Керамикалық вафельді қыздырғыш AlN алюминий тотығы қыздырғыш элемент

Керамикалық вафельді қыздырғыш AlN алюминий тотығы қыздырғыш элемент
Жартылай өткізгішті өндірісте пластиналар әртүрлі процестерде өңделуі керек, мысалы, жұқа қабықшаны тұндыру, оюлау және т.б. Бұл звеноларда пластиналарды белгілі бір температураға дейін қыздыру керек және температураға қатаң талаптар қойылады, өйткені температураның біркелкілігі өнімнің шығымына өте маңызды әсер етеді, ал қыздыруға болатын компоненттер қажет емес.

Керамикалық жылытқыштікелей технологиялық камераға қолданылады және пластинкамен тікелей байланыста болады. Олар вафлиді алып қана қоймайды, сонымен қатар пластинаның тұрақты және біркелкі технологиялық температурасын алуын қамтамасыз етеді. Олар жартылай өткізгішті жұқа пленка тұндыру жабдықтарының негізгі компоненттері болып табылады!

Керамикалық қыздырғыш пластинаны қолдайтын керамикалық негізді және оны қолдайтын артқы жағындағы цилиндрлік тірек корпусын қамтиды. Жылыту үшін қарсылық элементінен (қыздыру қабатынан) басқа, керамикалық негіздің ішінде немесе бетінде де радиожиілік электродтары (RF қабаты) бар. Жылдам қыздыру мен салқындатуға қол жеткізу үшін керамикалық негіздің қалыңдығы жұқа болуы керек, бірақ тым жұқа да қаттылықты азайтады.

Керамикалық жылытқыштың тірегі, әдетте, негіздікіне ұқсас термиялық кеңею коэффициенті бар керамикалық материалдан жасалған. Жылытқыш терминалдар мен сымдарды плазмалық және коррозиялық химиялық газдардың әсерінен қорғау үшін білік буынының түбінің бірегей құрылымын қабылдайды. Жылытқыштың біркелкі температурасын қамтамасыз ету үшін тірек жылу тасымалдағыш газдың кіріс және шығыс құбырымен жабдықталған. Негіз мен тірек байланыстырушы қабатпен химиялық байланысқан.

Керамикалық қыздырғыш алюминий нитриді (AlN), кремний нитриді (Si3N4) және алюминий тотығы (Al2O3) сияқты керамикадан жасалуы мүмкін. Олардың ішінде AlN керамикалық жылытқыштар үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Басқа материалдармен салыстырғанда, VET Energy компаниясының AlN керамикасының келесі сипаттамалары бар:
(1) Жақсы жылу өткізгіштік;
(2) жартылай өткізгішті кремний материалдарына сәйкес келетін термиялық кеңею коэффициенті;
(3) Жақсы механикалық қасиеттер, тамаша тозуға төзімділік және жан-жақты механикалық қасиеттер бериллий оксидінен жақсы және алюминий оксидіне баламалы;
(4) Тамаша жан-жақты электрлік қасиеттер, тамаша электрлік оқшаулау және төмен диэлектрлік шығын;
(5) Уытты емес және экологиялық таза.