Keramický ohrievač oblátok AlN vykurovací prvok z oxidu hlinitého

Keramický ohrievač oblátok AlN vykurovací prvok z oxidu hlinitého
Pri výrobe polovodičov je potrebné doštičky spracovávať rôznymi procesmi, ako je nanášanie tenkých vrstiev, leptanie atď. V týchto prípadoch je potrebné doštičky zahriať na určitú teplotu a existujú prísne požiadavky na túto teplotu, pretože rovnomernosť teploty má veľmi dôležitý vplyv na výťažnosť produktu a vykurovacie komponenty sú nevyhnutné.

Keramický ohrievačsa priamo aplikuje do procesnej komory a je v priamom kontakte s doštičkou. Nielenže nesú doštičku, ale tiež zabezpečujú, aby doštička dosiahla stabilnú a rovnomernú procesnú teplotu. Sú kľúčovými komponentmi zariadení na nanášanie tenkých polovodičových vrstiev!

Keramický ohrievač obsahuje keramickú základňu, ktorá podopiera doštičku, a valcové nosné teleso na zadnej strane, ktoré ju podopiera. Okrem odporového prvku (vykurovacej vrstvy) na ohrev sa vo vnútri alebo na povrchu keramickej základne nachádzajú aj rádiofrekvenčné elektródy (RF vrstva). Pre dosiahnutie rýchleho ohrevu a ochladenia by mala byť hrúbka keramickej základne tenká, ale príliš tenká hrúbka tiež zníži tuhosť.

Nosič keramického ohrievača je vo všeobecnosti vyrobený z keramického materiálu s koeficientom tepelnej rozťažnosti podobným koeficientu základne. Ohrievač má jedinečnú štruktúru spodnej časti hriadeľového spoja na ochranu svoriek a vodičov pred účinkami plazmy a korozívnych chemických plynov. Nosič je vybavený vstupným a výstupným potrubím pre teplonosný plyn, aby sa zabezpečila rovnomerná teplota ohrievača. Základňa a nosič sú chemicky spojené spojovacou vrstvou.

Keramický ohrievač môže byť vyrobený z keramiky, ako je nitrid hliníka (AlN), nitrid kremíka (Si3N4) a oxid hlinitý (Al2O3). Spomedzi nich je AlN najlepšou voľbou pre keramické ohrievače. V porovnaní s inými materiálmi má keramika AlN od spoločnosti VET Energy nasledujúce vlastnosti:
(1) Dobrá tepelná vodivosť;
(2) Koeficient tepelnej rozťažnosti zodpovedajúci polovodičovým kremíkovým materiálom;
(3) Dobré mechanické vlastnosti, vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu a komplexné mechanické vlastnosti sú lepšie ako u oxidu berýlia a ekvivalentné oxidu hlinitému;
(4) Vynikajúce komplexné elektrické vlastnosti, vynikajúca elektrická izolácia a nízke dielektrické straty;
(5) Netoxický a šetrný k životnému prostrediu.