Keramik Wafer Heater AlN Alumina Heating Element
Ing manufaktur semikonduktor, wafer kudu diproses ing macem-macem proses, kayata deposisi film tipis, etsa, lan liya-liyane. Ing tautan kasebut, wafer kudu dipanasake nganti suhu tartamtu, lan ana syarat sing ketat kanggo suhu, amarga keseragaman suhu duwe pengaruh sing penting banget kanggo ngasilake produk, lan komponen pemanasan sing dibutuhake.
Pemanas Keramiklangsung ditrapake ing kamar proses lan kontak langsung karo wafer. Dheweke ora mung nggawa wafer, nanging uga mesthekake yen wafer entuk suhu proses sing stabil lan seragam. Iki minangka komponen kunci ing peralatan deposisi film tipis semikonduktor!
Pemanas keramik kalebu dhasar keramik sing ndhukung wafer lan awak dhukungan silinder ing sisih mburi sing ndhukung. Saliyane unsur resistance (lapisan pemanasan) kanggo dadi panas, ana uga elektroda frekuensi radio (lapisan RF) ing njero utawa ing permukaan dasar keramik. Kanggo entuk pemanasan lan pendinginan kanthi cepet, kekandelan dasar keramik kudu tipis, nanging banget tipis uga bakal nyuda kaku.
Dhukungan pemanas keramik umume digawe saka bahan keramik kanthi koefisien ekspansi termal sing padha karo dhasar. Pemanas nganggo struktur unik saka ngisor gabungan poros kanggo nglindhungi terminal lan kabel saka efek plasma lan gas kimia korosif. Dhukungan kasebut dilengkapi inlet gas transfer panas lan pipa outlet kanggo njamin suhu seragam pemanas. Dasar lan dhukungan diikat kanthi kimia kanthi lapisan ikatan.
Pemanas keramik bisa digawe saka keramik kayata aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si3N4), lan alumina (Al2O3). Antarane wong-wong mau, AlN minangka pilihan sing paling apik kanggo pemanas keramik. Dibandhingake karo bahan liyane, keramik AlN VET Energy nduweni karakteristik ing ngisor iki:
(1) Konduktivitas termal sing apik;
(2) Koefisien ekspansi termal sing cocog karo bahan silikon semikonduktor;
(3) Sifat mekanik sing apik, resistensi nyandhang sing apik, lan sifat mekanik sing komprehensif luwih apik tinimbang berilium oksida lan padha karo aluminium oksida;
(4) Sifat listrik lengkap sing apik banget, insulasi listrik sing apik lan mundhut dielektrik sing kurang;
(5) Non-beracun lan ramah lingkungan.
Lembar Data Bahan Keramik
| Item | 95% Aluminium Kab | 99% alumunium | Zirkonia | Silicon karbida | silikonNngirid | alumuniumNngirid |
| warna | putih | Kuning cahya | putih | ireng | ireng | werna abu-abu |
| Kapadhetan (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Penyerapan banyu | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Kekerasan (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Kekuatan lentur (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Kekuwatan Tekan (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus Elastisitas Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Rasio Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Konduktivitas termal | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Kekuwatan dielektrik | 14 KV/mm | 14 KV/mm | 14 KV/mm | 14 KV/mm | 14 KV/mm | 14 KV/mm |
| Resistivitas Volume (25 ℃) | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 105Ω·cm | > 1014Ω·cm | > 1014Ω·cm |
VET Energy minangka pabrikan profesional sing fokus ing R&D lan produksi bahan canggih kayata grafit, karbida silikon, kuarsa, uga perawatan materi kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lsp. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lsp.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Keuntungan Energi VET kalebu:
• Pabrik dhewe lan laboratorium profesional;
• tingkat kemurnian industri-leading lan kualitas;
• rega Competitive & wektu pangiriman Fast;
• Multiple industri kemitraan donya;
We welcome sampeyan ngunjungi pabrik lan laboratorium kita kapan wae!
