קעראַמיש וואַפער כיטער אַלן אַלומינאַ באַהיצונג עלעמענט
אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, דאַרפן וועיפערס פּראַסעסט ווערן אין פֿאַרשידענע פּראָצעסן, ווי דין-פילם דעפּאָזיציע, עטשינג, אאַז"וו. אין די לינקס דאַרפן די וועיפערס געהייצט ווערן צו אַ געוויסע טעמפּעראַטור, און עס זענען שטרענגע רעקווירעמענץ פֿאַר דער טעמפּעראַטור, ווייל די איינהייטלעכקייט פון טעמפּעראַטור האט אַ זייער וויכטיקע השפּעה אויף די פּראָדוקט פּראָדוקציע, און הייצונג קאָמפּאָנענטן זענען נייטיק.
קעראַמיש כיטערווערט גלייך אנגעווענדעט צום פּראָצעס קאַמער און זענען אין דירעקטן קאָנטאַקט מיטן וועיפער. זיי טראָגן נישט נאָר דעם וועיפער, נאָר אויך זאָרגן אַז דער וועיפער באַקומט אַ סטאַבילע און איינהייטלעכע פּראָצעס טעמפּעראַטור. זיי זענען שליסל קאָמפּאָנענטן אין האַלב-קאָנדוקטאָר דין-פילם דעפּאָזיציע עקוויפּמענט!
דער קעראַמישער כיטער שליסט איין א קעראַמישע באַזע וואָס שטיצט דעם וועיפער און א צילינדרישן שטיצקערפּער אויף דער הינטערשטער זייט וואָס שטיצט אים. אין דערצו צום קעגנשטעל עלעמענט (הייצונג שיכט) פאר הייצן, זענען אויך דא ראַדיאָ פרעקווענץ עלעקטראָדן (RF שיכט) אינעווייניק אדער אויף דער ייבערפלאַך פון דער קעראַמישער באַזע. כּדי צו דערגרייכן שנעלע הייצונג און קילונג, זאָל די גרעב פון דער קעראַמישער באַזע זיין דין, אָבער צו דין וועט אויך רעדוצירן די שטייפקייט.
די שטיצע פון דעם קעראַמישן כיטער איז בכלל געמאַכט פון קעראַמישן מאַטעריאַל מיט אַ טערמישן יקספּאַנשאַן קאָעפֿיציענט ענלעך צו דעם פון דער באַזע. דער כיטער נעמט אָן אַ יינציקע סטרוקטור פון אַ שאַפט דזשוינט דנאָ צו באַשיצן די טערמינאַלס און דראָטן פון די ווירקונגען פון פּלאַזמע און קעראָוסיוו כעמישע גאַזן. די שטיצע איז אויסגעשטאַט מיט אַ היץ אַריבערפירן גאַז אַרייַנגאַנג און אַרויסגאַנג רער צו ענשור גלייכמעסיק טעמפּעראַטור פון דעם כיטער. די באַזע און די שטיצע זענען כעמיש פארבונדן מיט אַ באַנדינג שיכט.
דער קעראַמישער כיטער קען זיין געמאַכט פון קעראַמיק ווי אַלומינום ניטריד (AlN), סיליקאָן ניטריד (Si3N4), און אַלומינאַ (Al2O3). צווישן זיי, איז AlN די בעסטע ברירה פֿאַר קעראַמישע כיטערס. קאַמפּערד מיט אַנדערע מאַטעריאַלן, האט VET Energy'ס AlN קעראַמיק די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:
(1) גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי;
(2) צוגעפאסטע טערמישע אויסברייטונג קאעפיציענט צו האלב-קאנדוקטאר סיליקאן מאטעריאלן;
(3) גוטע מעכאנישע אייגנשאפטן, אויסגעצייכנטע טראָגן קעגנשטעל, און פולשטענדיקע מעכאנישע אייגנשאפטן זענען בעסער ווי בערילליום אָקסייד און עקוויוואַלענט צו אַלומינום אָקסייד;
(4) אויסגעצייכנטע קאָמפּרעהענסיווע עלעקטרישע אייגנשאַפטן, אויסגעצייכנטע עלעקטרישע איזאָלאַציע און נידעריק דיעלעקטריש אָנווער;
(5) נישט-טאַקסיש און סביבה-פרייַנדלעך.
דאַטן בלאַט פון קעראַמישע מאַטעריאַלן
| אייטעם | 95% אַלומינאַ | 99% אַלומינאַ | זירקאָניאַ | סיליקאָן קאַרבייד | סיליקאָןNאיטרייד | אַלומינוםNאיטרייד |
| קאָליר | ווייס | ליכטיק געל | ווייס | שוואַרץ | שוואַרץ | גרוי |
| געדיכטקייט (ג/קמ3) | 3.7 ג/קמ3 | 3.9 ג/קמ3 | 6.02 ג/קמ3 | 3.2 ג/קמ3 | 3.25 ג/קמ3 | 3.2 ג/קמ3 |
| וואַסער אַבזאָרפּציע | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| כאַרדנאַס (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| בייג שטאַרקייט (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| קאָמפּרעסיוו שטאַרקייט (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| יאָנגס מאָדולוס פון עלאַסטיסיטי | 300 גפּאַ | 300 גפּאַ | 320 גפּאַ | 450 גפּאַ | 290 גפּאַ | 310~350 גפּאַ |
| פּואַסאָנס פאַרהעלטעניש | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי | 20 וואט/מ°C | 32 וואט/מ°C | 3 וואט/מעטער גראַד צעלזיוס | 50 וואט/מ°C | 25 וואט/מ°C | 150 וואט/מ°C |
| דיעלעקטרישע שטאַרקייט | 14 קילוואט/מ״מ | 14 קילוואט/מ״מ | 14 קילוואט/מ״מ | 14 קילוואט/מ״מ | 14 קילוואט/מ״מ | 14 קילוואט/מ״מ |
| באַנד קעגנשטעל (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
וועט ענערגיע איז א פראפעסיאנעלע פאבריקאנט וואס פאקוסירט אויף די פארשונג און אנטוויקלונג און פראדוקציע פון הויך-קלאס פארגעשריטענע מאטעריאלן ווי גראפיט, סיליקאן קארבייד, קוואַרץ, ווי אויך די מאטעריאל באהאנדלונג ווי SiC קאוטינג, TaC קאוטינג, גלאזי קארבאן קאוטינג, פּיראליטיק קארבאן קאוטינג, א.א.וו. די פראדוקטן ווערן ברייט גענוצט אין פאטאוואטאליק, האלב-קאנדוקטאר, נייע ענערגיע, מעטאלורגיע, א.א.וו.
אונדזער טעכנישער מאַנשאַפֿט קומט פֿון די שפּיץ דינער פֿאָרשונג אינסטיטוציעס, און קען צושטעלן מער פּראָפֿעסיאָנעלע מאַטעריאַל לייזונגען פֿאַר אײַך.
VET ענערגיע מעלות שליסן איין:
• אייגענע פאַבריק און פּראָפעסיאָנעלע לאַבאָראַטאָריע;
• אינדוסטריע-פירנדיקע ריינקייט לעוועלס און קוואַליטעט;
• קאָנקורענטפֿעיִקער פּרייַז און שנעלע ליפֿערונג צײַט;
• קייפל אינדוסטריע פּאַרטנערשיפּס ווערלדווייד;
מיר באַגריסן איר צו באַזוכן אונדזער פאַבריק און לאַבאָראַטאָריע אין קיין צייט!
-
האַלב-קאָנדוקטאָר אַלומינאַ קעראַמיק ינסאַלייטינג קאָווער
-
האַלב-קאָנדוקטאָר אַלומינאַ קעראַמיק וואַפער טרעגער
-
אַלומינאַ קעראַמיק האַלבקאָנדוקטאָר ינסאַלייטינג קאָווער
-
אַלומינאַ קעראַמיש האַלב-קאָנדוקטאָר עלעקטראָד אַרבל
-
מנהג הויך טעמפּעראַטור און קעראָוזשאַן קעגנשטעליק ...
-
הויך ריינקייט קוואַרץ קרוציבל געניצט אין די פאָטאָוואָ ...