კერამიკული ვაფლის გამათბობელი AlN ალუმინის გამათბობელი ელემენტი

კერამიკული ვაფლის გამათბობელი AlN ალუმინის გამათბობელი ელემენტი
ნახევარგამტარების წარმოებაში, ვაფლები სხვადასხვა პროცესით უნდა დამუშავდეს, როგორიცაა თხელი ფენის დეპონირება, გრავირება და ა.შ. ამ რგოლებში, ვაფლები გარკვეულ ტემპერატურამდე უნდა გაცხელდეს და ტემპერატურის მიმართ მკაცრი მოთხოვნები არსებობს, რადგან ტემპერატურის ერთგვაროვნებას ძალიან მნიშვნელოვანი გავლენა აქვს პროდუქტის მოსავლიანობაზე და გათბობის კომპონენტები შეუცვლელია.

კერამიკული გამათბობელიპირდაპირ გამოიყენება დამუშავების კამერაში და პირდაპირ კონტაქტშია ვაფლთან. ისინი არა მხოლოდ ატარებენ ვაფლს, არამედ უზრუნველყოფენ, რომ ვაფლმა მიიღოს სტაბილური და ერთგვაროვანი დამუშავების ტემპერატურა. ისინი ნახევარგამტარული თხელი ფირის დეპონირების მოწყობილობის ძირითადი კომპონენტებია!

კერამიკული გამათბობელი მოიცავს კერამიკულ ფუძეს, რომელიც ამაგრებს ვაფლს და უკანა მხარეს ცილინდრულ საყრდენ კორპუსს, რომელიც მას ამაგრებს. გათბობისთვის განკუთვნილი წინააღმდეგობის ელემენტის (გამათბობელი ფენის) გარდა, კერამიკული ფუძის შიგნით ან ზედაპირზე ასევე არის რადიოსიხშირული ელექტროდები (RF ფენა). სწრაფი გაცხელებისა და გაგრილებისთვის, კერამიკული ფუძის სისქე თხელი უნდა იყოს, თუმცა ძალიან თხელი ფენა ასევე შეამცირებს მის სიმყარეს.

კერამიკული გამათბობლის საყრდენი, როგორც წესი, დამზადებულია კერამიკული მასალისგან, რომლის თერმული გაფართოების კოეფიციენტი ფუძის მსგავსია. გამათბობელს აქვს ლილვის შეერთების ფსკერის უნიკალური სტრუქტურა, რათა დაიცვას ტერმინალები და მავთულები პლაზმისა და კოროზიული ქიმიური აირების ზემოქმედებისგან. საყრდენი აღჭურვილია სითბოს გადამცემი გაზის შესასვლელი და გამოსასვლელი მილით, რათა უზრუნველყოს გამათბობლის ერთგვაროვანი ტემპერატურა. ძირი და საყრდენი ქიმიურად არის შეერთებული შემაკავშირებელი ფენით.

კერამიკული გამათბობლის დამზადება შესაძლებელია ისეთი კერამიკისგან, როგორიცაა ალუმინის ნიტრიდი (AlN), სილიციუმის ნიტრიდი (Si3N4) და ალუმინის ოქსიდი (Al2O3). მათ შორის, AlN საუკეთესო არჩევანია კერამიკული გამათბობლებისთვის. სხვა მასალებთან შედარებით, VET Energy-ის AlN კერამიკას აქვს შემდეგი მახასიათებლები:
(1) კარგი თბოგამტარობა;
(2) ნახევარგამტარული სილიციუმის მასალების შესაბამისი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი;
(3) კარგი მექანიკური თვისებები, შესანიშნავი ცვეთისადმი მდგრადობა და ყოვლისმომცველი მექანიკური თვისებები უკეთესია, ვიდრე ბერილიუმის ოქსიდი და ექვივალენტურია ალუმინის ოქსიდისა;
(4) შესანიშნავი ყოვლისმომცველი ელექტრული თვისებები, შესანიშნავი ელექტროიზოლაცია და დაბალი დიელექტრული დანაკარგი;
(5) არატოქსიკური და ეკოლოგიურად სუფთა.