સિરામિક વેફર હીટર AlN એલ્યુમિના હીટિંગ એલિમેન્ટ
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં, વેફર્સને વિવિધ પ્રક્રિયાઓમાં પ્રક્રિયા કરવાની જરૂર છે, જેમ કે પાતળા ફિલ્મ ડિપોઝિશન, એચિંગ, વગેરે. આ લિંક્સમાં, વેફર્સને ચોક્કસ તાપમાને ગરમ કરવાની જરૂર છે, અને તાપમાન માટે કડક આવશ્યકતાઓ છે, કારણ કે તાપમાનની એકરૂપતા ઉત્પાદન ઉપજ પર ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ અસર કરે છે, અને ગરમીના ઘટકો અનિવાર્ય છે.
સિરામિક હીટરપ્રોસેસ ચેમ્બરમાં સીધા લાગુ પડે છે અને વેફર સાથે સીધા સંપર્કમાં હોય છે. તેઓ ફક્ત વેફરને જ વહન કરતા નથી, પરંતુ ખાતરી પણ કરે છે કે વેફર સ્થિર અને સમાન પ્રક્રિયા તાપમાન મેળવે છે. તેઓ સેમિકન્ડક્ટર પાતળા ફિલ્મ ડિપોઝિશન સાધનોમાં મુખ્ય ઘટકો છે!
સિરામિક હીટરમાં વેફરને ટેકો આપતો સિરામિક બેઝ અને પાછળની બાજુએ એક નળાકાર સપોર્ટ બોડી હોય છે જે તેને ટેકો આપે છે. ગરમી માટે પ્રતિકાર તત્વ (હીટિંગ લેયર) ઉપરાંત, સિરામિક બેઝની અંદર અથવા સપાટી પર રેડિયો ફ્રીક્વન્સી ઇલેક્ટ્રોડ્સ (RF લેયર) પણ હોય છે. ઝડપી ગરમી અને ઠંડક પ્રાપ્ત કરવા માટે, સિરામિક બેઝની જાડાઈ પાતળી હોવી જોઈએ, પરંતુ ખૂબ પાતળી હોવાને કારણે કઠોરતા પણ ઓછી થશે.
સિરામિક હીટરનો આધાર સામાન્ય રીતે સિરામિક સામગ્રીથી બનેલો હોય છે જેમાં બેઝ જેવો જ થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક હોય છે. હીટર પ્લાઝ્મા અને કાટ લાગતા રાસાયણિક વાયુઓની અસરોથી ટર્મિનલ્સ અને વાયરને સુરક્ષિત રાખવા માટે શાફ્ટ જોઈન્ટ બોટમનું એક અનોખું માળખું અપનાવે છે. હીટરનું એકસમાન તાપમાન સુનિશ્ચિત કરવા માટે સપોર્ટ હીટ ટ્રાન્સફર ગેસ ઇનલેટ અને આઉટલેટ પાઇપથી સજ્જ છે. બેઝ અને સપોર્ટ રાસાયણિક રીતે બોન્ડિંગ લેયર સાથે જોડાયેલા છે.
સિરામિક હીટર એલ્યુમિનિયમ નાઇટ્રાઇડ (AlN), સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ (Si3N4), અને એલ્યુમિના (Al2O3) જેવા સિરામિક્સથી બનાવી શકાય છે. તેમાંથી, સિરામિક હીટર માટે AlN શ્રેષ્ઠ પસંદગી છે. અન્ય સામગ્રીની તુલનામાં, VET એનર્જીના AlN સિરામિકમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:
(1) સારી થર્મલ વાહકતા;
(2) સેમિકન્ડક્ટર સિલિકોન સામગ્રી સાથે મેળ ખાતો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક;
(૩) સારા યાંત્રિક ગુણધર્મો, ઉત્તમ વસ્ત્રો પ્રતિકાર અને વ્યાપક યાંત્રિક ગુણધર્મો બેરિલિયમ ઓક્સાઇડ કરતાં વધુ સારા અને એલ્યુમિનિયમ ઓક્સાઇડના સમકક્ષ છે;
(4) ઉત્તમ વ્યાપક વિદ્યુત ગુણધર્મો, ઉત્તમ વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેશન અને ઓછું ડાઇલેક્ટ્રિક નુકસાન;
(5) બિન-ઝેરી અને પર્યાવરણને અનુકૂળ.
સિરામિક સામગ્રીની ડેટા શીટ
| વસ્તુ | ૯૫% એલ્યુમિના | ૯૯% એલ્યુમિના | ઝિર્કોનિયા | સિલિકોન કાર્બાઇડ | સિલિકોનNઇટ્રાઇડ | એલ્યુમિનિયમNઇટ્રાઇડ |
| રંગ | સફેદ | આછો પીળો | સફેદ | કાળો | કાળો | ગ્રે |
| ઘનતા (ગ્રામ/સેમી3) | ૩.૭ ગ્રામ/સેમી૩ | ૩.૯ ગ્રામ/સેમી૩ | ૬.૦૨ ગ્રામ/સેમી૩ | ૩.૨ ગ્રામ/સેમી૩ | ૩.૨૫ ગ્રામ/સેમી૩ | ૩.૨ ગ્રામ/સેમી૩ |
| પાણી શોષણ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| કઠિનતા (HV) | ૨૩.૭ | ૨૩.૭ | ૧૬.૫ | 33 | 20 | - |
| ફ્લેક્સરલ સ્ટ્રેન્થ (MPa) | ૩૦૦ એમપીએ | ૪૦૦ એમપીએ | ૧૧૦૦ એમપીએ | ૪૫૦ એમપીએ | ૮૦૦ એમપીએ | ૩૧૦ એમપીએ |
| સંકુચિત શક્તિ (MPa) | ૨૫૦૦ એમપીએ | ૨૮૦૦ એમપીએ | ૩૬૦૦ એમપીએ | ૨૦૦૦ એમપીએ | ૨૬૦૦ એમપીએ | - |
| યંગનું સ્થિતિસ્થાપકતાનું મોડ્યુલસ | ૩૦૦ જીપીએ | ૩૦૦ જીપીએ | ૩૨૦ જીપીએ | ૪૫૦ જીપીએ | ૨૯૦ જીપીએ | ૩૧૦~૩૫૦જીપીએ |
| પોઈસનનો ગુણોત્તર | ૦.૨૩ | ૦.૨૩ | ૦.૨૫ | ૦.૧૪ | ૦.૨૪ | ૦.૨૪ |
| થર્મલ વાહકતા | 20 વોટ/મીટર° સે | ૩૨ વોટ/મીટર° સે | ૩ વોટ/મીટર° સે | ૫૦ વોટ/મીટર° સે | 25W/મીટર°C | ૧૫૦ વોટ/મીટર° સે |
| ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ | ૧૪કેવી/મીમી | ૧૪કેવી/મીમી | ૧૪કેવી/મીમી | ૧૪કેવી/મીમી | ૧૪કેવી/મીમી | ૧૪કેવી/મીમી |
| વોલ્યુમ પ્રતિકારકતા (25℃) | >૧૦૧૪Ω·સેમી | >૧૦૧૪Ω·સેમી | >૧૦૧૪Ω·સેમી | >૧૦૫Ω·સેમી | >૧૦૧૪Ω·સેમી | >૧૦૧૪Ω·સેમી |
VET એનર્જી એક વ્યાવસાયિક ઉત્પાદક છે જે ગ્રેફાઇટ, સિલિકોન કાર્બાઇડ, ક્વાર્ટઝ જેવી ઉચ્ચ-સ્તરીય અદ્યતન સામગ્રીના સંશોધન અને વિકાસ અને ઉત્પાદન પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, તેમજ SiC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ વગેરે જેવી સામગ્રીની સારવાર પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે. આ ઉત્પાદનોનો ફોટોવોલ્ટેઇક, સેમિકન્ડક્ટર, નવી ઊર્જા, ધાતુશાસ્ત્ર વગેરેમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.
અમારી ટેકનિકલ ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, જે તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.
VET એનર્જીના ફાયદાઓમાં શામેલ છે:
• પોતાની ફેક્ટરી અને વ્યાવસાયિક પ્રયોગશાળા;
• ઉદ્યોગ-અગ્રણી શુદ્ધતા સ્તર અને ગુણવત્તા;
• સ્પર્ધાત્મક કિંમત અને ઝડપી ડિલિવરી સમય;
• વિશ્વભરમાં બહુવિધ ઉદ્યોગ ભાગીદારી;
કોઈપણ સમયે અમારી ફેક્ટરી અને પ્રયોગશાળાની મુલાકાત લેવા માટે અમે તમારું સ્વાગત કરીએ છીએ!
