cov kev sib txuas no, cov wafers yuav tsum tau cua sov rau qee qhov kub, thiab muaj cov kev cai nruj rau qhov kub, vim tias qhov sib xws ntawm qhov kub muaj qhov cuam tshuam tseem ceeb heev rau cov khoom tsim tawm, thiab cov khoom cua sov yog qhov tseem ceeb.

Lub tshuab cua sov ua los ntawm av nplaumraug siv ncaj qha rau hauv chav ua haujlwm thiab sib cuag ncaj qha nrog lub wafer. Lawv tsis tsuas yog nqa lub wafer xwb, tab sis kuj xyuas kom meej tias lub wafer tau txais qhov kub thiab txias ruaj khov thiab sib xws. Lawv yog cov khoom tseem ceeb hauv cov khoom siv semiconductor nyias zaj duab xis deposition!

Lub tshuab cua sov ceramic muaj lub hauv paus ceramic uas txhawb nqa lub wafer thiab lub cev txhawb nqa cylindrical nyob rau sab nraub qaum uas txhawb nqa nws. Ntxiv rau qhov khoom tiv thaiv (txheej cua sov) rau kev cua sov, kuj tseem muaj cov hluav taws xob xov tooj cua zaus (RF txheej) sab hauv lossis ntawm qhov chaw ntawm lub hauv paus ceramic. Yuav kom ua tiav kev cua sov thiab txias sai, qhov tuab ntawm lub hauv paus ceramic yuav tsum nyias, tab sis nyias dhau kuj yuav txo qhov rigidity.

Feem ntau, lub tshuab cua sov ceramic yog ua los ntawm cov khoom siv ceramic nrog lub coefficient thermal expansion zoo ib yam li lub hauv paus. Lub tshuab cua sov siv cov qauv tshwj xeeb ntawm lub hauv qab sib koom ua ke los tiv thaiv cov terminals thiab cov xov hlau los ntawm cov teebmeem ntawm plasma thiab cov pa roj corrosive. Lub tshuab cua sov muaj cov yeeb nkab nkag thiab tawm cua sov kom ntseeg tau tias qhov kub ntawm lub tshuab cua sov sib npaug. Lub hauv paus thiab lub tshuab cua sov yog sib txuas nrog cov txheej txheem sib txuas.

Lub tshuab cua sov ceramic tuaj yeem ua los ntawm cov khoom siv ceramic xws li txhuas nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), thiab alumina (Al2O3). Ntawm lawv, AlN yog qhov kev xaiv zoo tshaj plaws rau cov tshuab cua sov ceramic. Piv nrog rau lwm cov ntaub ntawv, VET Energy's AlN ceramic muaj cov yam ntxwv hauv qab no:
(1) Kev ua tau zoo ntawm cov cua sov;
(2) Cov coefficient thermal expansion phim rau cov ntaub ntawv semiconductor silicon;
(3) Cov khoom siv kho tshuab zoo, kev tiv thaiv kev hnav zoo heev, thiab cov khoom siv kho tshuab zoo dua li beryllium oxide thiab sib npaug rau txhuas oxide;
(4) Cov khoom siv hluav taws xob zoo heev, kev rwb thaiv hluav taws xob zoo heev thiab kev poob dielectric tsawg;
(5) Tsis muaj tshuaj lom thiab ib puag ncig zoo.