সিরামিক ওয়েফার হিটার AlN অ্যালুমিনা হিটিং এলিমেন্ট
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, ওয়েফারগুলিকে বিভিন্ন প্রক্রিয়ায় প্রক্রিয়াজাত করতে হয়, যেমন পাতলা ফিল্ম জমা, এচিং ইত্যাদি। এই লিঙ্কগুলিতে, ওয়েফারগুলিকে একটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করতে হয় এবং তাপমাত্রার জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে, কারণ তাপমাত্রার অভিন্নতা পণ্যের ফলনের উপর অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে এবং গরম করার উপাদানগুলি অপরিহার্য।
সিরামিক হিটারসরাসরি প্রক্রিয়া চেম্বারে প্রয়োগ করা হয় এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি যোগাযোগে থাকে। তারা কেবল ওয়েফার বহন করে না, বরং ওয়েফারটি একটি স্থিতিশীল এবং অভিন্ন প্রক্রিয়া তাপমাত্রা অর্জন করে তাও নিশ্চিত করে। তারা সেমিকন্ডাক্টর পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জামের মূল উপাদান!
সিরামিক হিটারটিতে একটি সিরামিক বেস থাকে যা ওয়েফারকে সমর্থন করে এবং পিছনে একটি নলাকার সাপোর্ট বডি থাকে যা এটিকে সমর্থন করে। গরম করার জন্য প্রতিরোধ উপাদান (হিটিং লেয়ার) ছাড়াও, সিরামিক বেসের ভিতরে বা পৃষ্ঠে রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোড (RF লেয়ার)ও থাকে। দ্রুত গরম এবং শীতল করার জন্য, সিরামিক বেসের পুরুত্ব পাতলা হওয়া উচিত, তবে খুব পাতলা হলে এটির কঠোরতাও হ্রাস পাবে।
সিরামিক হিটারের সাপোর্ট সাধারণত সিরামিক উপাদান দিয়ে তৈরি হয় যার তাপীয় প্রসারণ সহগ বেসের মতোই থাকে। প্লাজমা এবং ক্ষয়কারী রাসায়নিক গ্যাসের প্রভাব থেকে টার্মিনাল এবং তারগুলিকে রক্ষা করার জন্য হিটারটি একটি শ্যাফ্ট জয়েন্ট বটমের একটি অনন্য কাঠামো গ্রহণ করে। হিটারের তাপমাত্রা সমানভাবে নিশ্চিত করার জন্য সাপোর্টটিতে একটি তাপ স্থানান্তর গ্যাস ইনলেট এবং আউটলেট পাইপ রয়েছে। বেস এবং সাপোর্ট রাসায়নিকভাবে একটি বন্ধন স্তর দিয়ে আবদ্ধ।
সিরামিক হিটারটি অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN), সিলিকন নাইট্রাইড (Si3N4) এবং অ্যালুমিনা (Al2O3) এর মতো সিরামিক দিয়ে তৈরি করা যেতে পারে। এর মধ্যে, সিরামিক হিটারের জন্য AlN সেরা পছন্দ। অন্যান্য উপকরণের তুলনায়, VET Energy-এর AlN সিরামিকের নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছে:
(1) ভালো তাপ পরিবাহিতা;
(২) অর্ধপরিবাহী সিলিকন উপকরণের সাথে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের মিল;
(৩) ভালো যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, চমৎকার পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং ব্যাপক যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য বেরিলিয়াম অক্সাইডের চেয়ে ভালো এবং অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইডের সমতুল্য;
(৪) চমৎকার ব্যাপক বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য, চমৎকার বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং কম ডাইইলেক্ট্রিক ক্ষতি;
(৫) অ-বিষাক্ত এবং পরিবেশ বান্ধব।
সিরামিক উপকরণের ডেটা শিট
| আইটেম | ৯৫% অ্যালুমিনা | ৯৯% অ্যালুমিনা | জিরকোনিয়া | সিলিকন কার্বাইড | সিলিকনNইট্রাইড | অ্যালুমিনিয়ামNইট্রাইড |
| রঙ | সাদা | হালকা হলুদ | সাদা | কালো | কালো | ধূসর |
| ঘনত্ব (গ্রাম/সেমি৩) | ৩.৭ গ্রাম/সেমি৩ | ৩.৯ গ্রাম/সেমি৩ | ৬.০২ গ্রাম/সেমি৩ | ৩.২ গ্রাম/সেমি৩ | ৩.২৫ গ্রাম/সেমি৩ | ৩.২ গ্রাম/সেমি৩ |
| জল শোষণ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| কঠোরতা (এইচভি) | ২৩.৭ | ২৩.৭ | ১৬.৫ | 33 | 20 | - |
| নমনীয় শক্তি (এমপিএ) | ৩০০ এমপিএ | ৪০০ এমপিএ | ১১০০ এমপিএ | ৪৫০ এমপিএ | ৮০০ এমপিএ | ৩১০ এমপিএ |
| কম্প্রেসিভ স্ট্রেংথ (এমপিএ) | ২৫০০ এমপিএ | ২৮০০ এমপিএ | ৩৬০০ এমপিএ | ২০০০ এমপিএ | ২৬০০ এমপিএ | - |
| ইয়ং এর স্থিতিস্থাপকতার মডুলাস | ৩০০ জিপিএ | ৩০০ জিপিএ | ৩২০ জিপিএ | ৪৫০ জিপিএ | ২৯০ জিপিএ | ৩১০~৩৫০জিপিএ |
| পয়সনের অনুপাত | ০.২৩ | ০.২৩ | ০.২৫ | ০.১৪ | ০.২৪ | ০.২৪ |
| তাপীয় পরিবাহিতা | ২০ ওয়াট/মিটার°সে | ৩২ ওয়াট/মি°সে. | ৩ ওয়াট/মিটার°সে. | ৫০ ওয়াট/মিটার°সে | ২৫ ওয়াট/মি°সে. | ১৫০ ওয়াট/মি°সে |
| ডাইইলেকট্রিক শক্তি | ১৪ কেভি/মিমি | ১৪ কেভি/মিমি | ১৪ কেভি/মিমি | ১৪ কেভি/মিমি | ১৪ কেভি/মিমি | ১৪ কেভি/মিমি |
| আয়তন প্রতিরোধ ক্ষমতা (25℃) | >১০১৪Ω·সেমি | >১০১৪Ω·সেমি | >১০১৪Ω·সেমি | >১০৫Ω·সেমি | >১০১৪Ω·সেমি | >১০১৪Ω·সেমি |
VET Energy হল একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক যা গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, কোয়ার্টজের মতো উচ্চমানের উন্নত উপকরণের গবেষণা ও উন্নয়ন এবং উৎপাদনের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে, সেইসাথে SiC আবরণ, TaC আবরণ, কাঁচের কার্বন আবরণ, পাইরোলাইটিক কার্বন আবরণ ইত্যাদির মতো উপাদানের চিকিত্সার উপরও মনোযোগ দেয়। পণ্যগুলি ফটোভোলটাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের প্রযুক্তিগত দলটি শীর্ষস্থানীয় দেশীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে আসে, আপনার জন্য আরও পেশাদার উপাদান সমাধান প্রদান করতে পারে।
VET এনার্জির সুবিধার মধ্যে রয়েছে:
• নিজস্ব কারখানা এবং পেশাদার পরীক্ষাগার;
• শিল্প-নেতৃস্থানীয় বিশুদ্ধতা স্তর এবং গুণমান;
• প্রতিযোগিতামূলক মূল্য এবং দ্রুত ডেলিভারি সময়;
• বিশ্বব্যাপী একাধিক শিল্প অংশীদারিত্ব;
আমাদের কারখানা এবং পরীক্ষাগারটি যেকোনো সময় পরিদর্শন করতে আপনাকে স্বাগত জানাই!
