Керамик вафли җылыткычы AlN алюминий оксиды җылыту элементы

Керамик вафли җылыткычы AlN алюминий оксиды җылыту элементы
Ярымүткәргечләр җитештерүдә пластиналарны төрле процессларда, мәсәлән, юка пленка урнаштыру, гравюра ясау һ.б. ярдәмендә эшкәртергә кирәк. Бу звеноларда пластиналарны билгеле бер температурага кадәр җылытырга кирәк, һәм температура өчен катгый таләпләр бар, чөнки температураның бердәмлеге продукт чыгышына бик мөһим йогынты ясый, һәм җылыту компонентлары алыштыргысыз.

Керамик җылыткычтурыдан-туры процесс камерасына куела һәм пластина белән турыдан-туры бәйләнештә була. Алар пластинаны гына түгел, ә пластинаның тотрыклы һәм бердәм процесс температурасы алуын да тәэмин итәләр. Алар ярымүткәргеч юка пленка урнаштыру җиһазларының төп компонентлары!

Керамик җылыткыч пластинаны тотып торучы керамик нигездән һәм аны тотып торучы арткы ягында цилиндрик терәк корпусыннан тора. Җылыту өчен каршылык элементыннан (җылыту катламы) тыш, керамик нигез эчендә яки өслегендә радиоешлык электродлары (RF катламы) да бар. Тиз җылыту һәм суыту өчен, керамик нигезнең калынлыгы нечкә булырга тиеш, ләкин артык нечкә булу катылыкны да киметәчәк.

Керамик җылыткычның терәге, гадәттә, нигезгә охшаш җылылык киңәю коэффициенты белән керамик материалдан ясала. Җылыткыч терминалларны һәм чыбыкларны плазма һәм коррозияле химик газлар йогынтысыннан саклау өчен валь тоташтыргыч төбенең уникаль структурасын куллана. Җылыткычның тигез температурасын тәэмин итү өчен терәк җылылык күчерү газы керү һәм чыгу торбасы белән җиһазландырылган. Нигез һәм терәк химик яктан тоташтыручы катлам белән бәйләнгән.

Керамик җылыткыч алюминий нитриды (AlN), кремний нитриды (Si3N4) һәм глинозем (Al2O3) кебек керамикадан ясалырга мөмкин. Алар арасында AlN керамик җылыткычлар өчен иң яхшы сайлау булып тора. Башка материаллар белән чагыштырганда, VET Energy'ның AlN керамикасы түбәндәге үзенчәлекләргә ия:
(1) Яхшы җылылык үткәрүчәнлеге;
(2) Ярымүткәргеч кремний материалларына туры килгән җылылык киңәю коэффициенты;
(3) Яхшы механик үзлекләр, бик яхшы тузуга чыдамлык һәм комплекс механик үзлекләр бериллий оксидыннан яхшырак һәм алюминий оксидына тиң;
(4) Бик яхшы комплекслы электр үзлекләре, бик яхшы электр изоляциясе һәм түбән диэлектрик югалтулар;
(5) Токсик түгел һәм әйләнә-тирә мохиткә зыян китерми.