Kifaa cha Kupasha Joto cha Kauri cha AlN Alumina

Kifaa cha Kupasha Joto cha Kauri cha AlN Alumina
Katika utengenezaji wa nusu-semiconductor, wafer zinahitaji kusindika katika michakato mbalimbali, kama vile uwekaji wa filamu nyembamba, uchongaji, n.k. Katika viungo hivi, wafer zinahitaji kupashwa joto hadi halijoto fulani, na kuna mahitaji makali ya halijoto, kwa sababu usawa wa halijoto una athari muhimu sana kwenye mavuno ya bidhaa, na vipengele vya kupasha joto ni muhimu sana.

Hita ya kauriInatumika moja kwa moja kwenye chumba cha mchakato na inagusana moja kwa moja na wafer. Sio tu kwamba hubeba wafer, lakini pia huhakikisha kwamba wafer hupata halijoto thabiti na sawa ya mchakato. Ni vipengele muhimu katika vifaa vya semiconductor nyembamba vya kuweka filamu!

Hita ya kauri inajumuisha msingi wa kauri unaounga mkono wafer na mwili wa usaidizi wa silinda upande wa nyuma unaounga mkono. Mbali na kipengele cha upinzani (safu ya kupasha joto) kwa ajili ya kupasha joto, pia kuna elektrodi za masafa ya redio (safu ya RF) ndani au juu ya uso wa msingi wa kauri. Ili kufikia kupasha joto na kupoeza haraka, unene wa msingi wa kauri unapaswa kuwa mwembamba, lakini mwembamba sana pia utapunguza ugumu.

Kifaa cha kuhimili joto cha kauri kwa ujumla hutengenezwa kwa nyenzo za kauri zenye mgawo wa upanuzi wa joto sawa na ule wa msingi. Kifaa cha kuhimili joto hutumia muundo wa kipekee wa sehemu ya chini ya shimoni ili kulinda vituo na waya kutokana na athari za plasma na gesi za kemikali zinazosababisha babuzi. Kifaa cha kuhimili joto kina bomba la kuingilia gesi ya kuhamisha joto na njia ya kutolea nje ili kuhakikisha halijoto sawa ya kifamilia. Msingi na kifaa cha kuhimili joto vimeunganishwa kwa kemikali na safu ya kuunganisha.

Hita ya kauri inaweza kutengenezwa kwa kauri kama vile nitridi ya alumini (AlN), nitridi ya silikoni (Si3N4), na alumina (Al2O3). Miongoni mwao, AlN ndiyo chaguo bora kwa hita za kauri. Ikilinganishwa na vifaa vingine, kauri ya AlN ya VET Energy ina sifa zifuatazo:
(1) Upitishaji mzuri wa joto;
(2) Mgawo wa upanuzi wa joto uliolingana na nyenzo za silikoni za nusu-semiconductor;
(3) Sifa nzuri za kiufundi, upinzani bora wa uchakavu, na sifa kamili za kiufundi ni bora kuliko oksidi ya berili na ni sawa na oksidi ya alumini;
(4) Sifa bora za umeme, insulation bora ya umeme na upotevu mdogo wa dielectric;
(5) Haina sumu na rafiki kwa mazingira.