Keramyske waferferwaarmer AlN aluminiumoxide ferwaarmingselement
Yn 'e produksje fan healgeleiders moatte wafers ferwurke wurde yn ferskate prosessen, lykas tinne-filmôfsetting, etsen, ensfh. Yn dizze keppelings moatte de wafers ferwaarme wurde ta in bepaalde temperatuer, en d'r binne strange easken foar de temperatuer, om't de uniformiteit fan temperatuer in heul wichtige ynfloed hat op 'e produktopbringst, en ferwaarmingskomponinten binne ûnmisber.
Keramyske kachelwurdt direkt tapast op 'e proseskeamer en binne yn direkt kontakt mei de wafer. Se drage net allinich de wafer, mar soargje der ek foar dat de wafer in stabile en unifoarme prosestemperatuer krijt. Se binne wichtige komponinten yn apparatuer foar tinne filmôfsetting fan healgeleiders!
De keramyske ferwaarmingsplaat omfettet in keramyske basis dy't de wafer stipet en in silindrysk stipelichem oan 'e efterkant dat it stipet. Neist it wjerstânselemint (ferwaarmingslaach) foar ferwaarming binne d'r ek radiofrekwinsje-elektroden (RF-laach) binnen of op it oerflak fan 'e keramyske basis. Om rappe ferwaarming en koeling te berikken, moat de dikte fan 'e keramyske basis tin wêze, mar te tin sil ek de styfheid ferminderje.
De stipe fan 'e keramyske kachel is oer it algemien makke fan keramysk materiaal mei in termyske útwreidingskoëffisjint dy't fergelykber is mei dy fan 'e basis. De kachel hat in unike struktuer fan in ûnderkant fan in asferbining om de terminals en triedden te beskermjen tsjin 'e effekten fan plasma en korrosive gemyske gassen. De stipe is foarsjoen fan in yn- en útlaatpiip foar waarmte-oerdrachtgas om in unifoarme temperatuer fan 'e kachel te garandearjen. De basis en de stipe binne gemysk ferbûn mei in bondinglaach.
De keramyske kachel kin makke wurde fan keramyk lykas aluminiumnitride (AlN), silisiumnitride (Si3N4) en alumina (Al2O3). Under harren is AlN de bêste kar foar keramyske kachels. Yn ferliking mei oare materialen hat it AlN-keramyk fan VET Energy de folgjende skaaimerken:
(1) Goede termyske geliedingsfermogen;
(2) Oanpaste termyske útwreidingskoëffisjint oan healgeleider silisiummaterialen;
(3) Goede meganyske eigenskippen, poerbêste wearbestindigens, en wiidweidige meganyske eigenskippen binne better as berylliumokside en lykweardich oan aluminiumokside;
(4) Uitstekende wiidweidige elektryske eigenskippen, poerbêste elektryske isolaasje en leech diëlektrysk ferlies;
(5) Net-giftich en miljeufreonlik.
Gegevensblêd fan keramyske materialen
| Ûnderdiel | 95% aluminiumoxide | 99% aluminiumoxide | Zirkonia | Silisiumkarbid | SilisiumNitride | AluminiumNitride |
| Kleur | wyt | Ljochtgiel | wyt | swart | swart | griis |
| Dichtheid (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Wetteropname | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hurdens (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Bûgingssterkte (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Kompresjesterkte (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Young's Modulus fan Elastisiteit | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Poisson-ferhâlding | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Termyske geliedingsfermogen | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Diëlektryske sterkte | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Folume-resistinsje (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy is in profesjonele fabrikant dy't him rjochtet op R&D en produksje fan high-end avansearre materialen lykas grafyt, silisiumkarbid, kwarts, en ek materiaalbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzige koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh. De produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche enerzjy, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.
Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.
Foardielen fan VET Energy omfetsje:
• Eigen fabryk en profesjoneel laboratoarium;
• Yndustryliedende suverheidsnivo's en kwaliteit;
• Kompetitive priis & Snelle levertiid;
• Meardere yndustrypartnerskippen wrâldwiid;
Wy ferwolkomje jo om ús fabryk en laboratoarium op elk momint te besykjen!
