Keramik Wafer Gyzdyryjy AlN Alýumin Gyzdyryjy Element

Keramik Wafer Gyzdyryjy AlN Alýumin Gyzdyryjy Element
Ýarymgeçirijiler önümçiliginde waferleri dürli proseslerde, mysal üçin, inçe plýonka çökündisi, aşındyrma we ş.m. gaýtadan işlemeli bolýar. Bu ulgamlarda waferleri belli bir temperatura çenli gyzdyrmaly bolýar we temperatura üçin berk talaplar bar, sebäbi temperaturanyň deňligi önümiň hasyllylygyna örän möhüm täsir edýär we gyzdyryjy bölekleriň zerurlygy ýok.

Keramik gyzdyryjyproses kamerasyna gönüden-göni ulanylýar we wafer bilen gönüden-göni aragatnaşykda bolýar. Olar diňe waferi daşamak bilen çäklenmän, eýsem waferiň durnukly we birmeňzeş proses temperaturasyny almagyny hem üpjün edýärler. Olar ýarymgeçiriji inçe plýonka çökündi enjamlarynyň esasy bölekleridir!

Keramiki gyzdyryjy plastinkany goldaýan keramiki esasdan we ony goldaýan arka tarapynda silindrik daýanç göwdeden ybaratdyr. Gyzdyrmak üçin garşylyk elementinden (gyzdyryjy gatlak) başga-da, keramiki esasda ýa-da onuň ýüzünde radioçastotaly elektrodlar (RF gatlagy) bar. Çalt gyzdyrmak we sowatmak üçin keramiki esasda galyňlyk inçe bolmaly, ýöne gaty inçe bolsa berkligi hem peselder.

Keramiki gyzdyryjynyň daýanjy, adatça, termal giňelme koeffisiýenti esasyňky ýaly keramiki materialdan ýasalýar. Gyzdyryjy terminallary we simleri plazma we aşyndyryjy himiki gazlaryň täsirinden goramak üçin şaft birleşmesiniň düýbüniň özboluşly gurluşyny ulanýar. Daýanjyň deň temperaturasyny üpjün etmek üçin daýanjy ýylylyk geçiriji gaz giriş we çykyş turbasy bilen enjamlaşdyrylandyr. Esasy we daýanjy himiki taýdan birikdiriji gatlak bilen birikdirilýär.

Keramiki gyzdyryjy alýumin nitridi (AlN), kremniý nitridi (Si3N4) we alýumin oksidi (Al2O3) ýaly keramikadan ýasalyp bilner. Olaryň arasynda AlN keramiki gyzdyryjylar üçin iň gowy saýlawdyr. Beýleki materiallar bilen deňeşdirilende, VET Energy-niň AlN keramikasy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:
(1) Gowy ýylylyk geçirijiligi;
(2) Ýarymgeçiriji kremniý materiallaryna laýyk gelýän termal giňelme koeffisiýenti;
(3) Gowy mehaniki häsiýetler, ajaýyp aşynma garşylygy we giňişleýin mehaniki häsiýetler berilliý oksidinden has gowy we alýumin oksidine deňdir;
(4) Ajaýyp toplumlaýyn elektrik häsiýetleri, ajaýyp elektrik izolýasiýasy we pes dielektrik ýitgisi;
(5) Zäherli däl we daşky gurşawa zyýansyz.