גוף חימום אלומינה AlN של תנור ופלים קרמי
בייצור מוליכים למחצה, יש לעבד פרוסות דמה בתהליכים שונים, כגון שקיעת שכבה דקה, איכול וכו'. בתהליכים אלה, יש לחמם את הפרוסות לטמפרטורה מסוימת, וישנן דרישות מחמירות לטמפרטורה, מכיוון שאחידות הטמפרטורה משפיעה רבות על תפוקת המוצר, ורכיבי חימום הם הכרחיים.
תנור קרמימופעל ישירות על תא התהליך ונמצא במגע ישיר עם הוופל. הם לא רק נושאים את הוופל, אלא גם מבטיחים שהוופל מקבל טמפרטורת תהליך יציבה ואחידה. הם רכיבים מרכזיים בציוד להפקדת שכבות דקות של מוליכים למחצה!
גוף החימום הקרמי כולל בסיס קרמי התומך בוופל וגוף תמיכה גלילי בצד האחורי התומך בו. בנוסף לאלמנט ההתנגדות (שכבת החימום) לחימום, ישנן גם אלקטרודות תדר רדיו (שכבת RF) בתוך או על פני השטח של בסיס הקרמי. על מנת להשיג חימום וקירור מהירים, עובי הבסיס הקרמי צריך להיות דק, אך דק מדי גם יפחית את הנוקשות.
תמיכת גוף החימום הקרמי עשויה בדרך כלל מחומר קרמי בעל מקדם התפשטות תרמי דומה לזה של הבסיס. גוף החימום מאמץ מבנה ייחודי של תחתית חיבור פיר כדי להגן על הדקים והחוטים מפני השפעות הפלזמה וגזים כימיים קורוזיביים. התומכת מצוידת בצינור כניסה ויציאה של גז העברת חום כדי להבטיח טמפרטורה אחידה של גוף החימום. הבסיס והתומך קשורים כימית באמצעות שכבת הדבקה.
תנור קרמי יכול להיות עשוי מחומרים קרמיים כגון אלומיניום ניטריד (AlN), סיליקון ניטריד (Si3N4) ואלומינה (Al2O3). ביניהם, AlN הוא הבחירה הטובה ביותר עבור תנורי קרמיקה. בהשוואה לחומרים אחרים, לקרמיקה AlN של VET Energy יש את המאפיינים הבאים:
(1) מוליכות תרמית טובה;
(2) מקדם התפשטות תרמית מותאם לחומרי סיליקון מוליכים למחצה;
(3) תכונות מכניות טובות, עמידות מעולה בפני שחיקה ותכונות מכניות מקיפות טובות יותר מתחמוצת בריליום ושוות ערך לתחמוצת אלומיניום;
(4) תכונות חשמליות מקיפות מצוינות, בידוד חשמלי מעולה ואובדן דיאלקטרי נמוך;
(5) לא רעיל וידידותי לסביבה.
גיליון נתונים של חומרים קרמיים
| פָּרִיט | 95% אלומינה | 99% אלומינה | זירקוניה | סיליקון קרביד | סִילִיקוֹןNאיטרייד | אֲלוּמִינְיוּםNאיטרייד |
| צֶבַע | לָבָן | צהוב בהיר | לָבָן | שָׁחוֹר | שָׁחוֹר | אָפוֹר |
| צפיפות (גרם/סמ"ק) | 3.7 גרם/סמ"ק | 3.9 גרם/סמ"ק | 6.02 גרם/סמ"ק | 3.2 גרם/סמ"ק | 3.25 גרם/סמ"ק | 3.2 גרם/סמ"ק |
| ספיגת מים | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| קשיות (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| חוזק כיפוף (MPa) | 300 מגה פסקל | 400 מגה פסקל | 1100 מגה פסקל | 450 מגה פסקל | 800 מגה פסקל | 310 מגה פסקל |
| חוזק דחיסה (MPa) | 2500 מגה פסקל | 2800 מגה פסקל | 3600 מגה פסקל | 2000 מגה פסקל | 2600 מגה פסקל | - |
| מודול האלסטיות של יאנג | 300 ג'יגה-פסקל | 300 ג'יגה-פסקל | 320 ג'יגה-פסקל | 450 ג'יגה-פסקל | 290 ג'יגה-פסקל | 310~350 ג'יגה-פסקל |
| יחס פואסון | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| מוליכות תרמית | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| חוזק דיאלקטרי | 14 קילוואט/מ"מ | 14 קילוואט/מ"מ | 14 קילוואט/מ"מ | 14 קילוואט/מ"מ | 14 קילוואט/מ"מ | 14 קילוואט/מ"מ |
| התנגדות נפח (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy היא יצרנית מקצועית המתמקדת במחקר ופיתוח ובייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה כגון גרפיט, סיליקון קרביד, קוורץ, וכן בטיפול בחומרים כגון ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי ועוד. המוצרים נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה ועוד.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ויכול לספק לך פתרונות חומר מקצועיים יותר.
יתרונות VET Energy כוללים:
• מפעל משלו ומעבדה מקצועית;
• רמות טוהר ואיכות מובילות בתעשייה;
• מחיר תחרותי וזמן אספקה מהיר;
• שותפויות מרובות בתעשייה ברחבי העולם;
אנו מזמינים אתכם לבקר במפעל ובמעבדה שלנו בכל עת!
