Keramiki wafli gyzdyryjy AlN Alumina ýyladyş elementi
Ondarymgeçiriji önümçiliginde wafli dürli inçe proseslerde gaýtadan işlenmeli, meselem inçe filmiň çökmegi, efirlemek we ş.m. Bu baglanyşyklarda wafli belli bir temperaturada gyzdyrylmaly we temperatura üçin berk talaplar bar, sebäbi temperaturanyň birmeňzeşligi önümiň öndürijiligine gaty möhüm täsir edýär we ýyladyş bölekleri aýrylmazdyr.
Keramiki gyzdyryjyprosess kamerasyna gönüden-göni ulanylýar we wafli bilen göni aragatnaşykda. Wafli diňe bir götermek bilen çäklenmän, wafli durnukly we birmeňzeş proses temperaturasyna eýe bolmagyny üpjün edýär. Icarymgeçirijiniň inçe film depozit enjamlarynda esasy komponentler!
Keramiki gyzdyryjy, wafli goldaýan keramiki bazany we ony goldaýan arka tarapynda silindr görnüşli goldaw korpusyny öz içine alýar. Heatingyladyş üçin garşylyk elementinden (ýyladyş gatlagyndan) başga-da, keramiki bazanyň içinde ýa-da üstünde radio ýygylykly elektrodlar (RF gatlagy) bar. Çalt ýylatmagy we sowatmagy gazanmak üçin keramiki bazanyň galyňlygy inçe bolmaly, ýöne gaty inçe hem berkligi peselder.
Keramiki gyzdyryjynyň goldawy, esasan bazanyňky ýaly ýylylyk giňelme koeffisiýenti bolan keramiki materialdan ýasalýar. Ateryladyjy terminallary we simleri plazma we poslaýjy himiki gazlaryň täsirinden goramak üçin birleşýän aşaky aşaky özboluşly gurluşy kabul edýär. Goldaw, ýyladyjynyň birmeňzeş temperaturasyny üpjün etmek üçin ýylylyk geçiriji gaz giriş we çykyş turbasy bilen enjamlaşdyrylandyr. Esasy we goldaw himiki taýdan baglanyşyk gatlagy bilen baglanyşdyrylýar.
Keramiki gyzdyryjy alýumin nitrit (AlN), kremniý nitrid (Si3N4) we alýumin (Al2O3) ýaly keramikadan ýasalyp bilner. Şolaryň arasynda AlN keramiki gyzdyryjylar üçin iň gowy saýlawdyr. Beýleki materiallar bilen deňeşdirilende, VET Energy-iň AlN keramikasy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:
(1) Gowy ýylylyk geçirijiligi;
(2) ýarymgeçiriji kremniniň materiallaryna laýyk gelýän ýylylyk giňelme koeffisiýenti;
(3) Gowy mehaniki häsiýetler, ajaýyp aşaga garşylyk we giňişleýin mehaniki häsiýetler berilý oksidinden has gowy we alýumin oksidine deňdir;
(4) Ajaýyp toplumlaýyn elektrik häsiýetleri, ajaýyp elektrik izolýasiýasy we pes dielektrik ýitgisi;
(5) Zäherli däl we ekologiýa taýdan arassa.
Keramiki materiallaryň maglumat sahypasy
| Haryt | 95% uçurym | 99% uçurym | Zirkoniýa | Silikon karbid | SilikonNitride | AlýuminNitride |
| Reňk | ak | Açyk sary | ak | gara | gara | çal |
| Dykyzlygy (g / cm3) | 3.7g / cm3 | 3.9g / cm3 | 6.02g / cm3 | 3.2g / cm3 | 3.25g / cm3 | 3.2g / cm3 |
| Suwuň siňdirilmegi | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Gatylyk (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Fleksural güýç (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Sykyş güýji (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Youngaşlaryň çeýeligi moduly | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310 ~ 350GPa |
| Poissonyň gatnaşygy | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Malylylyk geçirijiligi | 20W / m ° C. | 32W / m ° C. | 3W / m ° C. | 50W / m ° C. | 25W / m ° C. | 150W / m ° C. |
| Dielektrik güýji | 14KV / mm | 14KV / mm | 14KV / mm | 14KV / mm | 14KV / mm | 14KV / mm |
| Sesiň çydamlylygy (25 ℃) | > 1014Ω · sm | > 1014Ω · sm | > 1014Ω · sm | > 105Ω · sm | > 1014Ω · sm | > 1014Ω · sm |
VET Energy, grafit, kremniý karbid, kwars ýaly ýokary derejeli ösen materiallary öndürmäge, şeýle hem SiC örtügi, TaC örtügi, aýna uglerod örtügi, pirolitiki uglerod örtügi we ş.m. önüm öndürijiler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. önümçilige gönükdirilen hünärmen öndüriji.
Tehniki toparymyz içerki gözleg institutlaryndan gelýär, size has professional material çözgütleri berip biler.
HTB energiýa artykmaçlyklary şulary öz içine alýar:
• Öz zawody we hünär barlaghanasy;
• Senagatda öňdebaryjy arassalyk derejesi we hili;
• Bäsdeşlik bahasy we çalt eltiş wagty;
• Bütin dünýäde köp pudaklaýyn hyzmatdaşlyk;
Zawodymyzy we laboratoriýamyzy islän wagtyňyz görmegiňizi hoşal edýäris!
