Керамикалық пластиналы қыздырғыш AlN алюминий оксиді қыздыру элементі

Керамикалық пластиналы қыздырғыш AlN алюминий оксиді қыздыру элементі
Жартылай өткізгіштер өндірісінде пластиналарды жұқа қабықшамен тұндыру, ою және т.б. сияқты әртүрлі процестерде өңдеу қажет. Бұл байланыстарда пластиналарды белгілі бір температураға дейін қыздыру қажет, және температураға қатаң талаптар қойылады, себебі температураның біркелкілігі өнімнің өнімділігіне өте маңызды әсер етеді, ал қыздыру компоненттері өте қажет.

Керамикалық жылытқыштікелей өңдеу камерасына қолданылады және пластинамен тікелей жанасады. Олар пластинаны тасымалдап қана қоймай, сонымен қатар пластинаның тұрақты және біркелкі өңдеу температурасын алуын қамтамасыз етеді. Олар жартылай өткізгіш жұқа қабықшалы тұндыру жабдықтарындағы негізгі компоненттер болып табылады!

Керамикалық жылытқыш пластинаны ұстап тұратын керамикалық негізді және оны ұстап тұратын артқы жағында цилиндрлік тірек корпусын қамтиды. Қыздыруға арналған кедергі элементінен (қыздыру қабатынан) басқа, керамикалық негіздің ішінде немесе бетінде радиожиілік электродтары (РЖ қабаты) да бар. Жылдам қыздыру мен салқындатуға қол жеткізу үшін керамикалық негіздің қалыңдығы жұқа болуы керек, бірақ тым жұқа болуы қаттылықты да төмендетеді.

Керамикалық жылытқыштың тірегі, әдетте, негізге ұқсас жылу кеңею коэффициенті бар керамикалық материалдан жасалған. Жылытқыш терминалдар мен сымдарды плазмалық және коррозиялық химиялық газдардың әсерінен қорғау үшін білік қосылыс түбінің бірегей құрылымын қолданады. Тірек жылытқыштың біркелкі температурасын қамтамасыз ету үшін жылу тасымалдағыш газ кірісі мен шығыс құбырымен жабдықталған. Негізі мен тірегі химиялық түрде байланыстырушы қабатпен байланысқан.

Керамикалық жылытқыш алюминий нитриді (AlN), кремний нитриді (Si3N4) және глинозем (Al2O3) сияқты керамикадан жасалуы мүмкін. Олардың ішінде AlN керамикалық жылытқыштар үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Басқа материалдармен салыстырғанда, VET Energy компаниясының AlN керамикасы келесі сипаттамаларға ие:
(1) Жақсы жылу өткізгіштік;
(2) Жартылай өткізгіш кремний материалдарына сәйкес келетін жылу кеңею коэффициенті;
(3) Жақсы механикалық қасиеттер, тамаша тозуға төзімділік және жан-жақты механикалық қасиеттер бериллий оксидінен жақсы және алюминий оксидіне тең;
(4) Керемет кешенді электрлік қасиеттер, тамаша электр оқшаулауы және төмен диэлектрлік шығындар;
(5) Уытты емес және қоршаған ортаға зиянсыз.