ធាតុកំដៅអាលុយមីញ៉ូម AlN សម្រាប់ម៉ាស៊ីនកម្តៅសេរ៉ាមិច

ធាតុកំដៅអាលុយមីញ៉ូម AlN សម្រាប់ម៉ាស៊ីនកម្តៅសេរ៉ាមិច
នៅក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ បន្ទះវ៉ាហ្វឺរត្រូវការកែច្នៃក្នុងដំណើរការផ្សេងៗ ដូចជាការដាក់ស្រទាប់ស្តើង ការឆ្លាក់ជាដើម។ នៅក្នុងតំណភ្ជាប់ទាំងនេះ បន្ទះវ៉ាហ្វឺរត្រូវការកំដៅដល់សីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ ហើយមានតម្រូវការតឹងរ៉ឹងសម្រាប់សីតុណ្ហភាព ពីព្រោះឯកសណ្ឋាននៃសីតុណ្ហភាពមានឥទ្ធិពលសំខាន់ខ្លាំងណាស់ទៅលើទិន្នផលផលិតផល ហើយសមាសធាតុកំដៅគឺមិនអាចខ្វះបាន។

ម៉ាស៊ីនកម្តៅសេរ៉ាមិចត្រូវបានអនុវត្តដោយផ្ទាល់ទៅបន្ទប់ដំណើរការ ហើយមានទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់ជាមួយបន្ទះ wafer។ ពួកវាមិនត្រឹមតែផ្ទុកបន្ទះ wafer ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏ធានាថាបន្ទះ wafer ទទួលបានសីតុណ្ហភាពដំណើរការដែលមានស្ថេរភាព និងឯកសណ្ឋានផងដែរ។ ពួកវាជាសមាសធាតុសំខាន់ៗនៅក្នុងឧបករណ៍ដាក់ស្រទាប់ស្តើង semiconductor!

ឧបករណ៍កម្តៅសេរ៉ាមិចរួមមានមូលដ្ឋានសេរ៉ាមិចដែលទ្រទ្រង់បន្ទះ wafer និងតួទ្រទ្រង់រាងស៊ីឡាំងនៅផ្នែកខាងក្រោយដែលទ្រទ្រង់វា។ បន្ថែមពីលើធាតុធន់ទ្រាំ (ស្រទាប់កំដៅ) សម្រាប់កំដៅ ក៏មានអេឡិចត្រូតប្រេកង់វិទ្យុ (ស្រទាប់ RF) នៅខាងក្នុង ឬនៅលើផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានសេរ៉ាមិចផងដែរ។ ដើម្បីសម្រេចបាននូវកំដៅ និងត្រជាក់យ៉ាងឆាប់រហ័ស កម្រាស់នៃមូលដ្ឋានសេរ៉ាមិចគួរតែស្តើង ប៉ុន្តែស្តើងពេកក៏នឹងកាត់បន្ថយភាពរឹងផងដែរ។

ជើងទ្រ​របស់​ឧបករណ៍​កម្តៅ​សេរ៉ាមិច​ជាទូទៅ​ត្រូវ​បាន​ផលិត​ពី​សម្ភារៈ​សេរ៉ាមិច​ដែល​មាន​មេគុណ​ពង្រីក​កម្ដៅ​ស្រដៀង​គ្នា​នឹង​បាត។ ឧបករណ៍​កម្តៅ​នេះ​ប្រើប្រាស់​រចនាសម្ព័ន្ធ​ពិសេស​នៃ​បាត​សន្លាក់​អ័ក្ស​ដើម្បី​ការពារ​ចុង​និង​ខ្សែ​ពី​ផលប៉ះពាល់​នៃ​ប្លាស្មា​និង​ឧស្ម័ន​គីមី​กัดกร่อน។ ជើងទ្រ​នេះ​ត្រូវ​បាន​បំពាក់​ដោយ​បំពង់​ចូល​និង​បំពង់​ចេញ​ឧស្ម័ន​ផ្ទេរ​កម្ដៅ​ដើម្បី​ធានា​បាន​នូវ​សីតុណ្ហភាព​ឯកសណ្ឋាន​របស់​ឧបករណ៍​កម្តៅ។ បាត​និង​ជើងទ្រ​ត្រូវ​បាន​ភ្ជាប់​ដោយ​គីមី​ជាមួយ​ស្រទាប់​ភ្ជាប់។

ឧបករណ៍កម្តៅសេរ៉ាមិចអាចផលិតពីសេរ៉ាមិចដូចជាអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត (AlN) ស៊ីលីកុននីទ្រីត (Si3N4) និងអាលុយមីញ៉ូម (Al2O3)។ ក្នុងចំណោមនោះ AlN គឺជាជម្រើសដ៏ល្អបំផុតសម្រាប់ឧបករណ៍កម្តៅសេរ៉ាមិច។ បើប្រៀបធៀបជាមួយវត្ថុធាតុដើមផ្សេងទៀត សេរ៉ាមិច AlN របស់ VET Energy មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោម៖
(1) ចរន្តកំដៅល្អ;
(2) មេគុណពង្រីកកម្ដៅដែលត្រូវគ្នាទៅនឹងសម្ភារៈស៊ីលីកុនស៊ីមីកុងដុកទ័រ;
(3) លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អ ធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដ៏ទូលំទូលាយ គឺល្អជាងអុកស៊ីដប៊ីរីលីញ៉ូម និងស្មើនឹងអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម។
(4) លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការខាតបង់ឌីអេឡិចត្រិចទាប;
(5) មិនពុល និងមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន។