Keramische waferverwarmer AlN-alumina verwarmingselement

Keramische waferverwarmer AlN-alumina verwarmingselement
Bij de productie van halfgeleiders moeten wafers in verschillende processen worden verwerkt, zoals dunnefilmdepositie, etsen, enz. In deze processen moeten de wafers tot een bepaalde temperatuur worden verhit. Er worden strenge eisen gesteld aan de temperatuur, omdat de uniformiteit van de temperatuur een zeer belangrijke impact heeft op de productopbrengst en verwarmingscomponenten onmisbaar zijn.

Keramische kachelWordt rechtstreeks op de proceskamer aangebracht en staat in direct contact met de wafer. Ze dragen niet alleen de wafer, maar zorgen er ook voor dat de wafer een stabiele en uniforme procestemperatuur krijgt. Ze zijn essentiële componenten in apparatuur voor de depositie van dunne films van halfgeleiders!

De keramische verwarmer bestaat uit een keramische basis die de wafer ondersteunt en een cilindrisch steunlichaam aan de achterzijde dat de wafer ondersteunt. Naast het weerstandselement (verwarmingslaag) voor de verwarming, bevinden zich ook radiofrequentie-elektroden (RF-laag) in of op het oppervlak van de keramische basis. Om snel te verwarmen en af ​​te koelen, moet de keramische basis dun zijn, maar een te dunne dikte vermindert ook de stijfheid.

De steun van de keramische verwarmer is over het algemeen gemaakt van keramisch materiaal met een thermische uitzettingscoëfficiënt die vergelijkbaar is met die van de basis. De verwarmer maakt gebruik van een unieke structuur met een asverbinding aan de onderkant om de aansluitingen en draden te beschermen tegen de effecten van plasma en corrosieve chemische gassen. De steun is voorzien van een in- en uitlaat voor warmteoverdrachtsgas om een ​​gelijkmatige temperatuur van de verwarmer te garanderen. De basis en de steun zijn chemisch verbonden met een hechtlaag.

Keramische verwarmingselementen kunnen gemaakt zijn van keramiek zoals aluminiumnitride (AlN), siliciumnitride (Si3N4) en aluminiumoxide (Al2O3). Van deze materialen is AlN de beste keuze voor keramische verwarmingselementen. Vergeleken met andere materialen heeft AlN-keramiek van VET Energy de volgende eigenschappen:
(1) Goede thermische geleidbaarheid;
(2) Afgestemde thermische uitzettingscoëfficiënt op halfgeleidersiliciummaterialen;
(3) Goede mechanische eigenschappen, uitstekende slijtvastheid en uitgebreide mechanische eigenschappen zijn beter dan berylliumoxide en gelijkwaardig aan aluminiumoxide;
(4) Uitstekende algehele elektrische eigenschappen, uitstekende elektrische isolatie en laag diëlektrisch verlies;
(5) Niet giftig en milieuvriendelijk.