Керамички грејач вафла AlN грејни елемент од алуминијума

Керамички грејач вафла AlN грејни елемент од алуминијума
У производњи полупроводника, плочице треба обрађивати различитим процесима, као што су наношење танких филмова, нагризање итд. У овим везама, плочице треба загрејати на одређену температуру, а постоје строги захтеви за температуру, јер уједначеност температуре има веома важан утицај на принос производа, а компоненте за грејање су неопходне.

Керамички грејачсе директно наноси на процесну комору и у директном су контакту са плочицом. Они не само да носе плочицу, већ и осигуравају да плочица добије стабилну и уједначену процесну температуру. Они су кључне компоненте у опреми за таложење танких полупроводничких филмова!

Керамички грејач садржи керамичку базу која подржава плочицу и цилиндрично носеће тело на задњој страни које га подржава. Поред отпорног елемента (грејног слоја) за грејање, унутар или на површини керамичке базе налазе се и радиофреквентне електроде (РФ слој). Да би се постигло брзо загревање и хлађење, дебљина керамичке базе треба да буде танка, али превише танка ће такође смањити крутост.

Носач керамичког грејача је генерално направљен од керамичког материјала са коефицијентом термичког ширења сличним оном код основе. Грејач има јединствену структуру доњег дела споја вратила како би заштитио терминале и жице од ефеката плазме и корозивних хемијских гасова. Носач је опремљен улазном и излазном цеви за гас за пренос топлоте како би се осигурала равномерна температура грејача. Основа и носач су хемијски повезани везивним слојем.

Керамички грејач може бити направљен од керамике као што су алуминијум нитрид (AlN), силицијум нитрид (Si3N4) и алуминијум оксид (Al2O3). Међу њима, AlN је најбољи избор за керамичке грејаче. У поређењу са другим материјалима, AlN керамика компаније VET Energy има следеће карактеристике:
(1) Добра топлотна проводљивост;
(2) Усклађени коефицијент термичког ширења са полупроводничким силицијумским материјалима;
(3) Добра механичка својства, одлична отпорност на хабање и свеобухватна механичка својства су боља од берилијум оксида и еквивалентна алуминијум оксиду;
(4) Одлична свеобухватна електрична својства, одлична електрична изолација и ниски диелектрични губици;
(5) Нетоксично и еколошки прихватљиво.