Ceramiczny element grzejny wafli AlN Glinowy element grzejny

Ceramiczny element grzejny wafli AlN Glinowy element grzejny
W produkcji półprzewodników wafle muszą być przetwarzane w różnych procesach, takich jak osadzanie cienkich warstw, trawienie itp. W tych ogniwach wafle muszą być podgrzewane do określonej temperatury, a wymagania dotyczące temperatury są surowe, ponieważ jednorodność temperatury ma bardzo ważny wpływ na wydajność produktu, a elementy grzewcze są niezbędne.

Grzałka ceramicznajest bezpośrednio nakładany na komorę procesową i ma bezpośredni kontakt z waflem. Nie tylko przenoszą wafel, ale także zapewniają, że wafel uzyskuje stabilną i jednolitą temperaturę procesu. Są kluczowymi komponentami w sprzęcie do osadzania cienkich warstw półprzewodnikowych!

Ceramiczny podgrzewacz obejmuje ceramiczną podstawę, która podtrzymuje wafer, oraz cylindryczny korpus podtrzymujący z tyłu, który go podtrzymuje. Oprócz elementu oporowego (warstwa grzewcza) do ogrzewania, wewnątrz lub na powierzchni ceramicznej podstawy znajdują się również elektrody częstotliwości radiowej (warstwa RF). Aby osiągnąć szybkie nagrzewanie i chłodzenie, grubość ceramicznej podstawy powinna być cienka, ale zbyt cienka również zmniejszy sztywność.

Podpora grzejnika ceramicznego jest zazwyczaj wykonana z materiału ceramicznego o współczynniku rozszerzalności cieplnej podobnym do podstawy. Grzałka przyjmuje unikalną strukturę dolnej części złącza wału, aby chronić zaciski i przewody przed wpływem plazmy i żrących gazów chemicznych. Podpora jest wyposażona w rurę wlotową i wylotową gazu przenoszącego ciepło, aby zapewnić równomierną temperaturę grzejnika. Podstawa i podpora są chemicznie połączone warstwą wiążącą.

Grzałka ceramiczna może być wykonana z ceramiki, takiej jak azotek glinu (AlN), azotek krzemu (Si3N4) i tlenek glinu (Al2O3). Spośród nich AlN jest najlepszym wyborem dla grzałek ceramicznych. W porównaniu z innymi materiałami ceramika AlN firmy VET Energy ma następujące cechy:
(1) Dobra przewodność cieplna;
(2) Dopasowany współczynnik rozszerzalności cieplnej do materiałów półprzewodnikowych z krzemu;
(3) Dobre właściwości mechaniczne, doskonała odporność na zużycie i kompleksowe właściwości mechaniczne są lepsze niż w przypadku tlenku berylu i równoważne z tlenkiem glinu;
(4) Doskonałe właściwości elektryczne, doskonała izolacja elektryczna i niskie straty dielektryczne;
(5) Nietoksyczne i przyjazne dla środowiska.