செராமிக் வேஃபர் ஹீட்டர் AlN அலுமினா வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், மென்படலப் படிவு, அரித்தல் போன்ற பல்வேறு செயல்முறைகளில் வேஃபர்கள் பதப்படுத்தப்பட வேண்டும். இந்த இணைப்புகளில், வேஃபர்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்குச் சூடுபடுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் வெப்பநிலைக்குக் கடுமையான விதிமுறைகள் உள்ளன. ஏனெனில், வெப்பநிலையின் சீரான தன்மை உற்பத்திப் பொருளின் விளைச்சலில் மிக முக்கியமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் இன்றியமையாதவையாகும்.
செராமிக் ஹீட்டர்இவை செயல்முறை அறைக்குள் நேரடியாகப் பயன்படுத்தப்பட்டு, வேஃபருடன் நேரடித் தொடர்பில் உள்ளன. அவை வேஃபரைத் தாங்குவது மட்டுமல்லாமல், வேஃபர் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான செயல்முறை வெப்பநிலையைப் பெறுவதையும் உறுதி செய்கின்றன. குறைக்கடத்தி மென்படலப் படிவு உபகரணங்களில் இவை முக்கியக் கூறுகளாகும்!
செராமிக் ஹீட்டரில், வேஃபரைத் தாங்கும் ஒரு செராமிக் அடித்தளமும், அதன் பின்புறத்தில் அதைத் தாங்கும் ஒரு உருளை வடிவ ஆதரவு அமைப்பும் அடங்கும். வெப்பமூட்டுவதற்கான மின்தடை உறுப்புடன் (வெப்பமூட்டும் அடுக்கு), செராமிக் அடித்தளத்தின் உள்ளே அல்லது அதன் மேற்பரப்பில் ரேடியோ அதிர்வெண் மின்முனைகளும் (RF அடுக்கு) உள்ளன. விரைவான வெப்பமூட்டல் மற்றும் குளிர்வித்தலை அடைவதற்காக, செராமிக் அடித்தளத்தின் தடிமன் மெல்லியதாக இருக்க வேண்டும், ஆனால் மிகவும் மெல்லியதாக இருந்தால் அது அதன் விறைப்புத்தன்மையையும் குறைத்துவிடும்.
செராமிக் ஹீட்டரின் தாங்கியானது, பொதுவாக அதன் அடித்தளத்தின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தை ஒத்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தைக் கொண்ட செராமிக் பொருளால் ஆனது. பிளாஸ்மா மற்றும் அரிக்கும் இரசாயன வாயுக்களின் தாக்கங்களிலிருந்து முனையங்களையும் கம்பிகளையும் பாதுகாக்க, இந்த ஹீட்டர் ஒரு தனித்துவமான தண்டு இணைப்பு அடித்தள அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. ஹீட்டரின் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்வதற்காக, இந்தத் தாங்கியில் வெப்பப் பரிமாற்ற வாயு உள்ளீட்டு மற்றும் வெளியீட்டுக் குழாய்கள் பொருத்தப்பட்டுள்ளன. அடித்தளமும் தாங்கியும் ஒரு பிணைப்புப் படலத்தின் மூலம் இரசாயன ரீதியாகப் பிணைக்கப்பட்டுள்ளன.
செராமிக் ஹீட்டரை அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4) மற்றும் அலுமினா (Al2O3) போன்ற செராமிக் பொருட்களைக் கொண்டு தயாரிக்கலாம். அவற்றுள், செராமிக் ஹீட்டர்களுக்கு AlN சிறந்த தேர்வாகும். மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, VET எனர்ஜியின் AlN செராமிக் பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:
(1) நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்;
(2) குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் பொருட்களுக்குப் பொருந்தக்கூடிய வெப்ப விரிவாக்க குணகம்;
(3) நல்ல இயந்திர பண்புகள், சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் விரிவான இயந்திர பண்புகள் பெரிலியம் ஆக்சைடை விட சிறந்தவை மற்றும் அலுமினியம் ஆக்சைடுக்கு சமமானவை;
(4) சிறந்த விரிவான மின் பண்புகள், சிறந்த மின் காப்பு மற்றும் குறைந்த மின்காப்பு இழப்பு;
(5) நச்சுத்தன்மையற்ற மற்றும் சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்தது.
பீங்கான் பொருட்களின் தரவுத் தாள்
| பொருள் | 95% அலுமினா | 99% அலுமினா | சிர்கோனியா | சிலிக்கான் கார்பைடு | சாகினம்Nஇட்ரைடு | அலுமினியம்Nஇட்ரைடு |
| நிறம் | வெள்ளை | வெளிர் மஞ்சள் | வெள்ளை | கருப்பு | கருப்பு | சாம்பல் |
| அடர்த்தி (கி/செ.மீ³) | 3.7கி/செ.மீ3 | 3.9கி/செ.மீ3 | 6.02கி/செ.மீ3 | 3.2கி/செ.மீ3 | 3.25கி/செ.மீ3 | 3.2கி/செ.மீ3 |
| நீர் உறிஞ்சுதல் | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| கடினத்தன்மை (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| வளைவு வலிமை (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| அழுத்த வலிமை (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| யங்கின் மீள்மை குணகம் | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| பாய்சன் விகிதம் | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| வெப்பக் கடத்துத்திறன் | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| மின்காப்பு வலிமை | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| கன அளவு மின்தடைத்திறன் (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்தர மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு (R&D) மற்றும் உற்பத்தியிலும், அத்துடன் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கிளாஸி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் பதப்படுத்துதலிலும் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். இதன் தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகவியல் போன்ற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழுவினர் உள்நாட்டின் முன்னணி ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்தவர்கள், உங்களுக்கு மேலும் தொழில்முறை சார்ந்த பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
VET எனர்ஜியின் நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணியில் உள்ள தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டித்தன்மை வாய்ந்த விலை மற்றும் விரைவான விநியோகம்;
• உலகளாவிய பல்வேறு தொழில் கூட்டாண்மைகள்;
எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை நீங்கள் எப்போது வேண்டுமானாலும் பார்வையிட வரவேற்கிறோம்!
