سخان رقاقة سيراميك عنصر تسخين AlN Alumina

سخان رقاقة سيراميك عنصر تسخين AlN Alumina
في تصنيع أشباه الموصلات، تحتاج الرقائق إلى المعالجة في عمليات مختلفة، مثل ترسيب الأغشية الرقيقة، والحفر، وما إلى ذلك. في هذه الروابط، تحتاج الرقائق إلى التسخين إلى درجة حرارة معينة، وهناك متطلبات صارمة لدرجة الحرارة، لأن توحيد درجة الحرارة له تأثير مهم للغاية على إنتاج المنتج، ومكونات التسخين لا غنى عنها.

سخان سيراميكتُوضع مباشرةً على حجرة المعالجة، وتكون على تماس مباشر مع الرقاقة. فهي لا تحمل الرقاقة فحسب، بل تضمن أيضًا حصولها على درجة حرارة معالجة ثابتة وموحدة. وهي مكونات أساسية في معدات ترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات!

يتضمن السخان الخزفي قاعدة خزفية تدعم الرقاقة، وجسم دعم أسطواني على الجانب الخلفي. بالإضافة إلى عنصر المقاومة (طبقة التسخين) للتسخين، توجد أقطاب تردد لاسلكي (طبقة RF) داخل القاعدة الخزفية أو على سطحها. لتحقيق تسخين وتبريد سريعين، يجب أن يكون سمك القاعدة الخزفية رقيقًا، لأن زيادة سماكتها قد تقلل من صلابتها.

عادةً ما تُصنع دعامة السخان الخزفي من مادة خزفية ذات معامل تمدد حراري مماثل لمعامل القاعدة. يعتمد السخان على بنية فريدة من نوعها، وهي عبارة عن وصلة سفلية للعمود لحماية الأطراف والأسلاك من تأثيرات البلازما والغازات الكيميائية المسببة للتآكل. الدعامة مزودة بأنبوبي مدخل ومخرج لنقل الحرارة لضمان درجة حرارة موحدة للسخان. القاعدة والدعامة مترابطتان كيميائيًا بطبقة لاصقة.

يمكن تصنيع السخان الخزفي من مواد سيراميكية مثل نيتريد الألومنيوم (AlN)، ونيتريد السيليكون (Si3N4)، والألومينا (Al2O3). ومن بينها، يُعد نيتريد الألومنيوم الخيار الأمثل للسخانات الخزفية. وبالمقارنة مع المواد الأخرى، يتميز سيراميك نيتريد الألومنيوم من VET Energy بالخصائص التالية:
(1) التوصيل الحراري الجيد؛
(2) معامل التمدد الحراري المطابق لمواد السيليكون شبه الموصلة؛
(3) خصائص ميكانيكية جيدة، ومقاومة ممتازة للتآكل، وخصائص ميكانيكية شاملة أفضل من أكسيد البريليوم وتعادل أكسيد الألومنيوم؛
(4) خصائص كهربائية شاملة ممتازة، وعزل كهربائي ممتاز وخسارة عازلة منخفضة؛
(5) غير سامة وصديقة للبيئة.