Керамічний нагрівач вафельних пластин AlN Нагрівальний елемент з глинозему

Керамічний нагрівач вафельних пластин AlN Нагрівальний елемент з глинозему
У виробництві напівпровідників пластини необхідно обробляти різними способами, такими як напилення тонких плівок, травлення тощо. У цих процесах пластини необхідно нагрівати до певної температури, і існують суворі вимоги до температури, оскільки рівномірність температури має дуже важливий вплив на вихід продукту, а нагрівальні компоненти є незамінними.

Керамічний обігрівачбезпосередньо наноситься на технологічну камеру та безпосередньо контактує з пластиною. Вони не тільки переносять пластину, але й забезпечують стабільну та рівномірну температуру процесу на пластині. Вони є ключовими компонентами обладнання для нанесення тонких плівок напівпровідників!

Керамічний нагрівач містить керамічну основу, яка підтримує пластину, та циліндричний опорний корпус на задній стороні, який її підтримує. Окрім елемента резистиву (нагрівального шару) для нагрівання, всередині або на поверхні керамічної основи також є радіочастотні електроди (РЧ-шар). Для швидкого нагрівання та охолодження товщина керамічної основи повинна бути тонкою, але занадто тонкий шар також зменшить жорсткість.

Опора керамічного нагрівача зазвичай виготовлена ​​з керамічного матеріалу з коефіцієнтом теплового розширення, подібним до коефіцієнта розширення основи. Нагрівач має унікальну структуру нижньої частини з'єднання вала для захисту клем та проводів від впливу плазми та агресивних хімічних газів. Опора оснащена вхідною та вихідною трубами для теплообмінного газу для забезпечення рівномірної температури нагрівача. Основа та опора хімічно з'єднані сполучним шаром.

Керамічний нагрівач може бути виготовлений з такої кераміки, як нітрид алюмінію (AlN), нітрид кремнію (Si3N4) та оксид алюмінію (Al2O3). Серед них AlN є найкращим вибором для керамічних нагрівачів. Порівняно з іншими матеріалами, кераміка AlN від VET Energy має такі характеристики:
(1) Добра теплопровідність;
(2) Узгоджений коефіцієнт теплового розширення з напівпровідниковими кремнієвими матеріалами;
(3) Хороші механічні властивості, чудова зносостійкість та комплексні механічні властивості кращі, ніж у оксиду берилію, та еквівалентні оксиду алюмінію;
(4) Відмінні комплексні електричні властивості, чудова електроізоляція та низькі діелектричні втрати;
(5) Нетоксичний та екологічно чистий.