د سیرامیک ویفر هیټر AlN الومینا تودوخې عنصر
په سیمیکمډکټر تولید کې، ویفرونه باید په مختلفو پروسو کې پروسس شي، لکه د پتلي فلم جمع کول، ایچنګ، او داسې نور. په دې لینکونو کې، ویفرونه باید یو ټاکلي تودوخې ته تودوخه شي، او د تودوخې لپاره سخت اړتیاوې شتون لري، ځکه چې د تودوخې یوشانوالی د محصول په حاصلاتو خورا مهم اغیزه لري، او د تودوخې اجزا لازمي دي.
د سیرامیک ګرمۍپه مستقیم ډول د پروسې چیمبر ته پلي کیږي او د ویفر سره مستقیم تماس کې دي. دوی نه یوازې ویفر لیږدوي، بلکې دا هم ډاډ ورکوي چې ویفر د پروسې یو ثابت او یونیفورم تودوخه ترلاسه کوي. دوی د سیمیکمډکټر پتلي فلم زیرمه کولو تجهیزاتو کې کلیدي برخې دي!
د سیرامیک هیټر کې یو سیرامیک اساس شامل دی چې د ویفر ملاتړ کوي او په شا اړخ کې یو سلنډر ملاتړی بدن چې د هغې ملاتړ کوي. د تودوخې لپاره د مقاومت عنصر (د تودوخې طبقه) سربیره، د سیرامیک اساس دننه یا سطحه کې د راډیو فریکونسي الکترودونه (RF طبقه) هم شتون لري. د ګړندي تودوخې او یخولو ترلاسه کولو لپاره، د سیرامیک اساس ضخامت باید نری وي، مګر ډیر نری به هم سختۍ کمه کړي.
د سیرامیک هیټر ملاتړ عموما د سیرامیک موادو څخه جوړ شوی چې د بیس سره ورته د تودوخې پراختیا کوفیشینټ لري. هیټر د شافټ ګډ ښکته برخه یو ځانګړی جوړښت غوره کوي ترڅو ټرمینلونه او تارونه د پلازما او زنګ وهونکي کیمیاوي ګازونو اغیزو څخه خوندي کړي. ملاتړ د تودوخې لیږد ګاز داخل او وتلو پایپ سره سمبال شوی ترڅو د هیټر یوشان تودوخه ډاډمن کړي. اساس او ملاتړ په کیمیاوي ډول د اړیکې طبقې سره تړلي دي.
د سیرامیک هیټر د سیرامیکونو څخه جوړ کیدی شي لکه المونیم نایټرایډ (AlN)، سیلیکون نایټرایډ (Si3N4)، او ایلومینا (Al2O3). د دوی په منځ کې، AlN د سیرامیک هیټرونو لپاره غوره انتخاب دی. د نورو موادو په پرتله، د VET انرژۍ AlN سیرامیک لاندې ځانګړتیاوې لري:
(۱) ښه حرارتي چالکتیا؛
(۲) د سیمیکمډکټر سیلیکون موادو سره د تودوخې پراختیا ضریب سره سمون خوري؛
(۳) ښه میخانیکي ځانګړتیاوې، د اغوستلو غوره مقاومت، او جامع میخانیکي ځانګړتیاوې د بیریلیم اکسایډ څخه غوره او د المونیم اکسایډ سره مساوي دي؛
(۴) غوره جامع بریښنایی ملکیتونه، غوره بریښنایی موصلیت او ټیټ ډایالټریک زیان؛
(۵) غیر زهري او چاپیریال دوستانه.
د سیرامیک موادو ډیټا شیټ
| توکي | ۹۵٪ الومینا | ۹۹٪ الومینا | زرکونیا | سیلیکون کاربایډ | سیلیکونNایټرایډ | المونیمNایټرایډ |
| رنګ | سپین | روښانه ژیړ | سپین | تور | تور | خړ |
| کثافت (g/cm3) | ۳.۷ ګرامه/سانتي متره | ۳.۹ ګرامه/سانتي متره | ۶.۰۲ ګرامه/سانتي متره | ۳.۲ ګرامه/سانتي متره | ۳.۲۵ ګرامه/سانتي متره | ۳.۲ ګرامه/سانتي متره |
| د اوبو جذب | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| سختوالی (HV) | ۲۳.۷ | ۲۳.۷ | ۱۶.۵ | 33 | 20 | - |
| د انعطاف ځواک (MPa) | ۳۰۰ میګاپکسله | ۴۰۰ میګاپکسله | ۱۱۰۰ میګاپکسله | ۴۵۰ میګاپکسله | ۸۰۰ میګاپکسله | ۳۱۰ میګاپکسله |
| د فشار ځواک (MPa) | ۲۵۰۰ میګاپکسله | ۲۸۰۰ میګاپکسله | ۳۶۰۰ میګاپکسله | ۲۰۰۰ میګاپکسله | ۲۶۰۰ میګاپکسله | - |
| د ځوان د لچک ماډول | ۳۰۰ جي پي اې | ۳۰۰ جي پي اې | ۳۲۰ جي پي اې | ۴۵۰ جي پي اې | ۲۹۰ جي پي اې | ۳۱۰~۳۵۰ جي پي اې |
| د پویسن نسبت | ۰.۲۳ | ۰.۲۳ | ۰.۲۵ | ۰.۱۴ | ۰.۲۴ | ۰.۲۴ |
| د تودوخې چلښت | ۲۰ واټه/مربع سانتي ګراد | ۳۲ واټه/مرته سانتي ګراد | ۳ واټه/مرته سانتي ګراد | ۵۰ واټه/مربع سانتي ګراد | ۲۵ واټه/مرته سانتي ګراد | ۱۵۰ واټه/متر سانتي ګراد |
| ډایالټریک ځواک | ۱۴ کیلو واټه/ملي متره | ۱۴ کیلو واټه/ملي متره | ۱۴ کیلو واټه/ملي متره | ۱۴ کیلو واټه/ملي متره | ۱۴ کیلو واټه/ملي متره | ۱۴ کیلو واټه/ملي متره |
| د حجم مقاومت (25℃) | >۱۰۱۴Ω·سانتي متره | >۱۰۱۴Ω·سانتي متره | >۱۰۱۴Ω·سانتي متره | >۱۰۵Ω·سانتي متره | >۱۰۱۴Ω·سانتي متره | >۱۰۱۴Ω·سانتي متره |
VET Energy یو مسلکي تولیدونکی دی چې د لوړ کیفیت لرونکي پرمختللي موادو لکه ګرافایټ، سیلیکون کاربایډ، کوارټز، او همدارنګه د SiC کوټینګ، TaC کوټینګ، شیشې کاربن کوټینګ، پیرولیټیک کاربن کوټینګ، او داسې نورو په څیر د موادو درملنې باندې تمرکز کوي. دا محصولات په پراخه کچه په فوتوولټیک، سیمیکمډکټر، نوې انرژۍ، فلزاتو او نورو کې کارول کیږي.
زموږ تخنیکي ټیم د لوړ پوړو کورنیو څیړنیزو ادارو څخه راځي، کولی شي ستاسو لپاره ډیر مسلکي مادي حلونه چمتو کړي.
د VET انرژۍ ګټې په لاندې ډول دي:
• خپله فابریکه او مسلکي لابراتوار ولري؛
• د صنعت مخکښ پاکوالي کچه او کیفیت؛
• سیالي قیمت او د سپارلو چټک وخت؛
• په ټوله نړۍ کې ګڼ شمېر صنعتي ملګرتیاوې؛
موږ تاسو ته ښه راغلاست وایو چې هر وخت زموږ فابریکه او لابراتوار وګورئ!
