Mea Hoʻomehana Wafer Ceramic AlN Alumina Mea Hoʻomehana

Mea Hoʻomehana Wafer Ceramic AlN Alumina Mea Hoʻomehana
I ka hana ʻana o ka semiconductor, pono e hana ʻia nā wafers ma nā kaʻina hana like ʻole, e like me ka waiho ʻana o ka ʻili lahilahi, ka etching, a pēlā aku. I loko o kēia mau loulou, pono e hoʻomehana ʻia nā wafers i kahi mahana, a aia nā koi koʻikoʻi no ka mahana, no ka mea, ʻo ke ʻano like o ka mahana he hopena koʻikoʻi loa ia i ka hua huahana, a he mea nui nā ʻāpana hoʻomehana.

Mea hoʻomehana keramikaua hoʻopili pololei ʻia i ke keʻena hana a pili pono me ka wafer. ʻAʻole lākou e lawe wale i ka wafer, akā e hōʻoiaʻiʻo hoʻi e loaʻa i ka wafer kahi mahana hana paʻa a like. He mau ʻāpana koʻikoʻi lākou i nā lako hana hoʻopaʻa kiʻiʻoniʻoni lahilahi semiconductor!

Hoʻokomo pū ka mea hoʻomehana keramika i kahi kumu keramika e kākoʻo ana i ka wafer a me kahi kino kākoʻo cylindrical ma ka ʻaoʻao hope e kākoʻo ana iā ia. Ma waho aʻe o ka mea kū'ē (papa hoʻomehana) no ka hoʻomehana ʻana, aia pū kekahi mau electrodes alapine lekiō (papa RF) i loko a i ʻole ma luna o ka ʻili o ke kumu keramika. I mea e hoʻokō ai i ka hoʻomehana wikiwiki a me ka hoʻomaʻalili ʻana, pono e lahilahi ka mānoanoa o ke kumu keramika, akā ʻo ka lahilahi loa e hōʻemi pū i ka paʻakikī.

ʻO ke kākoʻo o ka mea hoʻomehana keramika ma ke ʻano maʻamau i hana ʻia me ka mea keramika me kahi coefficient hoʻonui wela e like me ke kumu. Hoʻohana ka mea hoʻomehana i kahi ʻano kūikawā o kahi lalo hui koʻokoʻo e pale i nā kikowaena a me nā uea mai nā hopena o ka plasma a me nā kinoea kemika corrosive. Ua lako ka kākoʻo me kahi paipu komo kinoea hoʻoili wela a me ka paipu puka e hōʻoia i ka mahana like o ka mea hoʻomehana. Hoʻopaʻa ʻia ke kumu a me ke kākoʻo me kahi papa hoʻopaʻa.

Hiki ke hana ʻia ka mea hoʻomehana keramika me nā keramika e like me ka alumini nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), a me ka alumina (Al2O3). I waena o lākou, ʻo AlN ke koho maikaʻi loa no nā mea hoʻomehana keramika. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā mea ʻē aʻe, loaʻa i ka keramika AlN a VET Energy nā ʻano penei:
(1) Hoʻokele wela maikaʻi;
(2) Hoʻohālikelike ʻia ke koina hoʻonui wela i nā mea silicon semiconductor;
(3) ʻOi aku ka maikaʻi o nā waiwai mechanical maikaʻi, ke kūpaʻa ʻana i ka ʻaʻahu maikaʻi loa, a me nā waiwai mechanical piha ma mua o ka beryllium oxide a like me ka alumini oxide;
(4) Nā waiwai uila piha maikaʻi loa, ka insulation uila maikaʻi loa a me ka pohō dielectric haʻahaʻa;
(5) ʻAʻohe mea ʻawahia a pili i ke kaiapuni.