Element ta' Tisħin tal-Wafer taċ-Ċeramika AlN Alumina

Element ta' Tisħin tal-Wafer taċ-Ċeramika AlN Alumina
Fil-manifattura tas-semikondutturi, il-wejfers jeħtieġ li jiġu pproċessati f'diversi proċessi, bħad-depożizzjoni ta' film irqiq, l-inċiżjoni, eċċ. F'dawn il-konnessjonijiet, il-wejfers jeħtieġ li jissaħħnu għal ċerta temperatura, u hemm rekwiżiti stretti għat-temperatura, minħabba li l-uniformità tat-temperatura għandha impatt importanti ħafna fuq ir-rendiment tal-prodott, u l-komponenti tat-tisħin huma indispensabbli.

Ħiter taċ-ċeramikajiġi applikat direttament mal-kompartiment tal-proċess u jkun f'kuntatt dirett mal-wejfer. Mhux biss iġorru l-wejfer, iżda jiżguraw ukoll li l-wejfer jikseb temperatura tal-proċess stabbli u uniformi. Huma komponenti ewlenin fit-tagħmir tad-depożizzjoni ta' film irqiq tas-semikondutturi!

Il-ħiter taċ-ċeramika jinkludi bażi taċ-ċeramika li ssostni l-wejfer u korp ta' appoġġ ċilindriku fuq in-naħa ta' wara li jsostnih. Minbarra l-element ta' reżistenza (saff tat-tisħin) għat-tisħin, hemm ukoll elettrodi tal-frekwenza tar-radju (saff RF) ġewwa jew fuq il-wiċċ tal-bażi taċ-ċeramika. Sabiex jinkiseb tisħin u tkessiħ rapidu, il-ħxuna tal-bażi taċ-ċeramika għandha tkun irqiqa, iżda jekk tkun irqiqa wisq, dan inaqqas ukoll ir-riġidità.

L-appoġġ tal-ħiter taċ-ċeramika ġeneralment ikun magħmul minn materjal taċ-ċeramika b'koeffiċjent ta' espansjoni termali simili għal dak tal-bażi. Il-ħiter jadotta struttura unika ta' qiegħ ta' ġonta tax-xaft biex jipproteġi t-terminals u l-wajers mill-effetti tal-plażma u gassijiet kimiċi korrużivi. L-appoġġ huwa mgħammar b'pajp tad-dħul u tal-ħruġ tal-gass tat-trasferiment tas-sħana biex jiżgura temperatura uniformi tal-ħiter. Il-bażi u l-appoġġ huma magħqudin kimikament b'saff ta' twaħħil.

Il-ħiter taċ-ċeramika jista' jkun magħmul minn ċeramika bħal nitrid tal-aluminju (AlN), nitrid tas-silikon (Si3N4), u alumina (Al2O3). Fost dawn, AlN huwa l-aħjar għażla għal ħiters taċ-ċeramika. Meta mqabbel ma' materjali oħra, iċ-ċeramika AlN ta' VET Energy għandha l-karatteristiċi li ġejjin:
(1) Konduttività termali tajba;
(2) Koeffiċjent ta' espansjoni termali mqabbel ma' materjali tas-silikon semikondutturi;
(3) Proprjetajiet mekkaniċi tajbin, reżistenza eċċellenti għall-użu, u proprjetajiet mekkaniċi komprensivi huma aħjar mill-ossidu tal-berillju u ekwivalenti għall-ossidu tal-aluminju;
(4) Proprjetajiet elettriċi komprensivi eċċellenti, insulazzjoni elettrika eċċellenti u telf dielettriku baxx;
(5) Mhux tossiku u ma jagħmilx ħsara lill-ambjent.