பீங்கான் வேஃபர் ஹீட்டர் AlN அலுமினா வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், மெல்லிய படலப் படிவு, பொறித்தல் போன்ற பல்வேறு செயல்முறைகளில் செதில்கள் செயலாக்கப்பட வேண்டும். இந்த இணைப்புகளில், செதில்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்கு சூடாக்கப்பட வேண்டும், மேலும் வெப்பநிலைக்கு கடுமையான தேவைகள் உள்ளன, ஏனெனில் வெப்பநிலையின் சீரான தன்மை தயாரிப்பு விளைச்சலில் மிக முக்கியமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் இன்றியமையாதவை.
பீங்கான் ஹீட்டர்செயல்முறை அறைக்கு நேரடியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் வேஃபருடன் நேரடி தொடர்பில் உள்ளது. அவை வேஃபரைச் சுமந்து செல்வது மட்டுமல்லாமல், வேஃபர் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான செயல்முறை வெப்பநிலையைப் பெறுவதையும் உறுதி செய்கின்றன. குறைக்கடத்தி மெல்லிய படல படிவு உபகரணங்களில் அவை முக்கிய கூறுகள்!
பீங்கான் ஹீட்டரில் வேஃபரை ஆதரிக்கும் ஒரு பீங்கான் அடித்தளமும், பின்புறத்தில் அதை ஆதரிக்கும் ஒரு உருளை ஆதரவு உடலும் உள்ளன. வெப்பப்படுத்துவதற்கான எதிர்ப்பு உறுப்பு (வெப்பமூட்டும் அடுக்கு) தவிர, பீங்கான் அடித்தளத்தின் உள்ளே அல்லது மேற்பரப்பில் ரேடியோ அதிர்வெண் மின்முனைகளும் (RF அடுக்கு) உள்ளன. விரைவான வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டலை அடைய, பீங்கான் அடித்தளத்தின் தடிமன் மெல்லியதாக இருக்க வேண்டும், ஆனால் மிகவும் மெல்லியதாக இருப்பது விறைப்புத்தன்மையையும் குறைக்கும்.
பீங்கான் ஹீட்டரின் ஆதரவு பொதுவாக அடித்தளத்தைப் போன்ற வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட பீங்கான் பொருட்களால் ஆனது. பிளாஸ்மா மற்றும் அரிக்கும் இரசாயன வாயுக்களின் விளைவுகளிலிருந்து முனையங்கள் மற்றும் கம்பிகளைப் பாதுகாக்க, ஹீட்டர் ஒரு தண்டு கூட்டு அடிப்பகுதியின் தனித்துவமான அமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது. ஹீட்டரின் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்வதற்காக, ஆதரவு வெப்ப பரிமாற்ற வாயு நுழைவாயில் மற்றும் வெளியேற்றக் குழாயுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. அடித்தளமும் ஆதரவும் ஒரு பிணைப்பு அடுக்குடன் வேதியியல் ரீதியாக பிணைக்கப்பட்டுள்ளன.
பீங்கான் ஹீட்டரை அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4) மற்றும் அலுமினா (Al2O3) போன்ற பீங்கான்களால் தயாரிக்கலாம். அவற்றில், பீங்கான் ஹீட்டர்களுக்கு AlN சிறந்த தேர்வாகும். மற்ற பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, VET எனர்ஜியின் AlN பீங்கான் பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:
(1) நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்;
(2) குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் பொருட்களுடன் பொருந்திய வெப்ப விரிவாக்க குணகம்;
(3) நல்ல இயந்திர பண்புகள், சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் விரிவான இயந்திர பண்புகள் பெரிலியம் ஆக்சைடை விட சிறந்தவை மற்றும் அலுமினிய ஆக்சைடுக்கு சமமானவை;
(4) சிறந்த விரிவான மின் பண்புகள், சிறந்த மின் காப்பு மற்றும் குறைந்த மின்கடத்தா இழப்பு;
(5) நச்சுத்தன்மையற்றது மற்றும் சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்தது.
பீங்கான் பொருட்களின் தரவுத் தாள்
| பொருள் | 95% அலுமினா | 99% அலுமினா | சிர்கோனியா | சிலிக்கான் கார்பைடு | சிலிக்கான்Nஇட்ரைடு | அலுமினியம்Nஇட்ரைடு |
| நிறம் | வெள்ளை | வெளிர் மஞ்சள் | வெள்ளை | கருப்பு | கருப்பு | சாம்பல் |
| அடர்த்தி (கிராம்/செ.மீ3) | 3.7 கிராம்/செ.மீ3 | 3.9 கிராம்/செ.மீ3 | 6.02கிராம்/செ.மீ3 | 3.2கிராம்/செ.மீ3 | 3.25 கிராம்/செ.மீ3 | 3.2கிராம்/செ.மீ3 |
| நீர் உறிஞ்சுதல் | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| கடினத்தன்மை (HV) | 23.7 (ஆங்கிலம்) | 23.7 (ஆங்கிலம்) | 16.5 தமிழ் | 33 | 20 | - |
| நெகிழ்வு வலிமை (MPa) | 300எம்பிஏ | 400எம்பிஏ | 1100எம்பிஏ | 450எம்பிஏ | 800எம்பிஏ | 310எம்பிஏ |
| அமுக்க வலிமை (MPa) | 2500எம்பிஏ | 2800எம்பிஏ | 3600எம்பிஏ | 2000எம்பிஏ | 2600எம்பிஏ | - |
| யங்கின் நெகிழ்ச்சித்தன்மை மாடுலஸ் | 300ஜிபிஏ | 300ஜிபிஏ | 320ஜிபிஏ | 450ஜிபிஏ | 290ஜிபிஏ | 310~350ஜிபிஏ |
| பாய்சன் விகிதம் | 0.23 (0.23) | 0.23 (0.23) | 0.25 (0.25) | 0.14 (0.14) | 0.24 (0.24) | 0.24 (0.24) |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | 20W/மீ°C | 32W/மீ°C | 3W/மீ°C | 50W/மீ°C | 25W/மீ°C | 150W/மீ°C |
| மின்கடத்தா வலிமை | 14KV/மிமீ | 14KV/மிமீ | 14KV/மிமீ | 14KV/மிமீ | 14KV/மிமீ | 14KV/மிமீ |
| தொகுதி எதிர்ப்பு (25℃) | >1014Ω·செ.மீ. | >1014Ω·செ.மீ. | >1014Ω·செ.மீ. | >105Ω·செ.மீ. | >1014Ω·செ.மீ. | >1014Ω·செ.மீ. |
VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்நிலை மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் சிகிச்சையில் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர். இந்த தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகம் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வருகிறது, உங்களுக்காக அதிக தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
VET எரிசக்தி நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணி வகிக்கும் தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டி விலை & விரைவான விநியோக நேரம்;
• உலகளவில் பல தொழில் கூட்டாண்மைகள்;
எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை எந்த நேரத்திலும் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்!
-
குறைக்கடத்தி அலுமினா மட்பாண்டங்கள் காப்பு உறை
-
குறைக்கடத்தி அலுமினா மட்பாண்டங்கள் வேஃபர் கேரியர்
-
அலுமினா மட்பாண்ட செமிகண்டக்டர் இன்சுலேடிங் கவர்
-
அலுமினா பீங்கான் குறைக்கடத்தி மின்முனை ஸ்லீவ்
-
தனிப்பயன் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும்...
-
புகைப்படத் தொகுப்பில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் சிலுவை...