Керамічны награвальнік для вафель AlN Награвальны элемент з аксіду алюмінію

Керамічны награвальнік для вафель AlN Награвальны элемент з аксіду алюмінію
У вытворчасці паўправаднікоў пласціны неабходна апрацоўваць рознымі спосабамі, такімі як нанясенне тонкіх плёнак, травленне і г.д. У гэтых звёнах пласціны неабходна награваць да пэўнай тэмпературы, і існуюць строгія патрабаванні да тэмпературы, таму што аднастайнасць тэмпературы вельмі ўплывае на выхад прадукту, і награвальныя кампаненты неабходныя.

Керамічны награвальнікнепасрэдна наносіцца ў працоўную камеру і знаходзіцца ў непасрэдным кантакце з пласцінай. Яны не толькі пераносяць пласціну, але і забяспечваюць стабільную і аднастайную тэмпературу працэсу. Яны з'яўляюцца ключавымі кампанентамі абсталявання для нанясення тонкіх паўправадніковых плёнак!

Керамічны награвальнік мае керамічную аснову, якая падтрымлівае пласціну, і цыліндрычны апорны корпус на заднім баку, які падтрымлівае яе. Акрамя рэзістыўнага элемента (награвальнага пласта) для нагрэву, унутры або на паверхні керамічнай асновы ёсць таксама радыёчастотныя электроды (РЧ-пласт). Для дасягнення хуткага нагрэву і астуджэння таўшчыня керамічнай асновы павінна быць тонкай, але занадта тонкая таўшчыня таксама знізіць калянасць.

Апора керамічнага награвальніка звычайна выраблена з керамічнага матэрыялу з каэфіцыентам цеплавога пашырэння, падобным да каэфіцыента цеплавога пашырэння асновы. Награвальнік мае ўнікальную канструкцыю ніжняй часткі злучэння вала для абароны клем і правадоў ад уздзеяння плазмы і агрэсіўных хімічных газаў. Апора абсталявана ўваходнай і выхадной трубой для цеплаперадачы для забеспячэння раўнамернай тэмпературы награвальніка. Аснова і апора хімічна злучаны злучальным пластом.

Керамічны награвальнік можа быць выраблены з такіх керамічных матэрыялаў, як нітрыд алюмінію (AlN), нітрыд крэмнію (Si3N4) і аксід алюмінію (Al2O3). Сярод іх AlN з'яўляецца найлепшым выбарам для керамічных награвальнікаў. У параўнанні з іншымі матэрыяламі, кераміка AlN ад VET Energy мае наступныя характарыстыкі:
(1) Добрая цеплаправоднасць;
(2) Каэфіцыент цеплавога пашырэння, які адпавядае паўправадніковым крэмніевым матэрыялам;
(3) Добрыя механічныя ўласцівасці, выдатная зносаўстойлівасць і комплексныя механічныя ўласцівасці лепшыя, чым у аксіду берылію, і эквівалентныя аксіду алюмінію;
(4) Выдатныя комплексныя электрычныя ўласцівасці, выдатная электрычная ізаляцыя і нізкія дыэлектрычныя страты;
(5) Нетаксічны і экалагічна чысты.