Κεραμικό θερμαντικό στοιχείο αλουμίνας AlN με θερμαντικό στοιχείο

Κεραμικό θερμαντικό στοιχείο αλουμίνας AlN με θερμαντικό στοιχείο
Στην κατασκευή ημιαγωγών, οι πλακέτες πρέπει να υποβάλλονται σε επεξεργασία με διάφορες διεργασίες, όπως εναπόθεση λεπτής μεμβράνης, χάραξη κ.λπ. Σε αυτούς τους συνδέσμους, οι πλακέτες πρέπει να θερμαίνονται σε μια ορισμένη θερμοκρασία και υπάρχουν αυστηρές απαιτήσεις για τη θερμοκρασία, επειδή η ομοιομορφία της θερμοκρασίας έχει πολύ σημαντικό αντίκτυπο στην απόδοση του προϊόντος και τα θερμαντικά εξαρτήματα είναι απαραίτητα.

Κεραμική θερμάστραεφαρμόζεται απευθείας στον θάλαμο διεργασίας και βρίσκεται σε άμεση επαφή με την πλακέτα. Δεν μεταφέρουν μόνο την πλακέτα, αλλά διασφαλίζουν επίσης ότι η πλακέτα επιτυγχάνει σταθερή και ομοιόμορφη θερμοκρασία διεργασίας. Είναι βασικά εξαρτήματα στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών υμενίων ημιαγωγών!

Ο κεραμικός θερμαντήρας περιλαμβάνει μια κεραμική βάση που στηρίζει το πλακίδιο και ένα κυλινδρικό σώμα στήριξης στην πίσω πλευρά που το στηρίζει. Εκτός από το στοιχείο αντίστασης (στρώμα θέρμανσης) για θέρμανση, υπάρχουν επίσης ηλεκτρόδια ραδιοσυχνοτήτων (στρώμα RF) μέσα ή πάνω στην επιφάνεια της κεραμικής βάσης. Για να επιτευχθεί γρήγορη θέρμανση και ψύξη, το πάχος της κεραμικής βάσης πρέπει να είναι λεπτό, αλλά η πολύ λεπτή πάχος θα μειώσει επίσης την ακαμψία.

Η βάση του κεραμικού θερμαντήρα είναι γενικά κατασκευασμένη από κεραμικό υλικό με συντελεστή θερμικής διαστολής παρόμοιο με αυτόν της βάσης. Ο θερμαντήρας υιοθετεί μια μοναδική δομή κάτω μέρους με σύνδεσμο άξονα για την προστασία των ακροδεκτών και των καλωδίων από τις επιπτώσεις του πλάσματος και των διαβρωτικών χημικών αερίων. Η βάση είναι εξοπλισμένη με σωλήνα εισόδου και εξόδου αερίου μεταφοράς θερμότητας για να διασφαλίζεται ομοιόμορφη θερμοκρασία του θερμαντήρα. Η βάση και το στήριγμα είναι χημικά συνδεδεμένα με ένα στρώμα συγκόλλησης.

Η κεραμική θερμάστρα μπορεί να κατασκευαστεί από κεραμικά όπως νιτρίδιο του αργιλίου (AlN), νιτρίδιο του πυριτίου (Si3N4) και αλουμίνα (Al2O3). Μεταξύ αυτών, το AlN είναι η καλύτερη επιλογή για κεραμικές θερμάστρες. Σε σύγκριση με άλλα υλικά, η κεραμική AlN της VET Energy έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:
(1) Καλή θερμική αγωγιμότητα.
(2) Συντελεστής θερμικής διαστολής προσαρμοσμένος σε υλικά ημιαγωγού πυριτίου.
(3) Οι καλές μηχανικές ιδιότητες, η εξαιρετική αντοχή στη φθορά και οι ολοκληρωμένες μηχανικές ιδιότητες είναι καλύτερες από το οξείδιο του βηρυλλίου και ισοδύναμες με το οξείδιο του αργιλίου.
(4) Εξαιρετικές ολοκληρωμένες ηλεκτρικές ιδιότητες, εξαιρετική ηλεκτρική μόνωση και χαμηλή διηλεκτρική απώλεια.
(5) Μη τοξικό και φιλικό προς το περιβάλλον.