Keraminis vaflinis šildytuvas AlN aliuminio oksido kaitinimo elementas

Keraminis vaflinis šildytuvas AlN aliuminio oksido kaitinimo elementas
Puslaidininkių gamyboje plokštelės turi būti apdorojamos įvairiais procesais, tokiais kaip plonasluoksnis nusodinimas, ėsdinimas ir kt. Šiose jungtyse plokštelės turi būti kaitinamos iki tam tikros temperatūros, o temperatūrai keliami griežti reikalavimai, nes temperatūros vienodumas turi labai didelę įtaką produkto išeigai, o šildymo komponentai yra būtini.

Keraminis šildytuvasyra tiesiogiai uždedami ant proceso kameros ir tiesiogiai liečiasi su plokštele. Jie ne tik laiko plokštelę, bet ir užtikrina, kad plokštelė pasiektų stabilią ir vienodą proceso temperatūrą. Jie yra pagrindiniai puslaidininkinių plonų plėvelių nusodinimo įrangos komponentai!

Keraminį šildytuvą sudaro keraminis pagrindas, laikantis plokštelę, ir cilindrinis atraminis korpusas galinėje pusėje, kuris ją laiko. Be varžos elemento (šildymo sluoksnio), skirto šildymui, keraminio pagrindo viduje arba paviršiuje taip pat yra radijo dažnių elektrodai (RF sluoksnis). Norint greitai įkaitinti ir aušinti, keraminio pagrindo storis turėtų būti plonas, tačiau per plonas sluoksnis taip pat sumažins standumą.

Keraminio šildytuvo atrama paprastai pagaminta iš keraminės medžiagos, kurios šiluminio plėtimosi koeficientas yra panašus į pagrindo. Šildytuvas turi unikalią veleno jungties dugno struktūrą, kad apsaugotų gnybtus ir laidus nuo plazmos ir korozinių cheminių dujų poveikio. Atramoje yra šilumos perdavimo dujų įleidimo ir išleidimo vamzdis, užtikrinantis vienodą šildytuvo temperatūrą. Pagrindas ir atrama yra chemiškai sujungti jungiamuoju sluoksniu.

Keraminis šildytuvas gali būti pagamintas iš tokios keramikos kaip aliuminio nitridas (AlN), silicio nitridas (Si3N4) ir aliuminio oksidas (Al2O3). Iš jų AlN yra geriausias pasirinkimas keraminiams šildytuvams. Palyginti su kitomis medžiagomis, „VET Energy“ AlN keramika pasižymi šiomis savybėmis:
(1) Geras šilumos laidumas;
(2) Atitikimas šiluminio plėtimosi koeficientui, atitinkančiam puslaidininkinių silicio medžiagų šiluminio plėtimosi koeficientą;
(3) Geros mechaninės savybės, puikus atsparumas dilimui ir išsamios mechaninės savybės yra geresnės nei berilio oksido ir lygiavertės aliuminio oksidui;
(4) Puikios išsamios elektrinės savybės, puiki elektros izoliacija ir maži dielektriniai nuostoliai;
(5) Netoksiškas ir ekologiškas.