Ngrohës qeramik me pllaka alumini AlN

Ngrohës qeramik me pllaka alumini AlN
Në prodhimin e gjysmëpërçuesve, pllakat duhet të përpunohen në procese të ndryshme, të tilla si depozitimi i filmit të hollë, gdhendja etj. Në këto lidhje, pllakat duhet të ngrohen në një temperaturë të caktuar, dhe ka kërkesa të rrepta për temperaturën, sepse uniformiteti i temperaturës ka një ndikim shumë të rëndësishëm në rendimentin e produktit, dhe komponentët e ngrohjes janë të domosdoshëm.

Ngrohës qeramikaplikohet direkt në dhomën e procesit dhe janë në kontakt të drejtpërdrejtë me pllakëzën. Ato jo vetëm që e mbajnë pllakëzën, por gjithashtu sigurojnë që pllaka të arrijë një temperaturë të qëndrueshme dhe uniforme të procesit. Ato janë komponentë kyç në pajisjet e depozitimit të filmit të hollë gjysmëpërçues!

Ngrohësi qeramik përfshin një bazë qeramike që mbështet pllakëzën dhe një trup mbështetës cilindrik në anën e pasme që e mbështet atë. Përveç elementit të rezistencës (shtresës ngrohëse) për ngrohje, ka edhe elektroda me frekuencë radio (shtresës RF) brenda ose në sipërfaqen e bazës qeramike. Për të arritur ngrohje dhe ftohje të shpejtë, trashësia e bazës qeramike duhet të jetë e hollë, por shumë e hollë do të zvogëlojë edhe ngurtësinë.

Mbështetësja e ngrohësit qeramik në përgjithësi është bërë nga material qeramik me një koeficient zgjerimi termik të ngjashëm me atë të bazës. Ngrohësi përdor një strukturë unike të një fundi të bashkimit të boshtit për të mbrojtur terminalet dhe telat nga efektet e plazmës dhe gazrave kimike korrozive. Mbështetësja është e pajisur me një tub hyrës dhe dalës të gazit të transferimit të nxehtësisë për të siguruar temperaturë uniforme të ngrohësit. Baza dhe mbështetësja janë të lidhura kimikisht me një shtresë lidhëse.

Ngrohësi qeramik mund të jetë i bërë nga qeramika si nitridi i aluminit (AlN), nitridi i silikonit (Si3N4) dhe alumina (Al2O3). Midis tyre, AlN është zgjedhja më e mirë për ngrohësit qeramikë. Krahasuar me materialet e tjera, qeramika AlN e VET Energy ka karakteristikat e mëposhtme:
(1) Përçueshmëri e mirë termike;
(2) Koeficienti i zgjerimit termik i përputhur me materialet gjysmëpërçuese të silikonit;
(3) Vetitë e mira mekanike, rezistenca e shkëlqyer ndaj konsumimit dhe vetitë mekanike gjithëpërfshirëse janë më të mira se oksidi i beriliumit dhe ekuivalente me oksidin e aluminit;
(4) Veti të shkëlqyera elektrike gjithëpërfshirëse, izolim elektrik i shkëlqyer dhe humbje të ulët dielektrike;
(5) Jo-toksike dhe miqësore me mjedisin.