Elemen Pemanas Wafer Keramik AlN Alumina

Elemen Pemanas Wafer Keramik AlN Alumina
Dalam manufaktur semikonduktor, wafer perlu diproses dalam berbagai proses, seperti deposisi lapisan tipis, etsa, dan lain-lain. Pada tahapan ini, wafer perlu dipanaskan hingga suhu tertentu, dan terdapat persyaratan ketat untuk suhu tersebut, karena keseragaman suhu memiliki dampak yang sangat penting pada hasil produk, dan komponen pemanas sangat diperlukan.

Pemanas keramikKomponen ini diaplikasikan langsung ke ruang proses dan bersentuhan langsung dengan wafer. Komponen ini tidak hanya membawa wafer, tetapi juga memastikan wafer mendapatkan suhu proses yang stabil dan seragam. Komponen ini merupakan komponen kunci dalam peralatan deposisi film tipis semikonduktor!

Pemanas keramik mencakup alas keramik yang menopang wafer dan badan penyangga silindris di sisi belakang yang menopangnya. Selain elemen resistansi (lapisan pemanas) untuk pemanasan, terdapat juga elektroda frekuensi radio (lapisan RF) di dalam atau di permukaan alas keramik. Untuk mencapai pemanasan dan pendinginan yang cepat, ketebalan alas keramik harus tipis, tetapi terlalu tipis juga akan mengurangi kekakuannya.

Penyangga pemanas keramik umumnya terbuat dari bahan keramik dengan koefisien ekspansi termal yang mirip dengan alasnya. Pemanas ini mengadopsi struktur unik berupa sambungan poros di bagian bawah untuk melindungi terminal dan kabel dari pengaruh plasma dan gas kimia korosif. Penyangga dilengkapi dengan pipa masuk dan keluar gas penghantar panas untuk memastikan suhu pemanas seragam. Alas dan penyangga diikat secara kimia dengan lapisan perekat.

Pemanas keramik dapat dibuat dari keramik seperti aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), dan alumina (Al2O3). Di antara ketiganya, AlN adalah pilihan terbaik untuk pemanas keramik. Dibandingkan dengan material lain, keramik AlN dari VET Energy memiliki karakteristik sebagai berikut:
(1) Konduktivitas termal yang baik;
(2) Koefisien ekspansi termal yang sesuai dengan bahan silikon semikonduktor;
(3) Sifat mekanik yang baik, ketahanan aus yang sangat baik, dan sifat mekanik komprehensif lebih baik daripada berilium oksida dan setara dengan aluminium oksida;
(4) Sifat kelistrikan komprehensif yang sangat baik, isolasi listrik yang sangat baik dan kerugian dielektrik yang rendah;
(5) Tidak beracun dan ramah lingkungan.