Eileamaid teasachaidh AlN Alumina teasadair ceirmeach

Eileamaid teasachaidh AlN Alumina teasadair ceirmeach
Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, feumar wafers a phròiseasadh ann an diofar phròiseasan, leithid tasgadh film tana, gràbhaladh, msaa. Anns na ceanglaichean sin, feumar na wafers a theasachadh gu teòthachd sònraichte, agus tha riatanasan teann ann airson an teòthachd, leis gu bheil buaidh mhòr aig cunbhalachd teòthachd air toradh an toraidh, agus tha co-phàirtean teasachaidh riatanach.

Teasadair ceirmeachair a chur gu dìreach ris an t-seòmar-phròiseis agus tha iad ann an conaltradh dìreach ris an uaif. Chan e a-mhàin gu bheil iad a’ giùlan an uaif, ach bidh iad cuideachd a’ dèanamh cinnteach gu bheil teòthachd pròiseas seasmhach agus èideadh aig an uaif. Tha iad nam prìomh phàirtean ann an uidheamachd tasgadh film tana leth-chonnsachaidh!

Tha bonn ceirmeach aig an teasadair ceirmeach a tha a’ toirt taic don wafer agus corp taice siolandair air a’ chùl a tha ga chumail suas. A bharrachd air an eileamaid strì (còmhdach teasachaidh) airson teasachadh, tha electrodan tricead rèidio (còmhdach RF) ann cuideachd taobh a-staigh no air uachdar a’ bhunait ceirmeach. Gus teasachadh is fuarachadh luath a choileanadh, bu chòir tiugh a’ bhunait ceirmeach a bhith tana, ach lughdaichidh ro thana an cruas cuideachd.

Mar as trice, tha taic an teasadair ceirmeag air a dhèanamh de stuth ceirmeag le co-èifeachd leudachaidh teirmeach coltach ri co-èifeachd a’ bhunait. Bidh an teasadair a’ gabhail ri structar sònraichte de bhonn co-cheangailte shailean gus na cinn-uidhe agus na uèirichean a dhìon bho bhuaidhean plasma agus gasaichean ceimigeach creimneach. Tha pìob inntrigidh is toraidh gas gluasaid teas air an taic gus dèanamh cinnteach à teòthachd èideadh an teasadair. Tha am bonn agus an taic ceangailte gu ceimigeach le còmhdach ceangail.

Faodar an teasadair ceirmeag a dhèanamh de cheirmeag leithid alùmanum nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), agus alumina (Al2O3). Nam measg, is e AlN an roghainn as fheàrr airson teasadairean ceirmeag. An coimeas ri stuthan eile, tha na feartan a leanas aig ceirmeag AlN VET Energy:
(1) Deagh ghiùlan teirmeach;
(2) Co-èifeachd leudachaidh teirmeach co-ionnan ri stuthan silicon leth-chonnsachaidh;
(3) Tha deagh fheartan meacanaigeach, strì an aghaidh caitheamh sàr-mhath, agus feartan meacanaigeach coileanta nas fheàrr na beryllium oxide agus co-ionann ri alùmanum oxide;
(4) Feartan dealain coileanta sàr-mhath, insulation dealain sàr-mhath agus call dielectric ìosal;
(5) Gun phuinnseanta agus càirdeil don àrainneachd.