Elemen Pemanas Wafer Keramik AlN Alumina
Ing manufaktur semikonduktor, wafer kudu diproses ing macem-macem proses, kayata deposisi film tipis, etsa, lan liya-liyane. Ing pranala kasebut, wafer kudu dipanasake nganti suhu tartamtu, lan ana syarat sing ketat kanggo suhu kasebut, amarga keseragaman suhu nduweni pengaruh sing penting banget marang asil produk, lan komponen pemanasan ora bisa dipisahake.
Pemanas keramiklangsung ditrapake ing ruang proses lan kontak langsung karo wafer. Dheweke ora mung nggawa wafer, nanging uga njamin manawa wafer entuk suhu proses sing stabil lan seragam. Iki minangka komponen kunci ing peralatan deposisi film tipis semikonduktor!
Pemanas keramik kalebu basis keramik sing ndhukung wafer lan awak dhukungan silinder ing sisih mburi sing ndhukung. Saliyane elemen resistensi (lapisan pemanas) kanggo pemanasan, ana uga elektroda frekuensi radio (lapisan RF) ing njero utawa ing permukaan basis keramik. Kanggo entuk pemanasan lan pendinginan sing cepet, kekandelan basis keramik kudu tipis, nanging yen tipis banget uga bakal nyuda kekakuan.
Dhukungan pemanas keramik umume digawe saka bahan keramik kanthi koefisien ekspansi termal sing padha karo dhasar. Pemanas iki nggunakake struktur unik saka ngisor sambungan poros kanggo nglindhungi terminal lan kabel saka efek plasma lan gas kimia korosif. Dhukungan iki dilengkapi pipa mlebu lan metu gas transfer panas kanggo njamin suhu pemanas sing seragam. Dhasar lan dhukungan kasebut diikat sacara kimia nganggo lapisan ikatan.
Pemanas keramik bisa digawe saka keramik kayata aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), lan alumina (Al2O3). Antarane, AlN minangka pilihan sing paling apik kanggo pemanas keramik. Dibandhingake karo bahan liyane, keramik AlN saka VET Energy nduweni karakteristik ing ngisor iki:
(1) Konduktivitas termal sing apik;
(2) Koefisien ekspansi termal sing cocog karo bahan silikon semikonduktor;
(3) Sifat mekanik sing apik, tahan aus sing apik banget, lan sifat mekanik sing komprehensif luwih apik tinimbang berilium oksida lan padha karo aluminium oksida;
(4) Sifat listrik sing komprehensif banget, insulasi listrik sing apik banget lan kerugian dielektrik sing sithik;
(5) Ora beracun lan ramah lingkungan.
Lembar Data Bahan Keramik
| Barang | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirkonia | Silikon karbida | SilikonNnumpak | AluminiumNnumpak |
| Werna | putih | Kuning enom | putih | ireng | ireng | abu-abu |
| Kapadhetan (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Penyerapan Banyu | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Kekerasan (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Kekuwatan Lentur (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Kekuwatan Kompresi (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus Elastisitas Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Rasio Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Konduktivitas Termal | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Kekuwatan Dielektrik | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Resistivitas Volume (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy minangka produsen profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kelas atas kayata grafit, silikon karbida, kuarsa, uga perawatan bahan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Kauntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• Tingkat kemurnian lan kualitas sing unggul ing industri;
• Rega kompetitif & wektu pangiriman cepet;
• Pirang-pirang kemitraan industri ing saindenging jagad;
Kita ngajak sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kapan wae!
