सिरेमिक वेफर हीटर AlN एल्युमिना ताप तत्व

सिरेमिक वेफर हीटर AlN एल्युमिना ताप तत्व
अर्धचालक निर्माणमा, वेफरहरूलाई पातलो फिल्म निक्षेपण, एचिंग, आदि जस्ता विभिन्न प्रक्रियाहरूमा प्रशोधन गर्न आवश्यक छ। यी लिङ्कहरूमा, वेफरहरूलाई निश्चित तापक्रममा तताउन आवश्यक छ, र तापक्रमको लागि कडा आवश्यकताहरू छन्, किनभने तापक्रमको एकरूपताले उत्पादन उत्पादनमा धेरै महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ, र तताउने घटकहरू अपरिहार्य छन्।

सिरेमिक हिटरप्रक्रिया कक्षमा सिधै लागू गरिन्छ र वेफरसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कमा हुन्छन्। तिनीहरूले वेफर बोक्ने मात्र होइन, तर वेफरले स्थिर र एकरूप प्रक्रिया तापक्रम प्राप्त गर्छ भनी पनि सुनिश्चित गर्छन्। तिनीहरू अर्धचालक पातलो फिल्म निक्षेपण उपकरणमा प्रमुख घटक हुन्!

सिरेमिक हीटरमा वेफरलाई समर्थन गर्ने सिरेमिक आधार र पछाडिको भागमा बेलनाकार समर्थन शरीर समावेश हुन्छ जसले यसलाई समर्थन गर्दछ। तताउनको लागि प्रतिरोध तत्व (तातो तह) को अतिरिक्त, सिरेमिक आधार भित्र वा सतहमा रेडियो फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोडहरू (RF तह) पनि छन्। द्रुत ताप र शीतलन प्राप्त गर्न, सिरेमिक आधारको मोटाई पातलो हुनुपर्छ, तर धेरै पातलोले पनि कठोरता कम गर्नेछ।

सिरेमिक हीटरको सपोर्ट सामान्यतया सिरेमिक सामग्रीबाट बनेको हुन्छ जसमा बेस जस्तै थर्मल एक्सपेन्सन कोफिसेन्ट हुन्छ। हीटरले प्लाज्मा र संक्षारक रासायनिक ग्यासहरूको प्रभावबाट टर्मिनल र तारहरूलाई जोगाउन शाफ्ट जोइन्ट तल्लो भागको अद्वितीय संरचना अपनाउँछ। हीटरको एकरूप तापक्रम सुनिश्चित गर्न सपोर्टमा ताप स्थानान्तरण ग्यास इनलेट र आउटलेट पाइप जडान गरिएको हुन्छ। आधार र सपोर्ट रासायनिक रूपमा बन्धन तहसँग जोडिएका हुन्छन्।

सिरेमिक हीटर एल्युमिनियम नाइट्राइड (AlN), सिलिकन नाइट्राइड (Si3N4), र एल्युमिना (Al2O3) जस्ता सिरेमिकबाट बनाउन सकिन्छ। ती मध्ये, AlN सिरेमिक हीटरहरूको लागि उत्तम विकल्प हो। अन्य सामग्रीहरूको तुलनामा, VET इनर्जीको AlN सिरेमिकमा निम्न विशेषताहरू छन्:
(१) राम्रो थर्मल चालकता;
(२) अर्धचालक सिलिकन सामग्रीसँग मिल्दो थर्मल विस्तार गुणांक;
(३) राम्रो यान्त्रिक गुणहरू, उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध, र व्यापक यान्त्रिक गुणहरू बेरिलियम अक्साइड भन्दा राम्रो र एल्युमिनियम अक्साइड बराबर छन्;
(४) उत्कृष्ट व्यापक विद्युतीय गुणहरू, उत्कृष्ट विद्युतीय इन्सुलेशन र कम डाइलेक्ट्रिक क्षति;
(५) गैर-विषाक्त र वातावरणमैत्री।