عنصر تسخين رقائق السيراميك المصنوع من الألومينا AlN
في صناعة أشباه الموصلات، يجب معالجة الرقائق في عمليات مختلفة، مثل ترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر، وما إلى ذلك. في هذه المراحل، يجب تسخين الرقائق إلى درجة حرارة معينة، وهناك متطلبات صارمة لدرجة الحرارة، لأن توحيد درجة الحرارة له تأثير كبير على إنتاجية المنتج، ومكونات التسخين لا غنى عنها.
سخان سيراميكيتُطبّق هذه المكونات مباشرةً على حجرة المعالجة، وتكون على اتصال مباشر بالرقاقة. فهي لا تحمل الرقاقة فحسب، بل تضمن أيضًا حصولها على درجة حرارة معالجة ثابتة وموحدة. إنها مكونات أساسية في معدات ترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات!
يتضمن السخان الخزفي قاعدة خزفية تدعم الرقاقة، وجسمًا أسطوانيًا داعمًا في الجهة الخلفية. بالإضافة إلى عنصر المقاومة (طبقة التسخين)، توجد أيضًا أقطاب كهربائية تعمل بترددات الراديو (طبقة الترددات الراديوية) داخل القاعدة الخزفية أو على سطحها. ولتحقيق تسخين وتبريد سريعين، يجب أن تكون القاعدة الخزفية رقيقة، ولكن الرقة المفرطة قد تقلل من صلابتها.
عادةً ما تُصنع قاعدة السخان الخزفي من مادة خزفية ذات معامل تمدد حراري مماثل لمعامل تمدد القاعدة. يتميز السخان بتصميم فريد ذي قاعدة مفصلية لحماية الأطراف والأسلاك من تأثيرات البلازما والغازات الكيميائية المسببة للتآكل. تُزود القاعدة بأنبوبي دخول وخروج لغاز نقل الحرارة لضمان توزيع متجانس للحرارة داخل السخان. يتم ربط القاعدة والقاعدة معًا كيميائيًا بواسطة طبقة لاصقة.
يمكن تصنيع السخان الخزفي من مواد خزفية مثل نتريد الألومنيوم (AlN) ونتريد السيليكون (Si3N4) والألومينا (Al2O3). ويُعدّ نتريد الألومنيوم (AlN) الخيار الأمثل للسخانات الخزفية. وبالمقارنة مع المواد الأخرى، يتميز سيراميك نتريد الألومنيوم (AlN) من شركة VET Energy بالخصائص التالية:
(1) موصلية حرارية جيدة؛
(2) معامل التمدد الحراري المطابق لمواد السيليكون شبه الموصلة؛
(3) الخصائص الميكانيكية الجيدة، ومقاومة التآكل الممتازة، والخصائص الميكانيكية الشاملة أفضل من أكسيد البريليوم وتعادل أكسيد الألومنيوم؛
(4) خصائص كهربائية شاملة ممتازة، وعزل كهربائي ممتاز، وفقدان عازل منخفض؛
(5) غير سام وصديق للبيئة.
ورقة بيانات المواد الخزفية
| غرض | 95% ألومينا | ألومينا 99% | الزركونيا | كربيد السيليكون | السيليكونNإيترايد | الألومنيومNإيترايد |
| لون | أبيض | أصفر فاتح | أبيض | أسود | أسود | رمادي |
| الكثافة (جم/سم3) | 3.7 جم/سم3 | 3.9 جم/سم3 | 6.02 جم/سم3 | 3.2 جم/سم3 | 3.25 جم/سم3 | 3.2 جم/سم3 |
| امتصاص الماء | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| الصلابة (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| قوة الانحناء (ميجا باسكال) | 300 ميجا باسكال | 400 ميجا باسكال | 1100 ميجا باسكال | 450 ميجا باسكال | 800 ميجا باسكال | 310 ميجا باسكال |
| قوة الضغط (ميجا باسكال) | 2500 ميجا باسكال | 2800 ميجا باسكال | 3600 ميجا باسكال | 2000 ميجا باسكال | 2600 ميجا باسكال | - |
| معامل يونغ للمرونة | 300 جيجا باسكال | 300 جيجا باسكال | 320 جيجا باسكال | 450 جيجا باسكال | 290 جيجا باسكال | 310~350 جيجا باسكال |
| نسبة بواسون | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| الموصلية الحرارية | 20 واط/م°م | 32 واط/م°م | 3 واط/م°م | 50 واط/م°م | 25 واط/م°م | 150 واط/م°م |
| قوة العزل الكهربائي | 14 كيلو فولت/مم | 14 كيلو فولت/مم | 14 كيلو فولت/مم | 14 كيلو فولت/مم | 14 كيلو فولت/مم | 14 كيلو فولت/مم |
| المقاومة الحجمية (25 درجة مئوية) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·سم | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
شركة VET Energy هي شركة تصنيع محترفة تركز على البحث والتطوير وإنتاج المواد المتقدمة عالية الجودة مثل الجرافيت وكربيد السيليكون والكوارتز، بالإضافة إلى معالجة المواد مثل طلاء SiC وطلاء TaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك. وتستخدم المنتجات على نطاق واسع في مجالات الطاقة الشمسية الكهروضوئية وأشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمعادن، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، ويمكنه تقديم حلول مواد أكثر احترافية لكم.
تشمل مزايا VET Energy ما يلي:
• مصنع خاص ومختبر متخصص؛
• مستويات نقاء وجودة رائدة في الصناعة؛
• سعر تنافسي ووقت توصيل سريع؛
• شراكات صناعية متعددة على مستوى العالم؛
نرحب بكم لزيارة مصنعنا ومختبرنا في أي وقت!
