Keramika Vafli Qızdırıcısı AlN Alüminium Qızdırıcı Element
Yarımkeçirici istehsalında lövhələr nazik təbəqə çökdürmə, aşındırma və s. kimi müxtəlif proseslərdə emal olunmalıdır. Bu əlaqələrdə lövhələr müəyyən bir temperatura qədər qızdırılmalıdır və temperatur üçün ciddi tələblər mövcuddur, çünki temperaturun vahidliyi məhsulun məhsuldarlığına çox mühüm təsir göstərir və qızdırıcı komponentlər əvəzolunmazdır.
Keramika qızdırıcısıbirbaşa proses kamerasına tətbiq olunur və lövhə ilə birbaşa təmasda olur. Onlar yalnız lövhəni daşımır, həm də lövhənin sabit və vahid proses temperaturu əldə etməsini təmin edir. Onlar yarımkeçirici nazik təbəqə çökdürmə avadanlıqlarında əsas komponentlərdir!
Keramika qızdırıcısı lövhəni dəstəkləyən keramika əsasdan və arxa tərəfində onu dəstəkləyən silindrik dayaq gövdəsindən ibarətdir. Qızdırma üçün müqavimət elementinə (qızdırma təbəqəsi) əlavə olaraq, keramika əsasının içərisində və ya səthində radiotezlikli elektrodlar (RF təbəqəsi) də mövcuddur. Sürətli isitmə və soyutmaya nail olmaq üçün keramika əsasının qalınlığı nazik olmalıdır, lakin çox nazik olması da sərtliyi azaldacaq.
Keramika qızdırıcısının dayağı ümumiyyətlə bazaya bənzər istilik genişlənmə əmsalına malik keramika materialından hazırlanır. Qızdırıcı terminalları və naqilləri plazma və korroziyaya uğrayan kimyəvi qazların təsirindən qorumaq üçün val birləşmə dibinin unikal strukturundan istifadə edir. Qızdırıcının vahid temperaturunu təmin etmək üçün dayaq istilik ötürmə qazı giriş və çıxış borusu ilə təchiz olunub. Baza və dayaq kimyəvi cəhətdən birləşdirici təbəqə ilə birləşdirilir.
Keramika qızdırıcısı alüminium nitrid (AlN), silikon nitrid (Si3N4) və alüminium oksid (Al2O3) kimi keramikadan hazırlana bilər. Bunlar arasında AlN keramika qızdırıcıları üçün ən yaxşı seçimdir. Digər materiallarla müqayisədə VET Energy-nin AlN keramikası aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
(1) Yaxşı istilik keçiriciliyi;
(2) Yarımkeçirici silikon materiallarına uyğunlaşdırılmış istilik genişlənmə əmsalı;
(3) Yaxşı mexaniki xüsusiyyətlər, əla aşınma müqaviməti və hərtərəfli mexaniki xüsusiyyətlər berilyum oksidindən daha yaxşıdır və alüminium oksidinə bərabərdir;
(4) Əla hərtərəfli elektrik xüsusiyyətləri, əla elektrik izolyasiyası və aşağı dielektrik itkisi;
(5) Zəhərsiz və ətraf mühitə uyğun.
Keramika Materiallarının Məlumat Vərəqi
| Məhsul | 95% alüminium oksidi | 99% alüminium oksidi | Zirkon | Silikon karbid | SilikonNitride | AlüminiumNitride |
| Rəng | ağ | Açıq sarı | ağ | qara | qara | boz |
| Sıxlıq (q/sm3) | 3.7 q/sm3 | 3.9 q/sm3 | 6.02 q/sm3 | 3.2 q/sm3 | 3.25 q/sm3 | 3.2 q/sm3 |
| Suyun udulması | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Sərtlik (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Bükülmə Gücü (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Sıxılma gücü (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Yanqın Elastiklik Modulu | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Puasson nisbəti | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| İstilik keçiriciliyi | 20 Vt/m°C | 32 Vt/m°C | 3 Vt/m°C | 50 Vt/m°C | 25 Vt/m°C | 150 Vt/m°C |
| Dielektrik Güc | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Həcm Müqaviməti (25℃) | >1014Ω·sm | >1014Ω·sm | >1014Ω·sm | >105Ω·sm | >1014Ω·sm | >1014Ω·sm |
VET Energy, qrafit, silikon karbid, kvars kimi yüksək səviyyəli qabaqcıl materialların tədqiqat və inkişaf etdirilməsi, eləcə də SiC örtüyü, TaC örtüyü, şüşəli karbon örtüyü, pirolitik karbon örtüyü və s. kimi material emalı sahələrinə diqqət yetirən peşəkar bir istehsalçıdır. Məhsullar fotovoltaik, yarımkeçirici, yeni enerji, metallurgiya və s. sahələrdə geniş istifadə olunur.
Texniki komandamız ən yaxşı yerli tədqiqat müəssisələrindən gəlir, sizin üçün daha peşəkar material həlləri təqdim edə bilər.
VET Enerjisinin üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
• Öz fabriki və peşəkar laboratoriyası;
• Sənayedə lider olan təmizlik səviyyələri və keyfiyyəti;
• Rəqabətli qiymət və sürətli çatdırılma müddəti;
• Dünya üzrə çoxsaylı sənaye tərəfdaşlıqları;
İstənilən vaxt fabrikimizi və laboratoriyamızı ziyarət etməyə xoş gəlmisiniz!
