Keramický ohřívač oplatek AlN Topný článek z oxidu hlinitého

Keramický ohřívač oplatek AlN Topný článek z oxidu hlinitého
Při výrobě polovodičů je třeba destičky zpracovávat různými procesy, jako je nanášení tenkých vrstev, leptání atd. V těchto procesech je třeba destičky zahřát na určitou teplotu a na tuto teplotu jsou kladeny přísné požadavky, protože rovnoměrnost teploty má velmi důležitý vliv na výtěžnost produktu a topné komponenty jsou nepostradatelné.

Keramický ohřívačse přímo nanáší do procesní komory a je v přímém kontaktu s destičkou. Nejenže nesou destičku, ale také zajišťují, aby destička dosáhla stabilní a rovnoměrné procesní teploty. Jsou klíčovými součástmi zařízení pro nanášení tenkých polovodičových vrstev!

Keramický ohřívač obsahuje keramickou základnu, která podpírá destičku, a válcové nosné těleso na zadní straně, které ji podpírá. Kromě odporového prvku (topné vrstvy) pro ohřev jsou uvnitř nebo na povrchu keramické základny také radiofrekvenční elektrody (RF vrstva). Pro dosažení rychlého ohřevu a ochlazování by měla být tloušťka keramické základny tenká, ale příliš tenká tloušťka také snižuje tuhost.

Nosník keramického ohřívače je obvykle vyroben z keramického materiálu s koeficientem tepelné roztažnosti podobným koeficientu tepelné roztažnosti základny. Ohřívač má unikátní strukturu spodního spoje hřídele, která chrání svorky a vodiče před účinky plazmy a korozivních chemických plynů. Nosník je vybaven vstupním a výstupním potrubím pro přenos tepla, které zajišťuje rovnoměrnou teplotu ohřívače. Základna a nosník jsou chemicky spojeny spojovací vrstvou.

Keramické topné těleso může být vyrobeno z keramiky, jako je nitrid hliníku (AlN), nitrid křemíku (Si3N4) a oxid hlinitý (Al2O3). Z nich je AlN nejlepší volbou pro keramické topné těleso. Ve srovnání s jinými materiály má keramika AlN od VET Energy následující vlastnosti:
(1) Dobrá tepelná vodivost;
(2) Soulad koeficientu tepelné roztažnosti s polovodičovými křemíkovými materiály;
(3) Dobré mechanické vlastnosti, vynikající odolnost proti opotřebení a komplexní mechanické vlastnosti jsou lepší než u oxidu berylia a ekvivalentní oxidu hlinitému;
(4) Vynikající komplexní elektrické vlastnosti, vynikající elektrická izolace a nízké dielektrické ztráty;
(5) Netoxický a šetrný k životnímu prostředí.