Керамик вафер җылыткыч AlN Алумина җылыту элементы
Ярымүткәргеч җитештерүдә ваферлар төрле процессларда эшкәртелергә тиеш, мәсәлән, нечкә пленка чүпләү, эфир һ.б. Бу сылтамаларда вафиннарны билгеле бер температурада җылытырга кирәк, һәм температура өчен катгый таләпләр бар, чөнки температураның бердәмлеге продукт җитештерүгә бик мөһим йогынты ясый, һәм җылыту компонентлары алыштыргысыз.
Керамик җылыткычпроцесс палатасына турыдан-туры кулланыла һәм вафер белән туры элемтәдә. Алар ваферны гына йөртмиләр, шулай ук вафинның тотрыклы һәм бердәм процесс температурасын алуын тәэмин итәләр. Алар ярымүткәргеч нечкә пленка җайланмаларының төп компонентлары!
Керамик җылыткычка керамик нигез керә, ваферны яклый һәм арткы ягында цилиндрик таяныч. Heatingылыту өчен каршылык элементына (җылыту катламы) өстәп, керамик нигез эчендә яки өслегендә радио ешлыклы электродлар (RF катламы) бар. Тиз җылыту һәм суытуга ирешү өчен, керамик нигезнең калынлыгы нечкә булырга тиеш, ләкин артык нечкә булу да катгыйлыкны киметәчәк.
Керамик җылыткычның ярдәме, гадәттә, керамик материалдан ясалган, җылылык киңәю коэффициенты нигезгә охшаган. Aterылыткыч терминалларны һәм чыбыкларны плазма һәм коррозив химик газлар тәэсиреннән саклау өчен валның уртак төбенең уникаль структурасын кабул итә. Ярдәм җылыткычның бердәм температурасын тәэмин итү өчен җылылык үткәргеч газ кертү һәм чыгу торбасы белән җиһазландырылган. База һәм терәк химик яктан бәйләү катламы белән бәйләнгән.
Керамик җылыткыч алюминий нитрид (AlN), кремний нитрид (Si3N4), һәм алумина (Al2O3) кебек керамикадан ясалырга мөмкин. Алар арасында, AlN керамик җылыткычлар өчен иң яхшы сайлау. Башка материаллар белән чагыштырганда, VET Energy's AlN керамикасы түбәндәге үзенчәлекләргә ия:
1) яхшы җылылык үткәрүчәнлеге;
2) ярымүткәргеч кремний материалларына туры килгән җылылык киңәйтү коэффициенты;
(3) Яхшы механик үзлекләр, искиткеч киемгә каршы тору, комплекслы механик үзлекләр берилли оксидыннан яхшырак һәм алюминий оксидына тиң;
(4) Искиткеч тулы электр үзлекләре, искиткеч электр изоляциясе һәм аз диэлектрик югалту;
(5) Агулы булмаган һәм экологик яктан чиста.
Керамик материалларның мәгълүматлар таблицасы
| Предмет | 95% Алумина | 99% Алумина | Ircиркония | Кремний карбид | КремнийNitride | АлюминийNitride |
| Төс | белый | Ачык сары | белый | кара | кара | соры |
| Тыгызлыгы (г / см3) | 3.7г / см3 | 3.9г / см3 | 6.02г / см3 | 3.2г / см3 | 3.25г / см3 | 3.2г / см3 |
| Су абсорбциясе | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Каты (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Флексур көч (MPa) | 300МПа | 400МПа | 1100МПа | 450МПа | 800МПа | 310МПа |
| Компрессив көч (MPa) | 2500МПа | 2800МПа | 3600МПа | 2000МПа | 2600МПа | - |
| Эластик модуль | 300ГПа | 300ГПа | 320GPa | 450ГПа | 290ГПа | 310 ~ 350GPa |
| Писсон коэффициенты | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Rылылык үткәрүчәнлеге | 20W / m ° C. | 32W / m ° C. | 3W / m ° C. | 50W / m ° C. | 25W / m ° C. | 150W / m ° C. |
| Диэлектрик көч | 14КВ / мм | 14КВ / мм | 14КВ / мм | 14КВ / мм | 14КВ / мм | 14КВ / мм |
| Күләмнең чыдамлыгы (25 ℃) | > 1014Ω · см | > 1014Ω · см | > 1014Ω · см | > 105Ω · см | > 1014Ω · см | > 1014Ω · см |
VET Energy - фәнни-тикшеренү эшенә һәм графит, кремний карбид, кварц кебек югары дәрәҗәдәге алдынгы материаллар җитештерүгә, шулай ук SiC каплау, TaC каплау, пыяла углерод каплау, пиролитик углерод каплау һ.б. продуктлар фотоволтаик, ярымүткәргеч, яңа энергия, металлургия һ.б.
Безнең техник коллектив иң яхшы эчке тикшеренү институтларыннан килә, сезнең өчен профессиональ материаль чишелешләр тәкъдим итә ала.
ВЭТ энергия өстенлекләренә түбәндәгеләр керә:
• Завод һәм профессиональ лаборатория;
• Сәнәгатьтә алдынгы чисталык дәрәҗәсе һәм сыйфаты;
• Конкуренцияле бәя & Тиз китерү вакыты;
• Бөтен дөнья буенча берничә тармак партнерлыгы;
Сезне заводка һәм лабораториягә теләсә кайсы вакытта карарга чакырабыз!
