Керамикалык вафли жылыткычы AlN алюминий кычкыл жылытуу элементи

Керамикалык вафли жылыткычы AlN алюминий кычкыл жылытуу элементи
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө пластиналарды ар кандай процесстерде, мисалы, жука пленкаларды чөктүрүү, оюу ж.б. иштетүү керек. Бул звенолордо пластиналарды белгилүү бир температурага чейин ысытуу керек жана температурага катуу талаптар коюлат, анткени температуранын бирдейлиги продуктунун чыгышына абдан маанилүү таасир этет жана ысытуу компоненттери алмаштыргыс.

Керамикалык жылыткычтүздөн-түз процесстик камерага колдонулат жана пластина менен түздөн-түз байланышта болот. Алар пластинаны көтөрүп гана тим болбостон, пластинанын туруктуу жана бирдей процесстик температурага ээ болушун камсыздайт. Алар жарым өткөргүч жука пленка чөктүрүүчү жабдуулардын негизги компоненттери болуп саналат!

Керамикалык жылыткыч пластинаны кармап турган керамикалык негизди жана аны кармап турган арткы бетинде цилиндр формасындагы тирөөч корпусту камтыйт. Жылытуу үчүн каршылык элементинен (жылытуу катмарынан) тышкары, керамикалык негиздин ичинде же бетинде радио жыштык электроддору (RF катмары) да бар. Тез ысытууга жана муздатууга жетүү үчүн, керамикалык негиздин калыңдыгы жука болушу керек, бирок өтө жука болсо, катуулугу да төмөндөйт.

Керамикалык жылыткычтын таянычы, адатта, жылуулук кеңейүү коэффициенти негиздикине окшош керамикалык материалдан жасалат. Жылыткыч терминалдарды жана зымдарды плазманын жана дат басуучу химиялык газдардын таасиринен коргоо үчүн валь муунунун түбүнүн уникалдуу түзүлүшүн колдонот. Жылыткычтын бирдей температурасын камсыз кылуу үчүн таяныч жылуулук өткөрүүчү газдын кирүүчү жана чыгуучу түтүгү менен жабдылган. Негиз жана таяныч химиялык жактан байланыштыруучу катмар менен байланыштырылган.

Керамикалык жылыткыч алюминий нитриди (AlN), кремний нитриди (Si3N4) жана глинозем (Al2O3) сыяктуу керамикадан жасалышы мүмкүн. Алардын ичинен AlN керамикалык жылыткычтар үчүн эң жакшы тандоо болуп саналат. Башка материалдар менен салыштырганда, VET Energy компаниясынын AlN керамикасы төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ:
(1) Жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүгү;
(2) Жарым өткөргүч кремний материалдарына жылуулук кеңейүү коэффициенти дал келген;
(3) Жакшы механикалык касиеттери, эң сонун эскирүүгө туруктуулугу жана комплекстүү механикалык касиеттери бериллий кычкылына караганда жакшыраак жана алюминий кычкылына барабар;
(4) Эң сонун комплекстүү электрдик касиеттери, эң сонун электрдик изоляциясы жана диэлектрикалык жоготуулардын аздыгы;
(5) Уулуу эмес жана экологиялык жактан таза.