ឧបករណ៍កម្តៅទឹកសេរ៉ាមិច AlN Alumina Heating Element
នៅក្នុងការផលិត semiconductor, wafers ត្រូវតែត្រូវបានដំណើរការនៅក្នុងដំណើរការជាច្រើនដូចជាការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង, etching ល. នៅក្នុងតំណភ្ជាប់ទាំងនេះ wafers ត្រូវតែត្រូវបាន heated ទៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ, ហើយមានតម្រូវការតឹងរឹងសម្រាប់សីតុណ្ហភាព, ដោយសារតែឯកសណ្ឋាននៃសីតុណ្ហភាពមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើទិន្នផលផលិតផល, និងសមាសភាគកំដៅគឺមិនអាចខ្វះបាន។
ម៉ាស៊ីនកំដៅសេរ៉ាមិចត្រូវបានអនុវត្តដោយផ្ទាល់ទៅអង្គជំនុំជម្រះដំណើរការហើយមានទំនាក់ទំនងផ្ទាល់ជាមួយ wafer ។ ពួកគេមិនត្រឹមតែអនុវត្ត wafer ប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងធានាថា wafer ទទួលបានសីតុណ្ហភាពដំណើរការមានស្ថេរភាពនិងឯកសណ្ឋាន។ ពួកវាជាសមាសធាតុសំខាន់នៅក្នុងឧបករណ៍បំប្លែងខ្សែភាពយន្តស្តើង semiconductor!
ឧបករណ៍កំដៅសេរ៉ាមិចរួមបញ្ចូលមូលដ្ឋានសេរ៉ាមិចដែលគាំទ្រ wafer និងរាងកាយគាំទ្ររាងស៊ីឡាំងនៅផ្នែកខាងក្រោយដែលគាំទ្រវា។ បន្ថែមពីលើធាតុធន់ទ្រាំ (ស្រទាប់កំដៅ) សម្រាប់កំដៅក៏មានអេឡិចត្រូតប្រេកង់វិទ្យុ (ស្រទាប់ RF) នៅខាងក្នុងឬលើផ្ទៃនៃមូលដ្ឋានសេរ៉ាមិច។ ដើម្បីសម្រេចបាននូវកំដៅ និងត្រជាក់យ៉ាងឆាប់រហ័ស កម្រាស់នៃមូលដ្ឋានសេរ៉ាមិចគួរតែស្តើង ប៉ុន្តែស្តើងពេកក៏នឹងកាត់បន្ថយភាពរឹងផងដែរ។
ការគាំទ្រនៃឧបករណ៍កំដៅសេរ៉ាមិចជាទូទៅត្រូវបានផលិតពីសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលមានមេគុណពង្រីកកំដៅស្រដៀងនឹងមូលដ្ឋាន។ ឧបករណ៍កម្តៅទទួលយករចនាសម្ព័ន្ធតែមួយគត់នៃផ្នែកខាងក្រោមនៃសន្លាក់ឆ្អឹង ដើម្បីការពារស្ថានីយ និងខ្សែភ្លើងពីផលប៉ះពាល់នៃប្លាស្មា និងឧស្ម័នគីមីដែលច្រេះ។ ការគាំទ្រត្រូវបានបំពាក់ដោយបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នផ្ទេរកំដៅដើម្បីធានាសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋាននៃឧបករណ៍កំដៅ។ មូលដ្ឋាននិងការគាំទ្រត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់គីមីជាមួយនឹងស្រទាប់ភ្ជាប់។
ម៉ាស៊ីនកំដៅសេរ៉ាមិចអាចត្រូវបានផលិតពីសេរ៉ាមិចដូចជាអាលុយមីញ៉ូមនីត្រាត (AlN) ស៊ីលីកុននីត្រាត (Si3N4) និងអាលុយមីញ៉ូម (Al2O3) ។ ក្នុងចំណោមពួកគេ AlN គឺជាជម្រើសដ៏ល្អបំផុតសម្រាប់កំដៅសេរ៉ាមិច។ បើប្រៀបធៀបជាមួយសម្ភារៈផ្សេងទៀត សេរ៉ាមិច AlN របស់ VET Energy មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោមៈ
(1) ចរន្តកំដៅល្អ;
(2) មេគុណពង្រីកកំដៅដែលត្រូវគ្នាទៅនឹងវត្ថុធាតុដើមស៊ីលីកុន semiconductor;
(3) លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិកល្អ ភាពធន់នឹងការពាក់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិកដ៏ទូលំទូលាយគឺល្អជាងអុកស៊ីដបេរីលីយ៉ូម និងស្មើនឹងអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម។
(4) លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីដ៏ទូលំទូលាយ អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងការបាត់បង់ dielectric ទាប។
(5) គ្មានជាតិពុល និងបរិស្ថាន។
សន្លឹកទិន្នន័យនៃសម្ភារៈសេរ៉ាមិច
| ធាតុ | 95% អាលុយមីញ៉ូម | 99% អាលុយមីញ៉ូ | Zirconia | ស៊ីលីកុនកាបូន | ស៊ីលីកុនNitride | អាលុយមីញ៉ូមNitride |
| ពណ៌ | ស | លឿងស្រាល | ស | ខ្មៅ | ខ្មៅ | ប្រផេះ |
| ដង់ស៊ីតេ (g/cm3) | 3.7 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 | 3.9 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 | 6.02 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 | 3.2 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 | 3.25 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 | 3.2 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3 |
| ការស្រូបយកទឹក។ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ភាពរឹង (HV) | ២៣.៧ | ២៣.៧ | ១៦.៥ | 33 | 20 | - |
| កម្លាំងបត់បែន (MPa) | 300 MPa | 400MPa | 1100MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| កម្លាំងបង្ហាប់ (MPa) | 2500MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000MPa | 2600 MPa | - |
| ម៉ូឌុលនៃការបត់បែនរបស់ Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310-350GPa |
| សមាមាត្រ Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | ០.១៤ | ០.២៤ | ០.២៤ |
| ចរន្តកំដៅ | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W / m ° C | 25W/m°C | 150W / m ° C |
| កម្លាំង Dielectric | 14 គីឡូវ៉ុល / ម។ | 14 គីឡូវ៉ុល / ម។ | 14 គីឡូវ៉ុល / ម។ | 14 គីឡូវ៉ុល / ម។ | 14 គីឡូវ៉ុល / ម។ | 14 គីឡូវ៉ុល / ម។ |
| ភាពធន់នឹងកម្រិតសំឡេង (25 ℃) | > 1014Ω·សង់ទីម៉ែត្រ | > 1014Ω·សង់ទីម៉ែត្រ | > 1014Ω·សង់ទីម៉ែត្រ | > 105Ω·សង់ទីម៉ែត្រ | > 1014Ω·សង់ទីម៉ែត្រ | > 1014Ω·សង់ទីម៉ែត្រ |
VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈផ្តោតលើ R&D និងការផលិតវត្ថុធាតុដើមកម្រិតខ្ពស់ដូចជា graphite, silicon carbide, quartz ក៏ដូចជាការព្យាបាលសម្ភារៈដូចជា SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, etc. ផលិតផលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុង photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy ។ល។
ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូល អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។
អត្ថប្រយោជន៍ VET Energy រួមមានៈ
• មានរោងចក្រផ្ទាល់ខ្លួន និងមន្ទីរពិសោធន៍វិជ្ជាជីវៈ។
• កម្រិតភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម។
•តម្លៃប្រកួតប្រជែង & ពេលវេលាដឹកជញ្ជូនលឿន;
• ភាពជាដៃគូឧស្សាហកម្មជាច្រើននៅទូទាំងពិភពលោក។
យើងស្វាគមន៍អ្នកមកទស្សនារោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍របស់យើងគ្រប់ពេល!
