Zeramikazko oblea berogailua AlN alumina berogailu elementua

Zeramikazko oblea berogailua AlN alumina berogailu elementua
Erdieroaleen fabrikazioan, obleak hainbat prozesutan prozesatu behar dira, hala nola, film meheen deposizioan, grabatzean, etab. Lotura hauetan, obleak tenperatura jakin batera berotu behar dira, eta tenperaturari buruzko baldintza zorrotzak daude, tenperaturaren uniformetasunak eragin handia baitu produktuaren errendimenduan, eta berogailu osagaiak ezinbestekoak dira.

Zeramikazko berogailuazuzenean prozesu-ganberan aplikatzen da eta oblearekin kontaktu zuzenean daude. Ez dute oblea bakarrik eramaten, baizik eta obleak prozesu-tenperatura egonkor eta uniformea ​​lortzen duela ziurtatzen dute. Erdieroaleen film meheen deposizio-ekipoen osagai nagusiak dira!

Zeramikazko berogailuak oblea eusten duen zeramikazko oinarri bat eta atzealdean euskarri zilindriko bat ditu. Berotzeko erresistentzia elementuaz (berotze geruza) gain, irrati-maiztasuneko elektrodoak (RF geruza) ere badaude zeramikazko oinarriaren barruan edo gainazalean. Berotze eta hozte azkarra lortzeko, zeramikazko oinarriaren lodiera mehea izan behar da, baina meheegiak zurruntasuna ere murriztuko du.

Zeramikazko berogailuaren euskarria, oro har, oinarriaren antzeko hedapen termiko koefizientea duen zeramikazko materialez egina dago. Berogailuak ardatz-juntura baten beheko egitura berezia hartzen du terminalak eta kableak plasmaren eta korrosibo diren gas kimikoen eraginetatik babesteko. Euskarriak bero-transferentzia gasaren sarrera eta irteera hodi bat du, berogailuaren tenperatura uniformea ​​bermatzeko. Oinarria eta euskarria lotura-geruza batekin lotuta daude kimikoki.

Zeramikazko berogailua zeramikaz egin daiteke, hala nola aluminio nitruroa (AlN), silizio nitruroa (Si3N4) eta alumina (Al2O3). Horien artean, AlN da zeramikazko berogailuetarako aukerarik onena. Beste material batzuekin alderatuta, VET Energy-ren AlN zeramikak ezaugarri hauek ditu:
(1) Eroankortasun termiko ona;
(2) Siliziozko material erdieroaleekin bat datorren hedapen termikoaren koefizientea;
(3) Ezaugarri mekaniko onak, higadura-erresistentzia bikaina eta propietate mekaniko integralak berilio oxidoa baino hobeak eta aluminio oxidoaren baliokideak dira;
(4) Ezaugarri elektriko integral bikainak, isolamendu elektriko bikaina eta galera dielektriko txikia;
(5) Ez-toxikoa eta ingurumena errespetatzen duena.