Aquecedor de wafer de cerâmica AlN Elemento de aquecimento de alumina

Aquecedor de wafer de cerâmica AlN Elemento de aquecimento de alumina
Na fabricação de semicondutores, os wafers precisam ser processados ​​em vários processos, como deposição de filme fino, gravação, etc. Nesses links, os wafers precisam ser aquecidos a uma determinada temperatura, e há requisitos rigorosos para a temperatura, porque a uniformidade da temperatura tem um impacto muito importante no rendimento do produto, e os componentes de aquecimento são indispensáveis.

Aquecedor de cerâmicasão aplicados diretamente na câmara de processo e estão em contato direto com o wafer. Eles não apenas transportam o wafer, mas também garantem que ele atinja uma temperatura de processo estável e uniforme. São componentes essenciais em equipamentos de deposição de filmes finos semicondutores!

O aquecedor cerâmico inclui uma base de cerâmica que suporta o wafer e um corpo de suporte cilíndrico na parte traseira que o suporta. Além do elemento de resistência (camada de aquecimento) para aquecimento, também existem eletrodos de radiofrequência (camada de RF) dentro ou na superfície da base de cerâmica. Para obter aquecimento e resfriamento rápidos, a espessura da base de cerâmica deve ser fina, mas uma espessura muito fina também reduzirá a rigidez.

O suporte do aquecedor cerâmico é geralmente feito de material cerâmico com coeficiente de expansão térmica semelhante ao da base. O aquecedor adota uma estrutura exclusiva com fundo articulado para proteger os terminais e fios dos efeitos do plasma e de gases químicos corrosivos. O suporte é equipado com um tubo de entrada e saída de gás de transferência de calor para garantir a uniformidade da temperatura do aquecedor. A base e o suporte são unidos quimicamente por uma camada de ligação.

O aquecedor cerâmico pode ser feito de cerâmicas como nitreto de alumínio (AlN), nitreto de silício (Si3N4) e alumina (Al2O3). Entre elas, o AlN é a melhor escolha para aquecedores cerâmicos. Comparada a outros materiais, a cerâmica AlN da VET Energy apresenta as seguintes características:
(1) Boa condutividade térmica;
(2) Coeficiente de expansão térmica compatível com materiais de silício semicondutores;
(3) Boas propriedades mecânicas, excelente resistência ao desgaste e propriedades mecânicas abrangentes são melhores que o óxido de berílio e equivalentes ao óxido de alumínio;
(4) Excelentes propriedades elétricas abrangentes, excelente isolamento elétrico e baixa perda dielétrica;
(5) Não tóxico e ecológico.