Керамикалык Wafer жылыткыч AlN глинозем жылытуу элементи

Керамикалык Wafer жылыткыч AlN глинозем жылытуу элементи
Жарым өткөргүч өндүрүшүндө пластинкаларды ар кандай процесстерде, мисалы, жука пленка коюу, оюу ж.

Керамикалык жылыткычпроцесстик камерага түздөн-түз колдонулат жана пластинка менен түздөн-түз байланышта болот. Алар вафлиди алып жүрүү менен гана чектелбестен, пластина стабилдүү жана бирдей процесс температурасын алууну камсыздайт. Алар жарым өткөргүчтүү жука пленканы түшүрүүчү жабдуулардын негизги компоненттери!

Керамикалык жылыткыч пластинаны колдогон керамикалык негизди жана аны колдогон арткы жагындагы цилиндрдик таянычты камтыйт. Жылытуу үчүн каршылык элементинен (жылытуу катмарынан) тышкары керамикалык негиздин ичинде же бетинде радио жыштык электроддору (RF катмары) дагы бар. Тез жылытууга жана муздатууга жетишүү үчүн керамикалык негиздин калыңдыгы жука болушу керек, бирок өтө ичке да катуулукту азайтат.

Керамикалык жылыткычтын таянычы негизинен базага окшош жылуулук кеңейүү коэффициенти бар керамикалык материалдан жасалат. Жылыткыч терминалдарды жана зымдарды плазманын жана жегич химиялык газдардын таасиринен коргоо үчүн вал биргелешкен түбүнүн уникалдуу түзүлүшүн кабыл алат. Тирөө жылыткычтын бирдей температурасын камсыз кылуу үчүн жылуулук өткөрүүчү газдын кириш жана чыгуучу түтүгү менен жабдылган. Негизги жана таяныч химиялык жактан бириктирүүчү катмар менен бириктирилет.

Керамикалык жылыткыч алюминий нитриди (AlN), кремний нитриди (Si3N4) жана алюминий оксиди (Al2O3) сыяктуу керамикадан жасалышы мүмкүн. Алардын арасында AlN керамикалык жылыткычтар үчүн мыкты тандоо болуп саналат. Башка материалдар менен салыштырганда, VET Energy компаниясынын AlN керамикасы төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ:
(1) жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк;
(2) жарым өткөргүч кремний материалдарына дал келген жылуулук кеңейүү коэффициенти;
(3) Жакшы механикалык касиеттери, сонун эскирүү каршылык, жана комплекстүү механикалык касиеттери бериллий кычкылы жакшыраак жана алюминий кычкылына барабар;
(4) Мыкты комплекстүү электрдик касиеттери, сонун электр изоляциясы жана аз диэлектрдик жоготуу;
(5) уулуу эмес жана экологиялык жактан таза.