Seramik vafli qızdırıcı AlN alüminium qızdırıcı elementi

Seramik vafli qızdırıcı AlN alüminium qızdırıcı elementi
Yarımkeçirici istehsalda vafli müxtəlif proseslərdə, məsələn, nazik təbəqənin çökməsi, aşındırılması və s. emal edilməlidir. Bu keçidlərdə vafliləri müəyyən bir temperatura qədər qızdırmaq lazımdır və temperatur üçün ciddi tələblər var, çünki temperaturun vahidliyi məhsulun məhsuldarlığına çox mühüm təsir göstərir və qızdırıla bilən komponentlər əvəzolunmazdır.

Keramika qızdırıcısıbirbaşa proses kamerasına tətbiq edilir və vafli ilə birbaşa təmasda olur. Onlar təkcə vafli daşımır, həm də vaflinin sabit və vahid proses temperaturu əldə etməsini təmin edir. Onlar yarımkeçirici nazik film çöküntü avadanlığının əsas komponentləridir!

Keramika qızdırıcısına vaflini dəstəkləyən keramika əsası və arxa tərəfdə onu dəstəkləyən silindrik dayaq gövdəsi daxildir. İstilik üçün müqavimət elementinə (istilik təbəqəsi) əlavə olaraq, keramika bazasının içərisində və ya səthində də radiotezlik elektrodları (RF təbəqəsi) var. Sürətli isitmə və soyutmaya nail olmaq üçün keramika əsasının qalınlığı nazik olmalıdır, lakin çox nazik olması da sərtliyi azaldır.

Keramika qızdırıcısının dəstəyi ümumiyyətlə bazaya bənzər bir istilik genişlənmə əmsalı olan keramika materialından hazırlanır. Qızdırıcı terminalları və naqilləri plazma və aşındırıcı kimyəvi qazların təsirindən qorumaq üçün şaft birləşməsinin dibinin unikal strukturunu qəbul edir. Dəstək, qızdırıcının vahid temperaturunu təmin etmək üçün istilik ötürücü qazın giriş və çıxış borusu ilə təchiz edilmişdir. Baza və dayaq bir bağlayıcı təbəqə ilə kimyəvi cəhətdən bağlanır.

Keramika qızdırıcısı alüminium nitrid (AlN), silisium nitridi (Si3N4) və alüminium oksidi (Al2O3) kimi keramikadan hazırlana bilər. Onların arasında AlN keramika qızdırıcıları üçün ən yaxşı seçimdir. Digər materiallarla müqayisədə VET Energy-nin AlN keramika aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
(1) Yaxşı istilik keçiriciliyi;
(2) Yarımkeçirici silisium materiallarına uyğunlaşdırılmış istilik genişlənmə əmsalı;
(3) Yaxşı mexaniki xüsusiyyətlər, əla aşınma müqaviməti və hərtərəfli mexaniki xüsusiyyətlər berilyum oksidindən daha yaxşıdır və alüminium oksidinə ekvivalentdir;
(4) Əla hərtərəfli elektrik xüsusiyyətləri, əla elektrik izolyasiyası və aşağı dielektrik itkisi;
(5) Zəhərli olmayan və ətraf mühitə uyğundur.