Ceramic Wafer အပူပေးစက် AlN Alumina အပူပေးစက်

Ceramic Wafer အပူပေးစက် AlN Alumina အပူပေးစက်
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် wafers များကို ပါးလွှာသောဖလင်များထုတ်ခြင်း၊ etching စသည်တို့တွင် အမျိုးမျိုးသောလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် လုပ်ဆောင်ရန်လိုအပ်ပါသည်။ ဤလင့်များတွင် wafers များကို အချို့သောအပူချိန်တွင်အပူပေးရန်လိုအပ်ပြီး အပူချိန်၏တူညီမှုသည်ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းအပေါ်အလွန်အရေးကြီးသောအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့် wafers များကိုအပူချိန်အတွက်တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များရှိပါသည်။

ကြွေအပူပေးစက်process chamber တွင် တိုက်ရိုက်သက်ရောက်ပြီး wafer နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့သည်။ ၎င်းတို့သည် wafer ကိုသယ်ဆောင်ရုံသာမက၊ wafer သည်တည်ငြိမ်ပြီးတူညီသောလုပ်ငန်းစဉ်အပူချိန်ကိုရရှိရန်သေချာစေသည်။ ၎င်းတို့သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပါးလွှာသော ဖလင်အစစ်ခံကိရိယာများတွင် အဓိကအစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။

ကြွေထည်အပူပေးစက်တွင် ဆပ်ပြာကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ကြွေထည်အခြေနှင့် ၎င်းကို ပံ့ပိုးပေးသည့် နောက်ဘက်ခြမ်းတွင် ဆလင်ဒါကိုယ်ထည်တစ်ခု ပါဝင်ပါသည်။ အပူအတွက်ခံနိုင်ရည်ရှိသောဒြပ်စင် (အပူပေးအလွှာ) အပြင်၊ အတွင်းပိုင်း သို့မဟုတ် ကြွေထည်အောက်ခံ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း (RF အလွှာ) လည်းရှိသည်။ လျင်မြန်သောအပူနှင့်အအေးရရှိရန်၊ ကြွေထည်အောက်ခံ၏အထူသည်ပါးလွှာသင့်သည်၊ သို့သော်ပါးလွှာလွန်းသည်ကလည်းတောင့်တင်းမှုကိုလျှော့ချပေးလိမ့်မည်။

ကြွေထည်အပူပေးစက်၏ ပံ့ပိုးမှုကို ယေဘူယျအားဖြင့် ကြွေထည်ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး အောက်ခံနှင့်ဆင်တူသော အပူချဲ့ကိန်းကိန်း။ အပူပေးစက်သည် ပလာစမာနှင့် အဆိပ်သင့်ဓာတုဓာတ်ငွေ့များ၏ သက်ရောက်မှုများမှ တာမီနယ်များနှင့် ဝါယာကြိုးများကို ကာကွယ်ရန်အတွက် ရိုးရိုးအဆစ်အောက်ခြေ၏ ထူးခြားသောဖွဲ့စည်းပုံကို အသုံးပြုသည်။ အပူပေးကိရိယာ၏တူညီသောအပူချိန်ကိုသေချာစေရန်အပူပေးသည့်ဓာတ်ငွေ့အဝင်ပေါက်နှင့်ထွက်ပေါက်ပိုက်တစ်ခုတပ်ဆင်ထားသည်။ အခြေခံနှင့် အထောက်အပံ့ကို ပေါင်းစပ်အလွှာတစ်ခုဖြင့် ဓာတုဗေဒအရ ချိတ်ဆက်ထားသည်။

ကြွေထည်အပူပေးစက်ကို အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ် (AlN)၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ် (Si3N4) နှင့် အလူမီနာ (Al2O3) ကဲ့သို့သော ကြွေထည်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်နိုင်သည်။ ၎င်းတို့အနက် AlN သည် ကြွေထည်အပူပေးစက်များအတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ အခြားပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက VET Energy ၏ AlN ကြွေထည်တွင် အောက်ပါလက္ခဏာများ ရှိသည်။
(1) ကောင်းသောအပူစီးကူးမှု;
(၂) တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းဆီလီကွန်ပစ္စည်းများနှင့် အပူချဲ့ကိန်းနှင့် လိုက်ဖက်သော၊
(၃) ကောင်းမွန်သောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သောဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်နှင့်ပြည့်စုံသောစက်မှုဂုဏ်သတ္တိများသည် beryllium အောက်ဆိုဒ်ထက်သာလွန်ပြီး အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ်နှင့်ညီမျှသည်။
(၄) အလွန်ကောင်းမွန်သော ပြည့်စုံသော လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်စစ်လျှပ်ကာများနှင့် ဒိုင်လျှပ်စစ်ဆုံးရှုံးမှုနည်းပါးခြင်း၊
(၅) အဆိပ်အတောက်ကင်းပြီး ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် သဟဇာတဖြစ်ခြင်း။