Keramički grijač oblatne AlN aluminijev grijaći element

Keramički grijač oblatne AlN aluminijev grijaći element
U proizvodnji poluvodiča, pločice se moraju obrađivati ​​raznim procesima, kao što su taloženje tankih filmova, jetkanje itd. U tim vezama, pločice se moraju zagrijati na određenu temperaturu, a postoje strogi zahtjevi za temperaturu, jer ujednačenost temperature ima vrlo važan utjecaj na prinos proizvoda, a komponente za grijanje su nezamjenjive.

Keramički grijačizravno se nanosi na procesnu komoru i u izravnom je kontaktu s pločicom. Oni ne samo da nose pločicu, već i osiguravaju da pločica postigne stabilnu i ujednačenu procesnu temperaturu. Oni su ključne komponente u opremi za taloženje tankih filmova poluvodiča!

Keramički grijač uključuje keramičku bazu koja podupire pločicu i cilindrično potporno tijelo na stražnjoj strani koje ga podupire. Osim otpornog elementa (sloja za grijanje) za grijanje, unutar ili na površini keramičke baze nalaze se i radiofrekventne elektrode (RF sloj). Kako bi se postiglo brzo zagrijavanje i hlađenje, debljina keramičke baze treba biti tanka, ali pretanka će također smanjiti krutost.

Nosač keramičkog grijača općenito je izrađen od keramičkog materijala s koeficijentom toplinskog širenja sličnim onome baze. Grijač ima jedinstvenu strukturu donjeg spoja osovine kako bi zaštitio terminale i žice od utjecaja plazme i korozivnih kemijskih plinova. Nosač je opremljen ulaznom i izlaznom cijevi za plin za prijenos topline kako bi se osigurala ujednačena temperatura grijača. Baza i nosač kemijski su spojeni vezivnim slojem.

Keramički grijač može biti izrađen od keramike kao što su aluminijev nitrid (AlN), silicijev nitrid (Si3N4) i aluminijev oksid (Al2O3). Među njima, AlN je najbolji izbor za keramičke grijače. U usporedbi s drugim materijalima, AlN keramika tvrtke VET Energy ima sljedeće karakteristike:
(1) Dobra toplinska vodljivost;
(2) Koeficijent toplinskog širenja usklađen s poluvodičkim silicijskim materijalima;
(3) Dobra mehanička svojstva, izvrsna otpornost na habanje i sveobuhvatna mehanička svojstva bolja su od berilijevog oksida i ekvivalentna aluminijevom oksidu;
(4) Izvrsna sveobuhvatna električna svojstva, izvrsna električna izolacija i niski dielektrični gubici;
(5) Netoksično i ekološki prihvatljivo.