Kipengee cha Kupasha joto cha Kaki ya Kaki AlN Alumina
Katika utengenezaji wa semiconductor, kaki zinahitaji kusindika katika michakato mbalimbali, kama vile uwekaji wa filamu nyembamba, etching, n.k. Katika viungo hivi, kaki zinahitajika kuwashwa kwa joto fulani, na kuna mahitaji kali ya hali ya joto, kwa sababu usawa wa joto una athari muhimu sana kwa mazao ya bidhaa, na vipengele vya kupokanzwa ni vya lazima.
Hita ya kauriinatumika moja kwa moja kwenye chumba cha mchakato na inawasiliana moja kwa moja na kaki. Wao sio tu kubeba kaki, lakini pia kuhakikisha kwamba kaki hupata joto la mchakato wa utulivu na sare. Wao ni vipengele muhimu katika semiconductor nyembamba utuaji wa vifaa vya filamu!
Hita ya kauri inajumuisha msingi wa kauri ambao unaauni kaki na mwili wa usaidizi wa silinda upande wa nyuma unaoiunga mkono. Mbali na kipengele cha upinzani (safu ya joto) ya kupokanzwa, pia kuna electrodes ya mzunguko wa redio (safu ya RF) ndani au juu ya uso wa msingi wa kauri. Ili kufikia inapokanzwa haraka na baridi, unene wa msingi wa kauri unapaswa kuwa nyembamba, lakini pia nyembamba pia itapunguza rigidity.
Msaada wa hita ya kauri kwa ujumla hufanywa kwa nyenzo za kauri na mgawo wa upanuzi wa joto sawa na ule wa msingi. Hita inachukua muundo wa kipekee wa sehemu ya chini ya shimoni ili kulinda vituo na waya kutokana na athari za plasma na gesi za kemikali za babuzi. Msaada una vifaa vya uingizaji wa gesi ya uhamisho wa joto na bomba la plagi ili kuhakikisha joto la sare la heater. Msingi na msaada huunganishwa kwa kemikali na safu ya kuunganisha.
Hita ya kauri inaweza kutengenezwa kwa kauri kama vile nitridi ya alumini (AlN), nitridi ya silicon (Si3N4), na alumina (Al2O3). Miongoni mwao, AlN ni chaguo bora kwa hita za kauri. Ikilinganishwa na vifaa vingine, kauri ya AlN ya VET Energy ina sifa zifuatazo:
(1) conductivity nzuri ya mafuta;
(2) Inalingana na mgawo wa upanuzi wa mafuta kwa nyenzo za silicon za semiconductor;
(3) Tabia nzuri za mitambo, upinzani bora wa kuvaa, na sifa za kina za mitambo ni bora kuliko oksidi ya berili na sawa na oksidi ya alumini;
(4) Mali bora ya kina ya umeme, insulation bora ya umeme na hasara ya chini ya dielectric;
(5) Isiyo na sumu na rafiki wa mazingira.
Karatasi ya data ya Nyenzo za Kauri
| Kipengee | 95% alumini | 99% alumini | Zirconia | Carbide ya silicon | SilikoniNitride | AluminiNitride |
| Rangi | nyeupe | Njano nyepesi | nyeupe | nyeusi | nyeusi | kijivu |
| Uzito (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Unyonyaji wa Maji | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Ugumu (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Nguvu ya Flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Nguvu ya Kugandamiza (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus ya Vijana ya Elasticity | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPA | 290GPa | 310 ~ 350GPa |
| Uwiano wa Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Uendeshaji wa joto | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Nguvu ya Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Ustahimilivu wa Sauti(25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy ni watengenezaji wa kitaalamu wanaozingatia R&D na utengenezaji wa vifaa vya hali ya juu kama vile grafiti, silicon carbide, quartz, pamoja na matibabu ya nyenzo kama vile mipako ya SiC, mipako ya TaC, mipako ya kioo ya kaboni, mipako ya kaboni ya pyrolytic, nk. Bidhaa hizo hutumiwa sana katika photovoltaic, semiconductor, nishati mpya, metallurgy, nk.
Timu yetu ya kiufundi inatoka kwa taasisi za juu za utafiti wa ndani, inaweza kukupa masuluhisho ya nyenzo za kitaalamu zaidi.
Faida za Nishati za VET ni pamoja na:
• Kumiliki kiwanda na maabara ya kitaaluma;
• Viwango na ubora unaoongoza katika tasnia;
• Bei shindani na wakati wa utoaji wa haraka;
• Ubia wa sekta nyingi duniani kote;
Tunakukaribisha kutazama kiwanda na maabara yetu wakati wowote!
