ʻElemu Pumehana AlN Alumina

ʻElemu Pumehana AlN Alumina
I ka hana semiconductor, pono e hana ʻia nā wafers i nā kaʻina hana like ʻole, e like me ka deposition kiʻiʻoniʻoni lahilahi, etching, etc. I kēia mau loulou, pono e hoʻomehana ʻia nā wafers i kahi mahana, a aia nā koi koʻikoʻi no ka mahana, no ka mea, he koʻikoʻi koʻikoʻi ka like ʻana o ka mahana i ka hopena o ka huahana, a he mea pono ʻole nā ​​mea hoʻomehana.

Mea hoʻomehana seramikapili pono i ke keʻena kaʻina hana a pili pololei me ka wafer. ʻAʻole lākou e lawe wale i ka wafer, akā e hōʻoiaʻiʻo i ka loaʻa ʻana o ka wafer i kahi mahana kaʻina hana paʻa. ʻO lākou nā ʻāpana koʻikoʻi i nā mea hoʻoheheʻe kiʻi ʻoniʻoni semiconductor!

Aia i loko o ka mea ho'omehana seramika kahi kumu ceramic e kāko'o ana i ka wafer a me ke kino kāko'o cylindrical ma ka 'ao'ao hope e kāko'o ana. Ma waho aʻe o ka mea pale (heating layer) no ka hoʻomehana ʻana, aia pū kekahi mau electrodes radio frequency (RF layer) i loko a i ʻole ma ka ʻili o ke kumu seramika. I mea e hoʻokō ai i ka hoʻomehana wikiwiki a me ka hoʻomaha ʻana, pono e lahilahi ka mānoanoa o ke kumu seramika, akā ʻoi aku ka lahilahi e hōʻemi i ka rigidity.

Hana ʻia ke kākoʻo o ka mea hoʻomehana seramika me kahi mea hoʻonui wela e like me ke kumu. Hoʻohana ka mea hoʻomehana i kahi ʻano kūʻokoʻa o kahi shaft hui i lalo e pale i nā hopena a me nā uea mai ka hopena o ka plasma a me nā kinoea kinoea corrosive. Hoʻolako ʻia ke kākoʻo me ka hoʻoneʻe wela kinoea inlet a me ka paipu puka e hōʻoia i ka mahana like ʻole o ka mea wela. Hoʻopili ʻia ke kumu a me ke kākoʻo me kahi papa hoʻopaʻa.

Hiki ke hana ʻia ka mea hoʻomehana seramika e like me ke alumini nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), a me ka alumina (Al2O3). I waena o lākou, ʻo AlN ke koho maikaʻi loa no nā mea hoʻomehana seramika. Hoʻohālikelike ʻia me nā mea ʻē aʻe, ʻo ka VET Energy's AlN ceramic nā hiʻohiʻona penei:
(1) maikaʻi thermal conductivity;
(2) Hoʻohālikelike ʻia ka helu hoʻonui wela me nā mea kilika semiconductor;
(3) ʻOi aku ka maikaʻi o nā waiwai mechanical, maikaʻi ke pale ʻana i ka lole, a ʻoi aku ka maikaʻi o nā waiwai mechanical ma mua o ka beryllium oxide a like me ka alumini oxide;
(4) ʻO nā waiwai uila piha maikaʻi loa, ka insulation uila maikaʻi loa a me ka poho dielectric haʻahaʻa;
(5) ʻAʻohe mea ʻawaʻawa a pili kaiapuni.