ସେରାମିକ୍ ୱେଫର ହିଟର୍ AlN ଆଲୁମିନା ହିଟିଂ ଏଲିମେଣ୍ଟ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ, ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା, ଏଚିଂ ଇତ୍ୟାଦି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ କରିବାକୁ ପଡ଼ିଥାଏ। ଏହି ଲିଙ୍କଗୁଡ଼ିକରେ, ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ତାପମାତ୍ରାରେ ଗରମ କରିବାକୁ ପଡ଼ିଥାଏ, ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ପାଇଁ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି, କାରଣ ତାପମାତ୍ରାର ସମାନତା ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ଉପରେ ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ, ଏବଂ ଗରମ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ।
ସେରାମିକ୍ ହିଟର୍ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରରେ ସିଧାସଳଖ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ ଏବଂ ୱାଫର ସହିତ ସିଧାସଳଖ ସମ୍ପର୍କରେ ରହିଥାଏ। ସେମାନେ କେବଳ ୱାଫରକୁ ବହନ କରନ୍ତି ନାହିଁ, ବରଂ ୱାଫର ଏକ ସ୍ଥିର ଏବଂ ସମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ତାପମାତ୍ରା ପାଆନ୍ତି ତାହା ମଧ୍ୟ ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତି। ସେମାନେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ଉପକରଣରେ ପ୍ରମୁଖ ଉପାଦାନ!
ସିରାମିକ୍ ହିଟର୍ରେ ଏକ ସିରାମିକ୍ ବେସ୍ ଅଛି ଯାହା ୱେଫର୍କୁ ସମର୍ଥନ କରେ ଏବଂ ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଏକ ସିଲିଣ୍ଡ୍ରାଲ୍ ସପୋର୍ଟ ବଡି ଅଛି ଯାହା ଏହାକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। ଗରମ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରତିରୋଧ ଉପାଦାନ (ତାପ ସ୍ତର) ବ୍ୟତୀତ, ସିରାମିକ୍ ବେସ୍ ଭିତରେ କିମ୍ବା ପୃଷ୍ଠରେ ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ (RF ସ୍ତର) ମଧ୍ୟ ଅଛି। ଦ୍ରୁତ ଗରମ ଏବଂ ଶୀତଳତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ, ସିରାମିକ୍ ବେସ୍ର ଘନତା ପତଳା ହେବା ଉଚିତ, କିନ୍ତୁ ଅତ୍ୟଧିକ ପତଳା ହେଲେ ମଧ୍ୟ କଠୋରତା ହ୍ରାସ ପାଇବ।
ସିରାମିକ୍ ହିଟରର ସପୋର୍ଟ ସାଧାରଣତଃ ସିରାମିକ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି ହୋଇଥାଏ ଯାହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ଆଧାର ସହିତ ସମାନ। ହିଟରଟି ପ୍ଲାଜମା ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ ରାସାୟନିକ ଗ୍ୟାସର ପ୍ରଭାବରୁ ଟର୍ମିନାଲ ଏବଂ ତାରଗୁଡ଼ିକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା ପାଇଁ ଏକ ଶାଫ୍ଟ ସନ୍ଧି ତଳର ଏକ ଅନନ୍ୟ ଗଠନ ଗ୍ରହଣ କରେ। ହିଟରର ସମାନ ତାପମାତ୍ରା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସପୋର୍ଟଟି ଏକ ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଗ୍ୟାସ୍ ଇନଲେଟ୍ ଏବଂ ଆଉଟଲେଟ୍ ପାଇପ୍ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ। ଆଧାର ଏବଂ ସପୋର୍ଟ ଏକ ବନ୍ଧନ ସ୍ତର ସହିତ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ବନ୍ଧିତ।
ଏହି ସିରାମିକ୍ ହିଟର୍ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (AlN), ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (Si3N4), ଏବଂ ଆଲୁମିନା (Al2O3) ଭଳି ସିରାମିକ୍ ରୁ ତିଆରି ହୋଇପାରିବ। ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରୁ, AlN ହେଉଛି ସିରାମିକ୍ ହିଟର୍ ପାଇଁ ସର୍ବୋତ୍ତମ ପସନ୍ଦ। ଅନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ତୁଳନାରେ, VET ଏନର୍ଜିର AlN ସେରାମିକ୍ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଗୁଣାବଳୀ ରହିଛି:
(୧) ଭଲ ତାପଜ ପରିବାହୀତା;
(୨) ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ସିଲିକନ୍ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ମେଳ ଖାଉଥିବା;
(୩) ଭଲ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, ଏବଂ ବ୍ୟାପକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ବେରିଲିୟମ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଅପେକ୍ଷା ଭଲ ଏବଂ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସହିତ ସମକକ୍ଷ;
(୪) ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ବ୍ୟାପକ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଗୁଣ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ ଏବଂ କମ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ କ୍ଷତି;
(୫) ବିଷାକ୍ତ ନୁହେଁ ଏବଂ ପରିବେଶ ଅନୁକୂଳ।
ସେରାମିକ୍ ସାମଗ୍ରୀର ଡାଟା ସିଟ୍
| ଆଇଟମ୍ | ୯୫% ଆଲୁମିନା | ୯୯% ଆଲୁମିନା | ଜିରକୋନିଆ | ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ | ସିଲିକନ୍Nଇଟ୍ରିଡ୍ | ଆଲୁମିନିୟମ୍Nଇଟ୍ରିଡ୍ |
| ରଙ୍ଗ | ଧଳା | ହାଲୁକା ହଳଦିଆ | ଧଳା | କଳା | କଳା | ଧୂସର |
| ଘନତା (ଗ୍ରା/ସେମି3) | ୩.୭ ଗ୍ରାମ/ସେମି୩ | ୩.୯ ଗ୍ରାମ/ସେମି୩ | ୬.୦୨ ଗ୍ରାମ/ସେମି୩ | ୩.୨ ଗ୍ରାମ/ସେମି୩ | ୩.୨୫ ଗ୍ରାମ/ସେମି୩ | ୩.୨ ଗ୍ରାମ/ସେମି୩ |
| ଜଳ ଅବଶୋଷଣ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| କଠିନତା (HV) | ୨୩.୭ | ୨୩.୭ | ୧୬.୫ | 33 | 20 | - |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (MPa) | 300MPa | ୪୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୧୧୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୪୫୦ ମେଗାପା | ୮୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୩୧୦ ମେଗାପାଲ୍ପିଏ |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି (MPa) | ୨୫୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୨୮୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୩୬୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୨୦୦୦ଏମ୍ପିଏ | ୨୬୦୦ଏମ୍ପିଏ | - |
| ୟଙ୍ଗ୍ଙ୍କ ସ୍ଥିତିସ୍ଥାପକତା ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | 300GPa | 300GPa | ୩୨୦ଜିପିଏ | ୪୫୦ଜିପିଏ | ୨୯୦ଜିପିଏ | ୩୧୦~୩୫୦ଜିପିଏ |
| ପୋଇସନଙ୍କ ଅନୁପାତ | ୦.୨୩ | ୦.୨୩ | ୦.୨୫ | ୦.୧୪ | ୦.୨୪ | ୦.୨୪ |
| ତାପଜ ପରିବାହିତା | ୨୦ୱାଟ/ମି°ସେ. | ୩୨ୱାଟ୍/ମି°ସେ. | 3ୱାଟ୍/ମି°ସେ. | ୫୦ୱାଟ/ମି°ସେ. | ୨୫ୱାଟ୍/ମି°ସେ. | ୧୫୦ୱାଟ/ମି°ସେ. |
| ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି | ୧୪କେଭି/ମିମି | ୧୪କେଭି/ମିମି | ୧୪କେଭି/ମିମି | ୧୪କେଭି/ମିମି | ୧୪କେଭି/ମିମି | ୧୪କେଭି/ମିମି |
| ଭଲ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରତିରୋଧିତା (25℃) | >୧୦୧୪Ω·ସେମି | >୧୦୧୪Ω·ସେମି | >୧୦୧୪Ω·ସେମି | >୧୦୫Ω·ସେମି | >୧୦୧୪Ω·ସେମି | >୧୦୧୪Ω·ସେମି |
VET Energy ହେଉଛି ଏକ ବୃତ୍ତିଗତ ନିର୍ମାତା ଯାହା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଭଳି ଉଚ୍ଚମାନର ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀର ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ, ଏବଂ SiC ଆବରଣ, TaC ଆବରଣ, ଗ୍ଲାସି କାର୍ବନ ଆବରଣ, ପାଇରୋଲାଇଟିକ୍ କାର୍ବନ ଆବରଣ, ଇତ୍ୟାଦି ସାମଗ୍ରୀ ଚିକିତ୍ସା ଉପରେ ମଧ୍ୟ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ। ଏହି ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ନୂତନ ଶକ୍ତି, ଧାତୁ ବିଜ୍ଞାନ ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଆମର ବୈଷୟିକ ଦଳ ଶ୍ରେଷ୍ଠ ଘରୋଇ ଗବେଷଣା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନରୁ ଆସିଛନ୍ତି, ଆପଣଙ୍କ ପାଇଁ ଅଧିକ ବୃତ୍ତିଗତ ସାମଗ୍ରୀ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବେ।
VET ଶକ୍ତିର ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
• ନିଜସ୍ୱ କାରଖାନା ଏବଂ ବୃତ୍ତିଗତ ପରୀକ୍ଷାଗାର;
• ଶିଳ୍ପ-ଅଗ୍ରଣୀ ଶୁଦ୍ଧତା ସ୍ତର ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା;
• ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକ ମୂଲ୍ୟ ଏବଂ ଦ୍ରୁତ ବିତରଣ ସମୟ;
• ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ବହୁବିଧ ଶିଳ୍ପ ସହଭାଗୀତା;
ଯେକୌଣସି ସମୟରେ ଆମର କାରଖାନା ଏବଂ ପରୀକ୍ଷାଗାର ଦେଖିବାକୁ ଆପଣଙ୍କୁ ସ୍ୱାଗତ କରୁଛୁ!
