Pemanas Wafer Keramik Elemen Pemanas Alumina AlN

Pemanas Wafer Keramik Elemen Pemanas Alumina AlN
Dalam pembuatan semikonduktor, wafer perlu diproses melalui berbagai proses, seperti pengendapan lapisan tipis, pengetsaan, dan lain-lain. Dalam proses ini, wafer perlu dipanaskan hingga mencapai suhu tertentu, dan ada persyaratan ketat untuk suhu tersebut, karena keseragaman suhu memiliki dampak yang sangat penting pada hasil produk, dan komponen pemanas sangat diperlukan.

Pemanas keramikdiaplikasikan langsung ke ruang proses dan bersentuhan langsung dengan wafer. Mereka tidak hanya membawa wafer, tetapi juga memastikan bahwa wafer memperoleh suhu proses yang stabil dan seragam. Mereka adalah komponen utama dalam peralatan pengendapan film tipis semikonduktor!

Pemanas keramik mencakup alas keramik yang menyangga wafer dan badan penyangga silinder di sisi belakang yang menyangganya. Selain elemen resistansi (lapisan pemanas) untuk pemanasan, terdapat juga elektroda frekuensi radio (lapisan RF) di dalam atau di permukaan alas keramik. Untuk mencapai pemanasan dan pendinginan yang cepat, ketebalan alas keramik harus tipis, tetapi terlalu tipis juga akan mengurangi kekakuan.

Penyangga pemanas keramik umumnya terbuat dari bahan keramik dengan koefisien ekspansi termal yang mirip dengan alasnya. Pemanas mengadopsi struktur unik dari dasar sambungan poros untuk melindungi terminal dan kabel dari efek plasma dan gas kimia korosif. Penyangga dilengkapi dengan pipa saluran masuk dan keluar gas pemindah panas untuk memastikan suhu pemanas yang seragam. Alas dan penyangga terikat secara kimia dengan lapisan pengikat.

Pemanas keramik dapat dibuat dari keramik seperti aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), dan alumina (Al2O3). Di antara semuanya, AlN merupakan pilihan terbaik untuk pemanas keramik. Dibandingkan dengan material lain, keramik AlN dari VET Energy memiliki karakteristik sebagai berikut:
(1) Konduktivitas termal yang baik;
(2) Koefisien ekspansi termal yang cocok dengan bahan silikon semikonduktor;
(3) Sifat mekanik yang baik, ketahanan aus yang sangat baik, dan sifat mekanik yang komprehensif lebih baik daripada berilium oksida dan setara dengan aluminium oksida;
(4) Sifat listrik komprehensif yang sangat baik, isolasi listrik yang sangat baik dan kehilangan dielektrik yang rendah;
(5) Tidak beracun dan ramah lingkungan.