Elemen Pemanas AlN Alumina Pemanas Wafer Seramik

Elemen Pemanas AlN Alumina Pemanas Wafer Seramik
Dalam pembuatan semikonduktor, wafer perlu diproses dalam pelbagai proses, seperti pemendapan filem nipis, pengetsaan, dan sebagainya. Dalam pautan ini, wafer perlu dipanaskan pada suhu tertentu, dan terdapat keperluan suhu yang ketat, kerana keseragaman suhu mempunyai kesan yang sangat penting terhadap hasil produk, dan komponen pemanasan sangat diperlukan.

Pemanas seramikdigunakan secara langsung pada ruang proses dan bersentuhan langsung dengan wafer. Ia bukan sahaja membawa wafer, tetapi juga memastikan wafer memperoleh suhu proses yang stabil dan seragam. Ia merupakan komponen utama dalam peralatan pemendapan filem nipis semikonduktor!

Pemanas seramik merangkumi tapak seramik yang menyokong wafer dan badan sokongan silinder di bahagian belakang yang menyokongnya. Selain elemen rintangan (lapisan pemanasan) untuk pemanasan, terdapat juga elektrod frekuensi radio (lapisan RF) di dalam atau di permukaan tapak seramik. Untuk mencapai pemanasan dan penyejukan yang cepat, ketebalan tapak seramik hendaklah nipis, tetapi terlalu nipis juga akan mengurangkan ketegaran.

Sokongan pemanas seramik biasanya diperbuat daripada bahan seramik dengan pekali pengembangan haba yang serupa dengan tapak. Pemanas ini menggunakan struktur unik bahagian bawah sambungan aci untuk melindungi terminal dan wayar daripada kesan plasma dan gas kimia yang menghakis. Sokongan ini dilengkapi dengan paip masuk dan keluar gas pemindahan haba untuk memastikan suhu pemanas yang seragam. Tapak dan sokongan diikat secara kimia dengan lapisan ikatan.

Pemanas seramik boleh diperbuat daripada seramik seperti aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), dan alumina (Al2O3). Antaranya, AlN adalah pilihan terbaik untuk pemanas seramik. Berbanding dengan bahan lain, seramik AlN VET Energy mempunyai ciri-ciri berikut:
(1) Kekonduksian terma yang baik;
(2) Pekali pengembangan haba yang sepadan dengan bahan silikon semikonduktor;
(3) Sifat mekanikal yang baik, rintangan haus yang sangat baik, dan sifat mekanikal yang komprehensif adalah lebih baik daripada berilium oksida dan setara dengan aluminium oksida;
(4) Sifat elektrik komprehensif yang sangat baik, penebat elektrik yang sangat baik dan kehilangan dielektrik yang rendah;
(5) Tidak toksik dan mesra alam.