সিরামিক ওয়েফার হিটার AlN অ্যালুমিনা হিটিং এলিমেন্ট

সিরামিক ওয়েফার হিটার AlN অ্যালুমিনা হিটিং এলিমেন্ট
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, ওয়েফারগুলোকে বিভিন্ন প্রক্রিয়ায় প্রক্রিয়াজাত করতে হয়, যেমন থিন ফিল্ম ডিপোজিশন, এচিং ইত্যাদি। এই পর্যায়গুলোতে ওয়েফারগুলোকে একটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করতে হয় এবং তাপমাত্রার ব্যাপারে কঠোর নিয়মকানুন রয়েছে, কারণ তাপমাত্রার সমরূপতা পণ্যের উৎপাদনের ওপর অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে এবং উত্তাপক উপাদান অপরিহার্য।

সিরামিক হিটারএগুলো সরাসরি প্রসেস চেম্বারে প্রয়োগ করা হয় এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি সংস্পর্শে থাকে। এগুলো শুধু ওয়েফার বহনই করে না, বরং ওয়েফারের জন্য একটি স্থিতিশীল ও অভিন্ন প্রসেস তাপমাত্রা নিশ্চিত করে। সেমিকন্ডাক্টর থিন ফিল্ম ডিপোজিশন ইকুইপমেন্টে এগুলো মূল উপাদান!

সিরামিক হিটারটিতে একটি সিরামিক বেস থাকে যা ওয়েফারটিকে ধরে রাখে এবং এর পেছনের দিকে একটি নলাকার সাপোর্ট বডি থাকে যা এটিকে সাপোর্ট দেয়। গরম করার জন্য রেজিস্ট্যান্স এলিমেন্ট (হিটিং লেয়ার) ছাড়াও, সিরামিক বেসের ভিতরে বা পৃষ্ঠে রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোড (আরএফ লেয়ার) থাকে। দ্রুত গরম ও ঠান্ডা করার জন্য সিরামিক বেসের পুরুত্ব পাতলা হওয়া উচিত, কিন্তু অতিরিক্ত পাতলা হলে এর দৃঢ়তাও কমে যায়।

সিরামিক হিটারের সাপোর্টটি সাধারণত এমন সিরামিক উপাদান দিয়ে তৈরি হয়, যার তাপীয় প্রসারণ সহগ এর ভিত্তির অনুরূপ। হিটারটিতে একটি শ্যাফট জয়েন্ট বটমের অনন্য কাঠামো ব্যবহার করা হয়, যা টার্মিনাল এবং তারগুলোকে প্লাজমা ও ক্ষয়কারী রাসায়নিক গ্যাসের প্রভাব থেকে রক্ষা করে। হিটারের তাপমাত্রা সুষম রাখার জন্য সাপোর্টটিতে একটি তাপ স্থানান্তরকারী গ্যাস প্রবেশ ও নির্গমন পাইপ সংযুক্ত থাকে। ভিত্তি এবং সাপোর্ট একটি বন্ডিং লেয়ারের মাধ্যমে রাসায়নিকভাবে সংযুক্ত থাকে।

সিরামিক হিটার অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN), সিলিকন নাইট্রাইড (Si3N4), এবং অ্যালুমিনা (Al2O3)-এর মতো সিরামিক দিয়ে তৈরি করা যেতে পারে। এদের মধ্যে, সিরামিক হিটারের জন্য AlN হলো সর্বোত্তম পছন্দ। অন্যান্য উপকরণের তুলনায়, VET এনার্জির AlN সিরামিকের নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছে:
(1) ভালো তাপ পরিবাহিতা;
(2) সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন উপকরণের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ তাপীয় প্রসারণ সহগ;
(3) ভালো যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, চমৎকার ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, এবং সামগ্রিক যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য বেরিলিয়াম অক্সাইডের চেয়ে ভালো এবং অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইডের সমতুল্য;
(4) চমৎকার সার্বিক বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য, চমৎকার বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং কম ডাইইলেকট্রিক লস;
(5) অ-বিষাক্ত এবং পরিবেশবান্ধব।